ክሪስታል የሲሊኮን የፀሐይ ሴል ሽፋን ቴክኖሎጂ ልማት

የክሪስታል ሲሊከን ሴል ቴክኖሎጂ ልማት አቅጣጫ እንዲሁ የ PERT ቴክኖሎጂን እና የቶፕኮን ቴክኖሎጂን ያጠቃልላል ፣ እነዚህ ሁለት ቴክኖሎጂዎች እንደ ባህላዊ ስርጭት ዘዴ የሕዋስ ቴክኖሎጂ ማራዘሚያ ተደርገው ይወሰዳሉ ፣ የእነሱ የጋራ ባህሪያቶች በሴሉ ጀርባ በኩል ያለው ማለፊያ ንብርብር ናቸው ፣ እና ሁለቱም የዶፔድ ፖሊ ሲሊከን ንብርብር እንደ የኋላ መስክ ይጠቀማሉ ፣ ትምህርት ቤቱ ብዙውን ጊዜ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል oxidized ንብርብር ፣ እና doped የ polyEC ንብርብር ጥቅም ላይ ይውላል። የPERC ሴሎችን በብዛት ለማምረት PECVD እና Tubular PECVD እና ጠፍጣፋ ሳህን PECVD ጥቅም ላይ ውለዋል።

Tubular PECVD ትልቅ አቅም ያለው ሲሆን በአጠቃላይ ዝቅተኛ ድግግሞሽ የበርካታ አስር kHz የኃይል አቅርቦትን ይቀበላል። ion bombardment እና ማለፊያ plating ችግሮች passivation ንብርብር ጥራት ላይ ተጽዕኖ ይችላሉ. ጠፍጣፋ ሳህን PECVD ማለፊያ plating ችግር የለውም, እና ሽፋን አፈጻጸም ውስጥ የበለጠ ጥቅም አለው, እና doped Si, Si0X, SiCX ፊልሞችን ለማስቀመጥ ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል. ጉዳቱ የታሸገው ፊልም ብዙ ሃይድሮጂንን ይይዛል ፣ በቀላሉ የፊልም ንብርብር አረፋ እንዲፈጠር ፣ በሽፋኑ ውፍረት ውስጥ የተገደበ ነው። ቱቦ እቶን ሽፋን በመጠቀም lpcvd ልባስ ቴክኖሎጂ, ትልቅ አቅም ጋር, ወፍራም polysilicon ፊልም ማስቀመጥ ይችላሉ, ነገር ግን ልስን ዙሪያ በዚያ ይሆናል, የፊልም ሽፋን ያለውን ንጣፍ ዙሪያ መወገድ በኋላ lpcvd ሂደት ውስጥ, እና የታችኛው ንብርብር አይጎዳውም. በጅምላ የሚመረቱ የቶፕኮን ህዋሶች በአማካይ 23% የመቀየር ብቃትን አግኝተዋል።

——ይህ ጽሑፍ የተለቀቀው በየቫኩም ሽፋን ማሽንጓንግዶንግ ዠንዋ