U flussu di travagliu di i rivestimenti ottici include di solitu i seguenti passi principali: pretrattamentu, rivestimentu, monitoraghju è aghjustamentu di u film, raffreddamentu è rimozione. U prucessu specificu pò varià secondu u tipu d'attrezzatura (cum'è u rivestimentu per evaporazione, u rivestimentu per sputtering, ecc.) è u prucessu di rivestimentu (cum'è u film à un solu stratu, u film multistrato, ecc.), ma in generale, u prucessu di rivestimentu otticu hè più o menu u seguente:
Prima, a fase di preparazione
Pulizia è preparazione di cumpunenti ottici:
Prima di u rivestimentu, i cumpunenti ottici (cum'è lenti, filtri, vetru otticu, ecc.) devenu esse puliti accuratamente. Questa tappa hè a basa per assicurà a qualità di u rivestimentu. I metudi di pulizia cumunimenti usati includenu a pulizia à ultrasoni, u decapaggio, a pulizia à vapore è cusì via.
L'elementi ottici puliti sò generalmente piazzati nantu à u dispusitivu rotante o u sistema di serraggio di a macchina di rivestimentu per assicurà chì possinu stà stabili durante u prucessu di rivestimentu.
Pretrattamentu di a camera à vuoto:
Prima di mette l'elementu otticu in a macchina di rivestimentu, a camera di rivestimentu deve esse pompata à un certu gradu di vacuum. L'ambiente di vacuum pò eliminà efficacemente l'impurità, l'ossigenu è u vapore acqueo in l'aria, impedisce ch'elli reagiscenu cù u materiale di rivestimentu, è assicurà a purezza è a qualità di u film.
In generale, a camera di rivestimentu hà bisognu di ottene un altu vacuum (da 10⁻⁵ à 10⁻⁶ Pa) o un vacuum mediu (da 10⁻³ à 10⁻⁴ Pa).
Siconda, u prucessu di rivestimentu
Fonte di rivestimentu iniziale:
A fonte di rivestimentu hè generalmente una fonte d'evaporazione o una fonte di sputtering. Diverse fonti di rivestimentu saranu selezziunate secondu u prucessu di rivestimentu è u materiale.
Fonte d'evaporazione: U materiale di rivestimentu hè riscaldatu à un statu evaporativu aduprendu un dispositivu di riscaldamentu, cum'è un evaporatore à fasciu d'elettroni o un evaporatore di riscaldamentu à resistenza, in modu chì e so molecule o atomi evaporinu è sianu depositati nantu à a superficia di l'elementu otticu in u vacuum.
Fonte di sputtering: Applicendu una alta tensione, u bersagliu si scontra cù l'ioni, sputteringendu l'atomi o e molecule di u bersagliu, chì sò depositati nantu à a superficia di l'elementu otticu per furmà una pellicola.
Deposizione di materiale di film:
In un ambiente di vacuum, u materiale rivestitu evapora o spruzza da una fonte (cum'è una fonte o un bersagliu di evaporazione) è si deposita gradualmente nantu à a superficia di l'elementu otticu.
A velocità di deposizione è u spessore di u film devenu esse cuntrullati precisamente per assicurà chì u stratu di film sia uniforme, cuntinuu è risponda à i requisiti di cuncepimentu. I parametri durante a deposizione (cum'è a corrente, u flussu di gas, a temperatura, ecc.) influenzeranu direttamente a qualità di u film.
Monitoraghju di u filmu è cuntrollu di u spessore:
In u prucessu di rivestimentu, u spessore è a qualità di u film sò generalmente monitorati in tempu reale, è l'arnesi di monitoraghju cumunimenti usati sò a microbilancia di cristalli di quarzu (QCM) ** è altri sensori, chì ponu rilevà accuratamente a velocità di deposizione è u spessore di u film.
Basatu annantu à sti dati di monitoraghju, u sistema pò aghjustà automaticamente i parametri cum'è a putenza di a fonte di rivestimentu, u flussu di gasu o a velocità di rotazione di u cumpunente per mantene a cunsistenza è l'uniformità di u stratu di film.
Pellicola multistrato (se necessariu):
Per i cumpunenti ottici chì necessitanu una struttura multistrato, u prucessu di rivestimentu hè generalmente realizatu stratu per stratu. Dopu a deposizione di ogni stratu, u sistema effettuerà ripetutamente a rilevazione è l'aghjustamentu di u spessore di u film per assicurà chì a qualità di ogni stratu di film risponde à i requisiti di cuncepimentu.
Stu prucessu richiede un cuntrollu precisu di u spessore è di u tipu di materiale di ogni stratu per assicurà chì ogni stratu possi eseguisce funzioni cum'è a riflessione, a trasmissione o l'interferenza in un intervallu di lunghezza d'onda specificu.
Terzu, rinfriscà è caccià
CD:
Dopu chì u rivestimentu hè cumpletu, l'ottica è a macchina di rivestimentu devenu esse raffreddate. Siccomu l'attrezzatura è i cumpunenti ponu diventà caldi durante u prucessu di rivestimentu, devenu esse raffreddati à temperatura ambiente da un sistema di raffreddamentu, cum'è l'acqua di raffreddamentu o u flussu d'aria, per impedisce danni termichi.
In certi prucessi di rivestimentu à alta temperatura, u raffreddamentu ùn solu prutege l'elementu otticu, ma permette ancu à u film di ottene una adesione è una stabilità ottimali.
Eliminate l'elementu otticu:
Dopu chì u raffreddamentu hè cumpletu, l'elementu otticu pò esse cacciatu da a macchina di rivestimentu.
Prima di caccià, hè necessariu verificà l'effettu di u rivestimentu, cumprese l'uniformità di u stratu di film, u spessore di u film, l'adesione, ecc., per assicurà chì a qualità di u rivestimentu risponde à i requisiti.
4. Post-elaborazione (opzionale)
Indurimentu di a pellicola:
Calchì volta u film rivestitu hà bisognu di esse induritu per migliurà a resistenza à i graffi è a durabilità di u film. Questu hè generalmente fattu per mezu cum'è u trattamentu termicu o a radiazione ultravioletta.
Pulizia di u filmu:
Per caccià i contaminanti, l'olii o altre impurità da a superficia di u filmu, pò esse necessariu fà una pulizia minore, cum'è a pulizia, u trattamentu à ultrasoni, ecc.
5. Ispezione è prova di qualità
Test di prestazione ottica: Dopu chì u rivestimentu hè cumpletatu, una seria di testi di prestazione sò realizati nantu à u cumpunente otticu, cumprese a trasmittanza di a luce, a riflettività, l'uniformità di u film, ecc., Per assicurà chì risponde à i requisiti tecnichi.
Prova d'adesione: Per mezu di una prova di nastro o di una prova di graffiu, verificate se l'adesione trà u film è u substratu hè forte.
Test di stabilità ambientale: Calchì volta hè necessariu fà testi di stabilità in cundizioni ambientali cum'è a temperatura, l'umidità è a luce ultravioletta per assicurà l'affidabilità di u stratu di rivestimentu in applicazioni pratiche.
–Questu articulu hè statu publicatu dafabricatore di macchine di rivestimentu à vuotoGuangdong Zhenhua
Data di publicazione: 24 di ghjennaghju di u 2025
