DerVakuumbeschichtungsanlagebesteht aus vielen Präzisionsteilen, die durch verschiedene Prozesse wie Schweißen, Schleifen, Drehen, Hobeln, Bohren, Fräsen usw. hergestellt werden. Durch diese Arbeiten wird die Oberfläche der Geräteteile zwangsläufig mit Schadstoffen wie Fett, Öl, Metallspänen, Schweißpulver, Polierpaste, Schweißflecken usw. verunreinigt. Diese Schadstoffe verflüchtigen sich unter Vakuumbedingungen leicht und beeinträchtigen so das Endvakuum des Geräts.
Darüber hinaus absorbieren diese Vakuumschadstoffe aus der mechanischen Verarbeitung in der Umgebung mit atmosphärischem Druck eine große Menge Gas. Im Vakuumzustand werden diese zuvor adsorbierten Gase ebenfalls wieder freigesetzt, was zu einem wesentlichen Faktor bei der Begrenzung des Grenzvakuums wird. Aus diesem Grund müssen die Schadstoffe vor der Montage der Teile der Vakuumbeschichtungsanlage entfernt werden.
Beim Einsatz von Vakuumgeräten werden auch deren Komponenten verunreinigt. Die Verschmutzung durch diese Quelle wird jedoch hauptsächlich durch die Einsatzbedingungen und die Vakuumpumpe verursacht.
1. Die Verdampfung des Glühfadens des Vakuummeters unter Hochtemperaturbedingungen führt zur Bildung eines Films auf dem Keramikisolator, der dessen Isolationsfestigkeit bis zu einem gewissen Grad schädigt und sich auch in gewissem Maße auf die Genauigkeit der Messung auswirkt.
2. Durch die Verdampfung bei hohen Temperaturen bildet sich im Vakuum ein Metallfilm auf der Oberfläche in der Nähe des Glühfadens der Elektronenkanone.
3. Durch das Zerstäuben des Werkstücks wird die Innenwand der Ionenstrahlätzanlage durch Spritzer verunreinigt.
4. Die Innenwand der Vakuumverdampfungsbeschichtungsanlage wird durch das Verdampfungszielmaterial verunreinigt.
5. Oft wird ein Vakuumtrocknungssystem verwendet, das durch die verdampften Substanzen verunreinigt wird.
6. Das Diffusionspumpenöl und das mechanische Pumpenöl in der Vakuumbeschichtungsanlage stellen ebenfalls eine Hauptverschmutzungsquelle dar. Nach längerem Betrieb der Beschichtungsanlage kann sich im Inneren der Anlage ein Ölfilm bilden.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Vakuumreinigung von Geräten die Vakuumausrüstung, das Vakuumsystem, die Vakuumprozessproduktion und andere Aspekte und Zusammenhänge sowie die Anforderungen der Vakuumbeschichtungsanlage selbst und des speziellen Vakuumprozesses an die Einsatzbedingungen umfasst. Daher ist Vakuumverschmutzung ein Problem, das Aufmerksamkeit verdient, da diese Verschmutzung die Leistung der Geräte beeinträchtigt und auf eine regelmäßige oder jederzeitige Reinigung geachtet werden sollte.
Veröffentlichungszeit: 21. Februar 2023