مع التطور المتزايد لتكنولوجيا طلاء الرش، وخاصةً طلاء الرش المغناطيسي، أصبح من الممكن حاليًا تحضير أي مادة باستخدام غشاء هدف القصف الأيوني. ولأن الغشاء الهدف يُرشّ أثناء عملية طلاءه على نوع من الركيزة، فإن جودة الغشاء المُرشّ لها تأثير كبير، وبالتالي، أصبحت متطلبات مادة الهدف أكثر صرامة. عند اختيار مادة الهدف، بالإضافة إلى نوع الغشاء نفسه، يجب مراعاة النقاط التالية:
1. يجب أن تتمتع المادة المستهدفة بقوة ميكانيكية جيدة واستقرار كيميائي بعد تكوين الفيلم
2. يجب أن يكون مزيج الهدف والركيزة قويًا، وإلا فيجب أخذ الركيزة مع مزيج جيد من مادة الغشاء، أولاً رش فيلم أساسي ثم تحضير طبقة الغشاء المطلوبة.
3- يجب أن تكون مادة غشاء الرش التفاعلي سهلة التفاعل مع الغاز لتوليد مركبات الغشاء؛ 4.
4. تحت فرضية تلبية متطلبات أداء الغشاء، فإن الفرق بين معامل التمدد الحراري للمادة المستهدفة والركيزة يكون صغيرًا قدر الإمكان، وذلك لتقليل تأثير الإجهاد الحراري على الغشاء المرشوش.
تأثير الإجهاد الحراري لفيلم الرش؛ 5.
5. وفقًا لمتطلبات الاستخدام والأداء للغشاء، يجب أن تلبي المادة المستهدفة النقاء ومحتوى الشوائب وتوحيد المكونات ودقة التصنيع والمتطلبات الفنية الأخرى.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢١ ديسمبر ٢٠٢٣