Vakuový naprašovací povlakovací přístroj je zařízení používané k nanášení tenkých vrstev materiálu na substrát. Tento proces se běžně používá při výrobě polovodičů, solárních článků a různých typů povlaků pro optické a elektronické aplikace. Zde je základní přehled fungování:
1. Vakuová komora: Proces probíhá uvnitř vakuové komory, aby se snížila kontaminace a umožnila lepší kontrola nad procesem nanášení.
2. Cílový materiál: Materiál, který má být nanášen, se nazývá terč. Ten je umístěn uvnitř vakuové komory.
3. Substrát: Substrát je materiál, na který bude tenký film nanesen. Je také umístěn uvnitř vakuové komory.
4. Generování plazmatu: Do komory se zavádí inertní plyn, obvykle argon. Na terč se aplikuje vysoké napětí, čímž se vytvoří plazma (skupenství hmoty sestávající z volných elektronů a iontů).
5. Naprašování: Ionty z plazmatu se srážejí s materiálem terče a odrážejí atomy nebo molekuly z něj. Tyto částice pak procházejí vakuem a usazují se na substrátu, kde vytvářejí tenký film.
6. Řízení: Tloušťku a složení filmu lze přesně řídit nastavením parametrů, jako je výkon aplikovaný na terč, tlak inertního plynu a doba trvání procesu naprašování.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 12. července 2024