S rastućim razvojem tehnologije raspršivanja, posebno tehnologije magnetronskog raspršivanja, trenutno se za bilo koji materijal može pripremiti film mete bombardiranjem ionima. Budući da se meta raspršuje u procesu nanošenja na neku vrstu podloge, kvalitet raspršenog filma ima važan utjecaj, stoga su i zahtjevi za materijal mete stroži. Prilikom odabira materijala mete, pored same upotrebe filma, treba uzeti u obzir i sljedeća pitanja:
1. Ciljni materijal treba imati dobru mehaničku čvrstoću i hemijsku stabilnost nakon formiranja filma
2. Kombinacija mete i podloge mora biti jaka, u suprotnom treba uzeti podlogu koja ima dobru kombinaciju membranskog materijala, prvo raspršiti osnovni film, a zatim pripremiti potreban membranski sloj.
3 kao materijal membrane za reakcijsko raspršivanje mora lako reagirati s plinom kako bi se stvorili membranski spojevi; 4.
4. Pod pretpostavkom ispunjavanja zahtjeva performansi membrane, razlika između koeficijenta termičkog širenja ciljanog materijala i podloge je što manja, kako bi se minimizirao učinak termičkog naprezanja na raspršenu membranu.
Utjecaj termičkog naprezanja filma naprašivanja; 5.
5. Prema zahtjevima upotrebe i performansi membrane, ciljni materijal mora ispunjavati čistoću, sadržaj nečistoća, ujednačenost komponenti, tačnost obrade i druge tehničke zahtjeve.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 21. decembar 2023.