Optik örtüklərin iş axını adətən aşağıdakı əsas addımları əhatə edir: ilkin müalicə, örtük, filmin monitorinqi və tənzimlənməsi, soyutma və çıxarılması. Xüsusi proses avadanlığın növündən (məsələn, buxarlandırıcı, püskürtmə örtüyü və s.) və örtük prosesindən (məsələn, bir qatlı film, çox qatlı film və s.) asılı olaraq dəyişə bilər, lakin ümumiyyətlə, optik örtük prosesi təxminən aşağıdakı kimidir:
Birincisi, hazırlıq mərhələsi
Optik komponentlərin təmizlənməsi və hazırlanması:
Kaplamadan əvvəl optik komponentləri (məsələn, linzalar, filtrlər, optik şüşələr və s.) hərtərəfli təmizləmək lazımdır. Bu addım örtünün keyfiyyətini təmin etmək üçün əsasdır. Ümumi istifadə edilən təmizləmə üsullarına ultrasəs təmizləmə, turşu, buxarla təmizləmə və s.
Təmiz optik elementlər örtük prosesi zamanı sabit qalmasını təmin etmək üçün adətən örtük maşınının fırlanan qurğusuna və ya sıxma sisteminə yerləşdirilir.
Vakuum kamerasının ilkin müalicəsi:
Optik elementi örtük maşınına yerləşdirməzdən əvvəl, örtük kamerasını müəyyən dərəcədə vakuuma pompalamaq lazımdır. Vakuum mühiti havadakı çirkləri, oksigen və su buxarını effektiv şəkildə təmizləyə, onların örtük materialı ilə reaksiya verməsinin qarşısını ala, filmin təmizliyini və keyfiyyətini təmin edə bilər.
Ümumiyyətlə, örtük kamerası yüksək vakuuma (10⁻⁵ - 10⁻⁶ Pa) və ya orta vakuuma (10⁻³ - 10⁻⁴ Pa) nail olmalıdır.
İkincisi, örtük prosesi
Başlanğıc örtük mənbəyi:
Kaplama mənbəyi adətən buxarlanma mənbəyi və ya püskürtmə mənbəyidir. Kaplama prosesinə və materialına görə müxtəlif örtük mənbələri seçiləcək.
Buxarlanma mənbəyi: Örtmə materialı elektron şüa buxarlandırıcısı və ya müqavimətli qızdırıcı buxarlandırıcı kimi istilik cihazından istifadə edərək buxarlanma vəziyyətinə qədər qızdırılır ki, onun molekulları və ya atomları buxarlansın və optik elementin səthində vakuumda yerləşdirilsin.
Püskürtmə mənbəyi: Yüksək gərginlik tətbiq edərək, hədəf ionlarla toqquşur, bir film yaratmaq üçün optik elementin səthində yatırılan hədəfin atomlarını və ya molekullarını püskürür.
Film materialının yerləşdirilməsi:
Vakuum mühitində örtülmüş material mənbədən (məsələn, buxarlanma mənbəyi və ya hədəf) buxarlanır və ya püskürür və tədricən optik elementin səthinə çökür.
Film təbəqəsinin vahid, davamlı olmasını və dizayn tələblərinə cavab verməsini təmin etmək üçün çökmə sürəti və film qalınlığına dəqiq nəzarət edilməlidir. Çökmə zamanı parametrlər (məsələn, cərəyan, qaz axını, temperatur və s.) filmin keyfiyyətinə birbaşa təsir edəcəkdir.
Filmin monitorinqi və qalınlığına nəzarət:
Kaplama prosesində filmin qalınlığı və keyfiyyəti adətən real vaxt rejimində izlənilir və geniş istifadə olunan monitorinq alətləri kvars kristal mikrobalansı (QCM) ** və filmin çökmə sürətini və qalınlığını dəqiq müəyyən edə bilən digər sensorlardır.
Bu monitorinq məlumatlarına əsasən, sistem plyonka təbəqəsinin tutarlılığını və vahidliyini qorumaq üçün örtük mənbəyinin gücü, qaz axınının sürəti və ya komponentin fırlanma sürəti kimi parametrləri avtomatik tənzimləyə bilər.
Çox qatlı film (lazım olduqda):
Çox qatlı bir quruluş tələb edən optik komponentlər üçün örtük prosesi adətən qat-qat həyata keçirilir. Hər bir təbəqənin çökməsindən sonra sistem filmin hər bir təbəqəsinin keyfiyyətinin dizayn tələblərinə cavab verməsini təmin etmək üçün təkrar plyonka qalınlığının aşkarlanması və tənzimlənməsi həyata keçirəcəkdir.
Bu proses hər bir təbəqənin müəyyən dalğa uzunluğu diapazonunda əks etdirmə, ötürmə və ya müdaxilə kimi funksiyaları yerinə yetirə bilməsini təmin etmək üçün hər təbəqənin qalınlığına və material növünə dəqiq nəzarət tələb edir.
Üçüncüsü, sərinləyin və çıxarın
CD:
Kaplama tamamlandıqdan sonra optika və örtük maşını soyudulmalıdır. Avadanlıq və komponentlər örtük prosesi zamanı qıza bildiyindən, istilik zədələnməsinin qarşısını almaq üçün onları soyutma suyu və ya hava axını kimi bir soyutma sistemi ilə otaq temperaturuna qədər soyutmaq lazımdır.
Bəzi yüksək temperaturlu örtük proseslərində soyutma yalnız optik elementi qorumur, həm də filmin optimal yapışma və sabitliyə nail olmasına imkan verir.
Optik elementi çıxarın:
Soyutma başa çatdıqdan sonra optik element örtük maşınından çıxarıla bilər.
Çıxarmadan əvvəl örtünün keyfiyyətinin tələblərə cavab verməsini təmin etmək üçün örtük effektini, o cümlədən plyonka qatının vahidliyini, plyonka qalınlığını, yapışmasını və s.
4. Post-emal (isteğe bağlı)
Filmin sərtləşməsi:
Bəzən örtülmüş filmin cızıqlara qarşı müqavimətini və davamlılığını yaxşılaşdırmaq üçün bərkidilməlidir. Bu, adətən istilik müalicəsi və ya ultrabənövşəyi radiasiya kimi vasitələrlə həyata keçirilir.
Filmin təmizlənməsi:
Çirkləndiriciləri, yağları və ya digər çirkləri filmin səthindən çıxarmaq üçün təmizlik, ultrasəs müalicəsi və s. kimi kiçik təmizləmə aparmaq lazım ola bilər.
5. Keyfiyyətin yoxlanılması və sınaqdan keçirilməsi
Optik performans testi: Kaplama tamamlandıqdan sonra, texniki tələblərə cavab verdiyinə əmin olmaq üçün optik komponentdə işıq keçiriciliyi, əks etdirmə qabiliyyəti, filmin vahidliyi və s. daxil olmaqla bir sıra performans testləri aparılır.
Yapışma testi: Bant testi və ya cızıq testi ilə film və substrat arasındakı yapışmanın güclü olub olmadığını yoxlayın.
Ekoloji sabitlik testi: Praktik tətbiqlərdə örtük təbəqəsinin etibarlılığını təmin etmək üçün bəzən temperatur, rütubət və ultrabənövşəyi işıq kimi ətraf mühit şəraitində sabitlik testi aparmaq lazımdır.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 24 yanvar 2025-ci il