La laborfluo de optikaj tegaĵoj kutime inkluzivas la jenajn ĉefajn paŝojn: antaŭtraktado, tegaĵo, filmmonitorado kaj alĝustigo, malvarmigo kaj forigo. La specifa procezo povas varii depende de la tipo de ekipaĵo (kiel vaporiĝa tegaĵo, ŝprucaĵa tegaĵo, ktp.) kaj la tegaĵa procezo (kiel unutavola filmo, plurtavola filmo, ktp.), sed ĝenerale, la procezo de optika tegaĵo estas proksimume jena:
Unue, la prepara stadio
Purigado kaj preparado de optikaj komponantoj:
Antaŭ tegaĵo, optikaj komponantoj (kiel lensoj, filtriloj, optika vitro, ktp.) devas esti plene purigitaj. Ĉi tiu paŝo estas la bazo por certigi la kvaliton de la tegaĵo. Ofte uzataj purigmetodoj inkluzivas ultrasonan purigadon, pikladon, vaporan purigadon kaj tiel plu.
La puraj optikaj elementoj kutime estas metitaj sur la rotaciantan aparaton aŭ fiksan sistemon de la tegaĵmaŝino por certigi, ke ili povas resti stabilaj dum la tegaĵprocezo.
Antaŭtraktado de vakua ĉambro:
Antaŭ ol meti la optikan elementon en la tegaĵmaŝinon, la tegaĵkamero devas esti pumpita ĝis certa grado de vakuo. La vakua medio povas efike forigi malpuraĵojn, oksigenon kaj akvovaporon en la aero, malhelpi ilin reagi kun la tegaĵmaterialo, kaj certigi la purecon kaj kvaliton de la filmo.
Ĝenerale, la tega ĉambro bezonas atingi altan vakuon (10⁻⁵ ĝis 10⁻⁶ Pa) aŭ mezan vakuon (10⁻³ ĝis 10⁻⁴ Pa).
Due, la tegaĵa procezo
Komenca tegaĵfonto:
La tegaĵfonto estas kutime vaporiĝfonto aŭ ŝprucfonto. Diversaj tegaĵfontoj estos elektitaj laŭ la tegaĵprocezo kaj materialo.
Vaporiĝa fonto: La tegaĵa materialo estas varmigita al vaporiĝa stato uzante hejtilon, kiel ekzemple elektronfaskan vaporigilon aŭ rezistancan varmigan vaporigilon, tiel ke ĝiaj molekuloj aŭ atomoj vaporiĝas kaj deponiĝas sur la surfaco de la optika elemento en vakuo.
Ŝprucfonto: Aplikante altan tension, la celo kolizias kun jonoj, ŝprucante la atomojn aŭ molekulojn de la celo, kiuj deponiĝas sur la surfaco de la optika elemento por formi filmon.
Filma materiala deponado:
En vakua medio, la kovrita materialo vaporiĝas aŭ ŝprucas de fonto (kiel vaporiĝfonto aŭ celo) kaj iom post iom deponiĝas sur la surfacon de la optika elemento.
La depona rapideco kaj la dikeco de la filmo devas esti precize kontrolitaj por certigi, ke la filmotavolo estas unuforma, kontinua kaj plenumas la dezajnajn postulojn. Parametroj dum deponado (kiel ekzemple kurento, gasfluo, temperaturo, ktp.) rekte influos la kvaliton de la filmo.
Filmmonitorado kaj dikecokontrolo:
En la tega procezo, la dikeco kaj kvalito de la filmo estas kutime monitorataj en reala tempo, kaj la ofte uzataj monitoraj iloj estas kvarckristala mikrobalanciĝo (QCM) ** kaj aliaj sensiloj, kiuj povas precize detekti la depozician rapidecon kaj dikecon de la filmo.
Surbaze de ĉi tiuj monitoradaj datumoj, la sistemo povas aŭtomate alĝustigi parametrojn kiel la potencon de la tegaĵfonto, la gasfluon aŭ la rotacian rapidon de la komponanto por konservi la konsistencon kaj homogenecon de la filmtavolo.
Plurtavola filmo (se necese):
Por optikaj komponantoj, kiuj postulas plurtavolan strukturon, la tegaĵa procezo kutime efektiviĝas tavolo post tavolo. Post la deponado de ĉiu tavolo, la sistemo ripetas detekton kaj alĝustigon de la filmdikeco por certigi, ke la kvalito de ĉiu tavolo de filmo plenumas la dezajnajn postulojn.
Ĉi tiu procezo postulas precizan kontrolon de la dikeco kaj materiala tipo de ĉiu tavolo por certigi, ke ĉiu tavolo povas plenumi funkciojn kiel reflekto, dissendo aŭ interfero en specifa ondolongo-intervalo.
Trie, malvarmigu kaj forigu
KD:
Post kiam la tegaĵo finiĝas, la optiko kaj la tegaĵmaŝino bezonas esti malvarmigitaj. Ĉar ekipaĵo kaj komponantoj povas varmiĝi dum la tegaĵprocezo, ili bezonas esti malvarmigitaj ĝis ĉambra temperaturo per malvarmiga sistemo, kiel ekzemple malvarmiga akvo aŭ aerfluo, por malhelpi termikan difekton.
En iuj alt-temperaturaj tegaĵaj procezoj, malvarmigo ne nur protektas la optikan elementon, sed ankaŭ ebligas al la filmo atingi optimuman adheron kaj stabilecon.
Forigu la optikan elementon:
Post kiam la malvarmiĝo finiĝas, la optika elemento povas esti forigita el la tegmaŝino.
Antaŭ elpreno, necesas kontroli la tegaĵan efikon, inkluzive de la homogeneco de la filmtavolo, filmdikeco, adhero, ktp., por certigi, ke la tegaĵkvalito plenumas la postulojn.
4. Post-prilaborado (nedeviga)
Filmmalmoliĝo:
Iafoje la kovrita filmo bezonas esti hardita por plibonigi la gratreziston kaj daŭrecon de la filmo. Tio kutime okazas per rimedoj kiel varmotraktado aŭ ultraviola radiado.
Purigado de filmo:
Por forigi poluaĵojn, oleojn aŭ aliajn malpuraĵojn de la surfaco de la filmo, povas esti necese fari negravan purigadon, kiel ekzemple purigadon, ultrasonan traktadon, ktp.
5. Kvalitkontrolo kaj testado
Optika rendimenta testo: Post kiam la tegaĵo estas kompletigita, serio da rendimentaj testoj estas efektivigitaj sur la optika komponanto, inkluzive de lumtransmisio, reflektiveco, filmhomogeneco, ktp., por certigi, ke ĝi plenumas la teknikajn postulojn.
Adhero-testo: Per glubenda testo aŭ grattesto, kontrolu ĉu la adhero inter la filmo kaj la substrato estas forta.
Media stabileca testado: Iafoje necesas fari stabilecan testadon sub mediaj kondiĉoj kiel temperaturo, humideco kaj ultraviola lumo por certigi la fidindecon de la tegaĵa tavolo en praktikaj aplikoj.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 24-a de januaro 2025