Die toerusting gebruik die elektronstraalverdampingstegnologie. Elektrone word uit die katodefilament vrygestel en in 'n sekere straalstroom gefokus, wat deur die potensiaal tussen die katode en die smeltkroes versnel word om die bedekkingsmateriaal te smelt en te verdamp. Dit het die eienskappe van hoë energiedigtheid en kan die bedekkingsmateriaal verdamp met 'n smeltpunt van meer as 3000 ℃. Die film het hoë suiwerheid en hoë termiese doeltreffendheid.
Die toerusting is toegerus met 'n elektronstraalverdampingsbron, ioonbron, filmdikte-moniteringstelsel, filmdikte-korreksiestruktuur en stabiele sambreelwerkstukrotasiestelsel. Deur ioonbron-ondersteunde bedekking word die kompaktheid van die film verhoog, die brekingsindeks gestabiliseer en die verskynsel van golflengteverskuiwing as gevolg van vog vermy. Die vol-outomatiese filmdikte-intydse moniteringstelsel kan die herhaalbaarheid en stabiliteit van die proses verseker. Dit is toegerus met 'n selfsmeltfunksie om die afhanklikheid van die operateur se vaardighede te verminder.
Die toerusting is van toepassing op verskeie oksiede en metaalbedekkingsmateriale, en kan bedek word met meerlaag-presisie-optiese films, soos AR-film, langgolfdeurlaat, kortgolfdeurlaat, verhelderingsfilm, AS/AF-film, IRCUT, kleurfilmstelsel, gradiëntfilmstelsel, ens. Dit word wyd gebruik in AR-brille, optiese lense, kameras, optiese lense, filters, halfgeleierbedrywe, ens.