С нарастващото развитие на технологията за разпрашване, особено технологията за магнетронно разпрашване, в момента е възможно да се получи филм за всякакъв материал чрез йонно бомбардиране. Тъй като мишената се разпрашава в процеса на нанасяне на покритие върху някакъв вид субстрат, качеството на разпрашеното фолио има важно значение, следователно изискванията към материала на мишената също са по-строги. При избора на материал на мишената, освен използването на самото фолио, трябва да се вземат предвид и следните фактори:
1. Целевият материал трябва да има добра механична якост и химическа стабилност след образуването на филма
2. Комбинацията от цел и субстрат трябва да е здрава, в противен случай трябва да се вземе предвид, че субстратът има добра комбинация от мембранен материал, първо се нанася основен филм чрез разпрашаване и след това се подготвя необходимият мембранен слой.
3 като материал за реакционно разпрашителна мембрана трябва лесно да реагира с газа, за да генерира мембранни съединения; 4.
4. При условие че са изпълнени изискванията за производителност на мембраната, разликата между коефициента на термично разширение на целевия материал и субстрата е възможно най-малка, за да се сведе до минимум ефектът от термичното напрежение върху разпрашената мембрана.
Влиянието на термичното напрежение на разпрашителния филм; 5.
5. Според изискванията за употреба и производителност на мембраната, целевият материал трябва да отговаря на чистота, съдържание на примеси, еднородност на компонентите, точност на обработка и други технически изисквания.
–Тази статия е публикувана отпроизводител на машини за вакуумно покритиеГуандун Джънхуа
Време на публикуване: 21 декември 2023 г.