La ekipaĵo uzas la elektronfaskan vaporigan teknologion. Elektronoj estas elsenditaj de la katoda filamento kaj fokusitaj en certan faskan kurenton, kiu estas akcelita per la potencialo inter la katodo kaj la krisolo por fandi kaj vaporigi la tegaĵan materialon. Ĝi havas la karakterizaĵojn de alta energidenseco kaj povas vaporigi la tegaĵan materialon kun fandopunkto de pli ol 3000 ℃. La filmo havas altan purecon kaj altan termikan efikecon.
La ekipaĵo estas ekipita per elektronfaska vaporiga fonto, jonfonto, filmdikeca monitora sistemo, filmdikeca korekta strukturo kaj stabila ombrela laborpeca rotacia sistemo. Per jonfonta tegaĵo, la kompakteco de la filmo pliiĝas, la refrakta indico stabiliĝas, kaj la fenomeno de ondolongoŝovo pro humideco evitas. La plene aŭtomata filmdikeca realtempa monitora sistemo povas certigi la ripeteblon kaj stabilecon de la procezo. Ĝi estas ekipita per memfanda funkcio por redukti la dependecon de la kapabloj de la funkciigisto.
La ekipaĵo aplikeblas al diversaj oksidoj kaj metalaj tegaĵmaterialoj, kaj povas esti kovrita per plurtavolaj precizaj optikaj filmoj, kiel ekzemple AR-filmo, longonda trapaso, mallongonda trapaso, heliga filmo, AS/AF-filmo, IRCUT, kolorfilma sistemo, gradienta filma sistemo, ktp. Ĝi estas vaste uzata en AR-vitroj, optikaj lensoj, fotiloj, optikaj lensoj, filtriloj, duonkonduktaĵaj industrioj, ktp.