— Ìwádìí Ìlànà láti Ìṣètò Fíìmù sí Ìṣàkóso Ìlànà
1. Kí ni “Píparẹ́ àwọ̀ lẹ́yìn ìbòrí” túmọ̀ sí gan-an?
Nínúile-iṣẹ ti a bo igbale, pípa àwọ̀ kìí ṣe ìyípadà àwọ̀ ojú lásán. Ó sábà máa ń hàn bíi:
Ìbàjẹ́ àwọ̀ díẹ̀díẹ̀ tàbí ìyípadà lórí àkókò
Iyatọ awọ lẹhin ọriniinitutu, ọjọ ogbó ooru, tabi awọn idanwo ifihan UV
Àwọ̀ ara tí ó yí padà sí àyíká, àwọ̀ ewú, tàbí pípadánù ìmọ́lẹ̀ irin
Ní pàtàkì, pípadánù àwọ̀ kìí ṣe àwọ̀ tí kò dúró ṣinṣin fúnrarẹ̀ ló fà á, ṣùgbọ́n àwọn ìkùnà ìṣètò, ohun èlò, tàbí ìlànà tí ó níí ṣe pẹ̀lú ètò ìbòrí náà wà nínú ètò ìbòrí náà.
2. Àwọn Ohun Pàtàkì Tó Ń Fa Àwọ̀ Píparẹ́ Lẹ́yìn Tí A Fi Fọ́ Ẹ̀rọ Amúlétutù Sílẹ̀
2.1 Àìtó ìwúwo fíìmù tó ń yọrí sí ìfàsẹ́yìn tàbí ìfàsẹ́yìn ọrinrin
Nígbà tí ìfọ́ omi PVD bá ń jáde tàbí tí magnetron bá ń tú jáde, agbára ìfipamọ́ tí kò tó tàbí ìwọ̀n plasma tí ó kéré lè yọrí sí ìdàgbàsókè ọ̀wọ̀n pẹ̀lú ihò gíga.
Iru awọn fiimu bẹẹ ni o maa n waye si:
Ìtanka atẹ́gùn àti ọrinrin ní àwọn ààlà ọkà
Ìfàsẹ́yìn tàbí ìbàjẹ́ ti ìpele irin
Àyípadà àwọn ipò ìdènà ojú
Èyí nígbẹ̀yìn-gbẹ́yín yóò yọrí sí ìbàjẹ́ àwọ̀ tàbí ìyípadà.
2.2 Àṣàyàn tí kò tọ́ ti àwọn ètò ohun èlò ìbòrí
Awọn ohun elo ti a fi bo oriṣiriṣi ṣe afihan iduroṣinṣin ayika ti o yatọ pupọ:
Àwọn fíìmù irin mímọ́ (fún àpẹẹrẹ, Al, Cr) lè jẹ́ kí ìfọ́mọ́lẹ̀ má ṣe sí ìfọ́mọ́ láìsí àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ ààbò
Àwọn irin tàbí alloy aláwọ̀ kan ní ìmọ́lára sí àyíká tí ó tutù àti ooru
Ilọkuro atọka Refractive ninu awọn fẹlẹfẹlẹ dielectric fa iyipada awọ taara.
Láìsí ètò ìpele irin tí a ṣe dáadáa àti ètò ìpele ààbò dielectric, ewu pípa àwọ̀ pọ̀ sí i gidigidi.
2.3 Àìtó Ìṣàkóso Sísanra Fíìmù àti Àìfaradà Àìsí Àìlera
Àwọn àwọ̀ ìbòrí tí ó ní ìrísí àti iṣẹ́-ọnà sábà máa ń wáyé nípasẹ̀ àwọn ipa ìdènà ojú, èyí tí ó ní ìrísí púpọ̀ sí sisanra fíìmù náà.
Àwọn ìṣòro bí:
Ìṣípò ṣíṣí àyẹ̀wò kírísítà quartz tàbí ipò sensọ tí kò tọ́
Àwọn ìyípadà oṣuwọn ìfipamọ́
Yiyi tabi idaabobo ipilẹ ti ko ni ibamu
le ja si iyipada sisanra, ti o yori si iyipada awọ ati aiṣedeede ipele.
2.4 Àìlèmọ́ra tó tó tó ń fa ìfọ́mọ́ra kékeré
Tí ìwẹ̀nùmọ́ substrate kò bá tó, tàbí tí ìtọ́jú plasma ṣáájú àti ìṣiṣẹ́ ion-assisted kò tó, ìsopọ̀ láàárín fíìmù náà àti substrate náà lè jẹ́ aláìlera.
Lábẹ́ ìyípo ooru, ìdààmú ẹ̀rọ, tàbí ìgbà tí a ti ń dàgbà sí àyíká, àwọn ìfọ́ kékeré tàbí ìfọ́ ilẹ̀ lè ṣẹlẹ̀, èyí tí ó máa ń hàn ní ọ̀nà jíjìn gẹ́gẹ́ bí ìparẹ́ àwọ̀ tàbí àìdọ́gba.
2.5 Àìsí Apẹrẹ Fẹ́ẹ́rẹ́ Ààbò Tó Munádóko
Nínú àwọn ohun èlò inú ọkọ̀ ayọ́kẹ́lẹ́, ìmọ́lẹ̀, tàbí ọriniinitutu gíga, àìsí:
Àwọn ìpele ààbò dielectric tó gbòòrò bíi SiO₂ tàbí SiNx
Àwọn ìbòrí tí kò lè wúlò fún ìka ọwọ́ (AF) tàbí èyí tí kò lè wọ aṣọ
Ó ń fi fíìmù náà hàn tààrà sí ìkọlù àyíká, ó ń mú kí ọjọ́ ogbó àti pípa àwọ̀ yára.
3. Awọn Ojutu Imọ-ẹrọ lati Dena Iparẹ Awọ
3.1 Ṣíṣe àfikún agbára ìtújáde àti ìwúwo fíìmù
Nípa ṣíṣe àtúnṣe:
iwuwo agbara fifa Magnetron
Àwọn pàrámítà ìfipamọ́ ion-assisted (IAD)
Ìfàmọ́ra àti ìgbóná ara
A le mu iwọn didun fiimu dara si ni pataki, ni imunadoko idinku oxidation ati titẹ ọrinrin.
3.2 Ṣíṣe àtúnṣe sí Àwòrán Àkójọpọ̀ Àwọ̀
Gbígba àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ irin tí ó ní àwọ̀ pẹ̀lú àwọn ètò ààbò dielectric onípele púpọ̀ ń mú kí iṣẹ́ ojú àti ìdúróṣinṣin àyíká fún ìgbà pípẹ́ dájú.
3.3 Ṣíṣe Àkóso àti Ìṣàkóso Ìwọ̀n Sísanra Tí Ó Pẹ́
Àwọn ètò ìṣàyẹ̀wò kírísítà quartz tí a so pọ̀ mọ́ àwọn àlùgọ́ọ̀mù ìṣàkóso tí a ti pa mọ́ rí i dájú pé ó nípọn púpọ̀ àti pé ó lè ṣe déédé pẹ̀lú ìṣọ̀kan àpapọ̀.
3.4 Ṣíṣe àtúnṣe ojú ilẹ̀ àti ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbánisọ̀rọ̀ fún okun
Ìmọ́tótó plasma àti ìṣiṣẹ́ bọ́m̀bù ion mú kí agbára ìsopọ̀ àárín ojú pọ̀ sí i láàárín ìbòrí àti ohun èlò ìṣàlẹ̀.
4. Ìparí
Àwọ̀ tó ń parẹ́ lẹ́yìn ìbòrí ìbòrí kì í sábà máa ń jẹ́ àṣìṣe paramita kan ṣoṣo. Ó jẹ́ àbájáde àwọn ìkùnà ìpele ètò tó ní í ṣe pẹ̀lú yíyan ohun èlò, ṣíṣe àgbékalẹ̀ àkójọ ìbòrí, àti ìṣàkóso iṣẹ́.
Nípasẹ̀ ọ̀nà ìmọ̀ ẹ̀rọ gbogbogbò nìkan ni a lè fi lè ní ìdúróṣinṣin àwọ̀ àti ìṣọ̀kan ìṣẹ̀dá tó wọ́pọ̀ fún ìgbà pípẹ́.
–Atẹ̀jáde àpilẹ̀kọ yìí ni a tẹ̀ jáde láti ọwọ́ẹrọ ti a fi bo igbaleolupese Zhenhua Vacuum
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-18-2025