S rostoucím rozvojem technologie naprašování, zejména magnetronového naprašování, lze v současnosti připravit terčovou vrstvu iontovým bombardováním pro jakýkoli materiál. Protože terč je naprašován v procesu nanášení na nějaký druh substrátu, má kvalita naprašované vrstvy důležitý vliv, a proto jsou požadavky na terčový materiál také přísnější. Při výběru terčového materiálu je třeba kromě použití samotné vrstvy zvážit také následující aspekty:
1. Cílový materiál by měl mít po vytvoření filmu dobrou mechanickou pevnost a chemickou stabilitu
2. Kombinace terče a substrátu musí být pevná, jinak by se mělo dbát na to, aby substrát měl dobrou kombinaci membránového materiálu, nejprve naprašováním základní fólie a poté přípravou požadované membránové vrstvy.
3 jako materiál membrány pro reakční naprašování musí být snadno reaktivní s plynem za vzniku membránových sloučenin; 4.
4. Za předpokladu splnění požadavků na výkon membrány je rozdíl mezi koeficientem tepelné roztažnosti cílového materiálu a substrátu co nejmenší, aby se minimalizoval vliv tepelného namáhání na naprašovanou membránu.
Vliv tepelného namáhání naprašované vrstvy; 5.
5. Podle požadavků na použití a výkon membrány musí cílový materiál splňovat požadavky na čistotu, obsah nečistot, uniformitu součástí, přesnost obrábění a další technické požadavky.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 21. prosince 2023