Püskürtmə vakuum örtüyü nazik material təbəqələrini substratın üzərinə qoymaq üçün istifadə olunan bir cihazdır. Bu proses adətən yarımkeçiricilərin, günəş batareyalarının və optik və elektron tətbiqlər üçün müxtəlif növ örtüklərin istehsalında istifadə olunur. Bunun necə işlədiyinə dair əsas icmal:
1.Vakuum Kamerası: Çirklənməni azaltmaq və çökmə prosesinə daha yaxşı nəzarət etmək üçün proses vakuum kamerası daxilində baş verir.
2.Target Material: Yatırılacaq material hədəf kimi tanınır. Bu vakuum kamerasının içərisinə yerləşdirilir.
3.Substrat: Substrat nazik təbəqənin qoyulacağı materialdır. O, həmçinin vakuum kamerasının içərisinə yerləşdirilir.
4.Plazma Nəsil: Kameraya inert qaz, adətən arqon daxil edilir. Hədəfə yüksək gərginlik tətbiq edilir, plazma (sərbəst elektron və ionlardan ibarət maddənin vəziyyəti) yaradır.
5. Püskürtmə: Plazmadan gələn ionlar hədəf materialla toqquşur, atomları və ya molekulları hədəfdən çıxarır. Bu hissəciklər daha sonra vakuumdan keçərək substratın üzərinə çökərək nazik bir təbəqə əmələ gətirir.
6.Nəzarət: Filmin qalınlığı və tərkibi hədəfə tətbiq edilən güc, inert qazın təzyiqi və püskürtmə prosesinin müddəti kimi parametrləri tənzimləməklə dəqiq şəkildə idarə oluna bilər.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 12 iyul 2024-cü il