স্পুটারিং লেপ প্রযুক্তির ক্রমবর্ধমান বিকাশের সাথে, বিশেষ করে ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং লেপ প্রযুক্তি, বর্তমানে, যেকোনো উপাদানের জন্য আয়ন বোমাবাজি লক্ষ্য ফিল্ম দ্বারা প্রস্তুত করা যেতে পারে, কারণ লক্ষ্যটি কোনও ধরণের সাবস্ট্রেটে আবরণ করার প্রক্রিয়ায় স্পুটার করা হয়, স্পুটারড ফিল্মের গুণমানের একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব রয়েছে, অতএব, লক্ষ্য উপাদানের প্রয়োজনীয়তা আরও কঠোর। লক্ষ্য উপাদান নির্বাচনের ক্ষেত্রে, ফিল্ম ব্যবহারের পাশাপাশি নিজেই নির্বাচন করা উচিত, নিম্নলিখিত বিষয়গুলিও বিবেচনা করা উচিত:
১. ফিল্ম তৈরির পর লক্ষ্যবস্তুতে ভালো যান্ত্রিক শক্তি এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা থাকা উচিত।
২. লক্ষ্য এবং সাবস্ট্রেটের সংমিশ্রণ অবশ্যই শক্তিশালী হতে হবে, অন্যথায় সাবস্ট্রেটের সাথে ঝিল্লি উপাদানের একটি ভাল সংমিশ্রণ থাকা উচিত, প্রথমে একটি বেস ফিল্ম স্পুটার করা এবং তারপর প্রয়োজনীয় ঝিল্লি স্তর প্রস্তুত করা।
3. বিক্রিয়া হিসেবে ঝিল্লির উপাদানগুলিকে গ্যাসের সাথে সহজেই বিক্রিয়া করতে হবে যাতে যৌগিক ঝিল্লি তৈরি হয়; 4.
৪. ঝিল্লির কর্মক্ষমতার প্রয়োজনীয়তা পূরণের ভিত্তিতে, লক্ষ্য উপাদান এবং সাবস্ট্রেটের তাপীয় প্রসারণের সহগের মধ্যে পার্থক্য যতটা সম্ভব কম, যাতে স্পুটারড ঝিল্লির উপর তাপীয় চাপের প্রভাব কমানো যায়।
স্পুটারিং ফিল্মের তাপীয় চাপের প্রভাব; ৫.
৫. ঝিল্লির ব্যবহার এবং কর্মক্ষমতা প্রয়োজনীয়তা অনুসারে, লক্ষ্য উপাদানটিকে অবশ্যই বিশুদ্ধতা, অপরিষ্কারতা, উপাদানের অভিন্নতা, যন্ত্রের নির্ভুলতা এবং অন্যান্য প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা পূরণ করতে হবে।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-২১-২০২৩