'n Sputtervakuumbedekker is 'n toestel wat gebruik word om dun films materiaal op 'n substraat te deponeer. Hierdie proses word algemeen gebruik in die produksie van halfgeleiers, sonselle en verskeie soorte bedekkings vir optiese en elektroniese toepassings. Hier is 'n basiese oorsig van hoe dit werk:
1. Vakuumkamer: Die proses vind plaas binne 'n vakuumkamer om kontaminasie te verminder en beter beheer oor die afsettingsproses moontlik te maak.
2. Teikenmateriaal: Die materiaal wat neergelê moet word, staan bekend as die teiken. Dit word binne die vakuumkamer geplaas.
3. Substraat: Die substraat is die materiaal waarop die dun film neergelê sal word. Dit word ook binne die vakuumkamer geplaas.
4. Plasmagenerering: 'n Inerte gas, tipies argon, word in die kamer ingebring. 'n Hoë spanning word op die teiken toegepas, wat 'n plasma skep (’n toestand van materie wat uit vrye elektrone en ione bestaan).
5. Verstuiwing: Ione van die plasma bots met die teikenmateriaal en slaan atome of molekules van die teiken af. Hierdie deeltjies beweeg dan deur die vakuum en lê neer op die substraat, waar dit 'n dun film vorm.
6. Beheer: Die dikte en samestelling van die film kan presies beheer word deur parameters soos die krag wat op die teiken toegepas word, die druk van die inerte gas en die duur van die sputterproses aan te pas.
–Hierdie artikel word vrygestel deurvervaardiger van vakuumbedekkingsmasjieneGuangdong Zhenhua
Plasingstyd: 12 Julie 2024