Radni tok uređaja za optičko premazivanje obično uključuje sljedeće glavne korake: prethodnu obradu, premazivanje, praćenje i podešavanje filma, hlađenje i uklanjanje. Specifičan proces može varirati ovisno o vrsti opreme (kao što je uređaj za isparavanje, uređaj za raspršivanje itd.) i procesu premazivanja (kao što je jednoslojni film, višeslojni film itd.), ali općenito, proces optičkog premazivanja je otprilike sljedeći:
Prvo, faza pripreme
Čišćenje i priprema optičkih komponenti:
Prije nanošenja premaza, optičke komponente (kao što su sočiva, filteri, optičko staklo itd.) potrebno je temeljito očistiti. Ovaj korak je osnova za osiguranje kvalitete premaza. Uobičajeno korištene metode čišćenja uključuju ultrazvučno čišćenje, kiseljenje, čišćenje parom i tako dalje.
Čisti optički elementi se obično postavljaju na rotirajući uređaj ili sistem za stezanje mašine za nanošenje premaza kako bi se osiguralo da ostanu stabilni tokom procesa nanošenja premaza.
Prethodna obrada vakuumske komore:
Prije postavljanja optičkog elementa u mašinu za premazivanje, komora za premazivanje mora biti ispumpana do određenog stepena vakuuma. Vakuumsko okruženje može efikasno ukloniti nečistoće, kiseonik i vodenu paru iz vazduha, spriječiti njihovu reakciju sa materijalom za premazivanje i osigurati čistoću i kvalitet filma.
Generalno, komora za premazivanje treba da postigne visoki vakuum (10⁻⁵ do 10⁻⁶ Pa) ili srednji vakuum (10⁻³ do 10⁻⁴ Pa).
Drugo, proces premazivanja
Izvor početnog premaza:
Izvor premaza je obično izvor isparavanja ili izvor raspršivanja. Različiti izvori premaza bit će odabrani ovisno o procesu premazivanja i materijalu.
Izvor isparavanja: Materijal premaza se zagrijava do isparljivog stanja pomoću uređaja za grijanje, kao što je isparivač elektronskim snopom ili isparivač otpornog zagrijavanja, tako da njegovi molekuli ili atomi isparavaju i talože se na površini optičkog elementa u vakuumu.
Izvor raspršivanja: Primjenom visokog napona, meta se sudara s ionima, raspršujući atome ili molekule mete, koji se talože na površini optičkog elementa i formiraju film.
Taloženje filmskog materijala:
U vakuumskom okruženju, premazani materijal isparava ili raspršuje iz izvora (kao što je izvor isparavanja ili meta) i postepeno se taloži na površinu optičkog elementa.
Brzina nanošenja i debljina filma moraju se precizno kontrolisati kako bi se osiguralo da je sloj filma ujednačen, kontinuiran i da ispunjava zahtjeve dizajna. Parametri tokom nanošenja (kao što su struja, protok gasa, temperatura itd.) direktno će uticati na kvalitet filma.
Praćenje i kontrola debljine filma:
U procesu nanošenja premaza, debljina i kvalitet filma se obično prate u realnom vremenu, a najčešće korišteni alati za praćenje su kvarcna kristalna mikrovaga (QCM) ** i drugi senzori, koji mogu precizno detektovati brzinu nanošenja i debljinu filma.
Na osnovu ovih podataka praćenja, sistem može automatski podesiti parametre kao što su snaga izvora premaza, brzina protoka gasa ili brzina rotacije komponente kako bi se održala konzistentnost i ujednačenost sloja filma.
Višeslojna folija (ako je potrebno):
Za optičke komponente koje zahtijevaju višeslojnu strukturu, proces nanošenja premaza se obično izvodi sloj po sloj. Nakon nanošenja svakog sloja, sistem će vršiti ponovljeno detektovanje i podešavanje debljine filma kako bi se osiguralo da kvalitet svakog sloja filma ispunjava dizajnerske zahtjeve.
Ovaj proces zahtijeva preciznu kontrolu debljine i vrste materijala svakog sloja kako bi se osiguralo da svaki sloj može obavljati funkcije poput refleksije, transmisije ili interferencije u određenom rasponu valnih duljina.
Treće, ohladite i uklonite
CD:
Nakon što je nanošenje premaza završeno, optiku i mašinu za nanošenje premaza potrebno je ohladiti. Budući da se oprema i komponente mogu zagrijati tokom procesa nanošenja premaza, potrebno ih je ohladiti na sobnu temperaturu pomoću sistema za hlađenje, kao što je rashladna voda ili protok zraka, kako bi se spriječila termička oštećenja.
U nekim procesima nanošenja premaza na visokim temperaturama, hlađenje ne samo da štiti optički element, već i omogućava filmu da postigne optimalno prianjanje i stabilnost.
Uklonite optički element:
Nakon što je hlađenje završeno, optički element se može ukloniti iz mašine za nanošenje premaza.
Prije vađenja, potrebno je provjeriti učinak premaza, uključujući ujednačenost sloja filma, debljinu filma, prianjanje itd., kako bi se osiguralo da kvalitet premaza ispunjava zahtjeve.
4. Naknadna obrada (opciono)
Očvršćavanje filma:
Ponekad je potrebno očvrsnuti premazani film kako bi se poboljšala otpornost na ogrebotine i trajnost filma. To se obično radi metodama kao što su termička obrada ili ultraljubičasto zračenje.
Čišćenje filma:
Da bi se uklonili zagađivači, ulja ili druge nečistoće sa površine filma, može biti potrebno izvršiti manje čišćenje, kao što je čišćenje, ultrazvučni tretman itd.
5. Inspekcija i testiranje kvalitete
Test optičkih performansi: Nakon što je premaz završen, provodi se niz testova performansi optičke komponente, uključujući propusnost svjetlosti, reflektivnost, ujednačenost filma itd., kako bi se osiguralo da ispunjava tehničke zahtjeve.
Test prianjanja: Testom trake ili testom grebanja provjerite da li je prianjanje između filma i podloge jako.
Ispitivanje stabilnosti u uslovima okoline: Ponekad je potrebno provesti ispitivanje stabilnosti u uslovima okoline kao što su temperatura, vlažnost i ultraljubičasto zračenje kako bi se osigurala pouzdanost sloja premaza u praktičnim primjenama.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 24. januar 2025.