З ростам развіцця тэхналогіі распылення, асабліва тэхналогіі магнетроннага распылення, у цяперашні час можна атрымаць плёнку мішэні з дапамогай іённай бамбардзіроўкі з любога матэрыялу. Паколькі мішэнь распыляецца на нейкую падкладку ў працэсе нанясення пакрыцця, якасць распыленай плёнкі мае важны ўплыў, таму патрабаванні да матэрыялу мішэні таксама становяцца больш жорсткімі. Пры выбары матэрыялу мішэні, акрамя выкарыстання самой плёнкі, неабходна таксама ўлічваць наступныя пытанні:
1. Мэтавы матэрыял павінен мець добрую механічную трываласць і хімічную стабільнасць пасля ўтварэння плёнкі
2. Камбінацыя мішэні і падкладкі павінна быць трывалай, у адваротным выпадку варта выбіраць падкладку з добрай камбінацыяй мембраннага матэрыялу, спачатку распыляючы асноўную плёнку, а затым падрыхтоўваючы неабходны мембранны пласт.
3 як матэрыял мембраны для рэакцыйнага распылення павінен лёгка рэагаваць з газам для ўтварэння мембранных злучэнняў; 4.
4. Зыходзячы з патрабаванняў да характарыстык мембраны, розніца паміж каэфіцыентам цеплавога пашырэння мэтавага матэрыялу і падкладкі павінна быць як мага меншай, каб мінімізаваць уплыў цеплавога напружання на распыленую мембрану.
Уплыў тэрмічнага напружання распыляльнай плёнкі; 5.
5. У адпаведнасці з патрабаваннямі да выкарыстання і прадукцыйнасці мембраны, мэтавы матэрыял павінен адпавядаць чысціні, утрыманню прымешак, аднастайнасці кампанентаў, дакладнасці апрацоўкі і іншым тэхнічным патрабаванням.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 21 снежня 2023 г.