Ο εξοπλισμός υιοθετεί την τεχνολογία εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων. Τα ηλεκτρόνια εκπέμπονται από το νήμα καθόδου και εστιάζονται σε ένα συγκεκριμένο ρεύμα δέσμης, το οποίο επιταχύνεται από το δυναμικό μεταξύ της καθόδου και του χωνευτηρίου για να λιώσει και να εξατμίσει το υλικό επικάλυψης. Έχει τα χαρακτηριστικά υψηλής ενεργειακής πυκνότητας και μπορεί να εξατμίσει το υλικό επικάλυψης με σημείο τήξης άνω των 3000 ℃. Η μεμβράνη έχει υψηλή καθαρότητα και υψηλή θερμική απόδοση.
Ο εξοπλισμός είναι εξοπλισμένος με πηγή εξάτμισης δέσμης ηλεκτρονίων, πηγή ιόντων, σύστημα παρακολούθησης πάχους μεμβράνης, δομή διόρθωσης πάχους μεμβράνης και σταθερό σύστημα περιστροφής τεμαχίου εργασίας τύπου ομπρέλας. Μέσω της επίστρωσης με υποβοήθηση πηγής ιόντων, αυξάνεται η συμπαγής δομή της μεμβράνης, σταθεροποιείται ο δείκτης διάθλασης και αποφεύγεται το φαινόμενο της μετατόπισης μήκους κύματος λόγω υγρασίας. Το πλήρως αυτόματο σύστημα παρακολούθησης πάχους μεμβράνης σε πραγματικό χρόνο μπορεί να διασφαλίσει την επαναληψιμότητα και τη σταθερότητα της διαδικασίας. Είναι εξοπλισμένο με λειτουργία αυτοτήξης για τη μείωση της εξάρτησης από τις δεξιότητες του χειριστή.
Ο εξοπλισμός εφαρμόζεται σε διάφορα οξείδια και υλικά επικάλυψης μετάλλων και μπορεί να επικαλυφθεί με οπτικές μεμβράνες ακριβείας πολλαπλών στρώσεων, όπως μεμβράνη AR, διέλευση μεγάλου μήκους κύματος, διέλευση μικρού μήκους κύματος, μεμβράνη φωτισμού, μεμβράνη AS/AF, IRCUT, σύστημα έγχρωμης μεμβράνης, σύστημα διαβάθμισης μεμβράνης κ.λπ. Έχει χρησιμοποιηθεί ευρέως σε γυαλιά AR, οπτικούς φακούς, κάμερες, οπτικούς φακούς, φίλτρα, βιομηχανίες ημιαγωγών κ.λπ.