— Kev Tshawb Fawb Txog Kev Siv Zaj Duab Xis Mus Rau Kev Tswj Xyuas Txheej Txheem
1. "Xim ploj tom qab txheej" txhais li cas tiag?
Nyob rau hauv lubkev lag luam txheej txheem nqus tsev, xim ploj tsis yog tsuas yog kev hloov xim pom xwb. Feem ntau nws qhia tau tias:
Maj mam hloov xim lossis hloov pauv raws sijhawm
Xim hloov pauv tom qab av noo, kev laus thermal, lossis kev sim UV
Kev hloov xim hauv zos, xim grey, lossis poob ntawm cov xim hlau ci ntsa iab
Feem ntau, xim ploj tsis yog los ntawm xim tsis ruaj khov, tab sis los ntawm kev ua tsis tiav ntawm cov qauv, cov khoom siv, lossis cov txheej txheem hauv lub txheej txheem txheej.
2. Cov laj thawj tseem ceeb ntawm kev ploj xim tom qab txheej nqus tsev
2.1 Qhov Ceev Ntawm Zaj Duab Xis Tsis Txaus Ua Rau Oxidation Los Yog Moisture Ingress
Thaum lub sijhawm PVD evaporation lossis magnetron sputtering, lub zog tso tawm tsis txaus lossis qhov ceev ntawm plasma qis tuaj yeem ua rau muaj cov qauv loj hlob columnar nrog porosity siab.
Cov yeeb yaj kiab no muaj feem cuam tshuam rau:
Kev sib kis ntawm cov pa oxygen thiab cov dej noo raws cov ciam teb ntawm cov noob
Oxidation los yog corrosion ntawm cov hlau txheej
Kev hloov pauv ntawm cov xwm txheej cuam tshuam ntawm qhov muag
Qhov no thaum kawg ua rau xim puas tsuaj lossis cuam tshuam.
2.2 Kev Xaiv Cov Khoom Siv Txheej Txheem Tsis Zoo
Cov ntaub ntawv txheej sib txawv qhia tau tias muaj kev ruaj khov ib puag ncig sib txawv:
Cov yeeb yaj kiab hlau ntshiab (piv txwv li, Al, Cr) muaj kev cuam tshuam loj heev rau kev oxidation yam tsis muaj cov txheej tiv thaiv
Qee cov hlau lossis cov hlau sib xyaw xim muaj kev cuam tshuam rau qhov chaw noo thiab kub
Refractive index drift hauv dielectric txheej ncaj qha ua rau muaj kev hloov pauv xim
Yog tsis muaj txheej hlau tsim zoo + txheej tiv thaiv dielectric, qhov kev pheej hmoo ntawm cov xim ploj zuj zus tuaj.
2.3 Kev Tswj Xyuas Qhov Thickness Tsis Txaus thiab Kev Cuam Tshuam Tsis Ruaj Khoov
Cov xim pleev kom zoo nkauj thiab ua haujlwm tau zoo feem ntau yog tsim los ntawm cov teebmeem cuam tshuam ntawm qhov muag, uas rhiab heev rau qhov tuab ntawm zaj duab xis.
Cov teeb meem xws li:
Quartz crystal monitor drift los yog tsis ua haujlwm sensor positioning
Kev hloov pauv ntawm tus nqi tso nyiaj
Kev tig lossis kev tiv thaiv ntawm cov substrate tsis sib xws
tuaj yeem ua rau muaj qhov sib txawv ntawm qhov tuab, ua rau muaj kev hloov pauv xim thiab kev tsis sib xws ntawm cov khoom.
2.4 Kev nplaum tsis txaus ua rau muaj kev nthuav tawm me me
Yog tias kev ntxuav cov substrate tsis txaus, lossis kev kho plasma thiab kev pab txhawb nqa ion tsis txaus, kev sib txuas ntawm zaj duab xis thiab cov substrate yuav tsis muaj zog.
Nyob rau hauv kev kub hnyiab, kev ntxhov siab ntawm lub cev, lossis kev laus ntawm ib puag ncig, tej zaum yuav muaj cov kab nrib pleb me me lossis cov delamination hauv zos, zoo li xim ploj lossis tsis sib xws.
2.5 Tsis Muaj Kev Tsim Txheej Tiv Thaiv Zoo
Hauv kev siv sab hauv tsheb, teeb pom kev zoo, lossis cov av noo siab, qhov tsis muaj:
Cov txheej tiv thaiv dielectric ntom ntom xws li SiO₂ lossis SiNx
Cov txheej tiv thaiv ntiv tes (AF) lossis cov txheej tiv thaiv kev hnav sab saum toj
ua rau zaj duab xis raug kev tawm tsam los ntawm ib puag ncig, ua rau kev laus sai dua thiab xim ploj mus.
3. Kev daws teeb meem engineering los tiv thaiv xim ploj mus
3.1 Txhim Kho Lub Zog Tso Tawm thiab Qhov Ceev Ntawm Zaj Duab Xis
Los ntawm kev ua kom zoo dua:
Magnetron sputtering zog ceev
Cov kev ntsuas ntawm Ion-assisted deposition (IAD)
Kev cuam tshuam ntawm cov khoom siv thiab qhov kub
kev ua kom cov zaj duab xis ntom tuaj yeem txhim kho tau zoo heev, ua rau tsis muaj kev oxidation thiab noo noo nkag mus.
3.2 Kev Txhim Kho Cov Txheej Txheem Tsim
Kev siv cov txheej hlau uas muaj kev cuam tshuam ua ke nrog cov qauv tiv thaiv dielectric ntau txheej ua kom muaj kev ua tau zoo ntawm qhov muag thiab kev ruaj khov ntawm ib puag ncig mus sij hawm ntev.
3.3 Kev Siv Kev Saib Xyuas thiab Tswj Xyuas Qhov Thickness ntawm Lub Voj Voog Kaw
Cov txheej txheem saib xyuas siv lead ua los ntawm quartz ua ke nrog cov txheej txheem tswj hwm kaw-loop ua kom muaj qhov rov ua dua ntawm cov tuab thiab kev sib xws ntawm ib pawg mus rau ib pawg.
3.4 Txhim Kho Kev Kho Ua Ntej Nto thiab Kev Tsim Kho Qhov Sib Txuas
Kev ntxuav plasma thiab kev ua kom muaj ion bombardment ua rau muaj zog sib txuas ntawm cov txheej thiab cov substrate.
4. Xaus Lus
Xim ploj tom qab txheej tshuab nqus tsev tsis tshua muaj los ntawm ib qho yuam kev parameter. Nws yog qhov tshwm sim ntawm kev ua tsis tiav ntawm theem system uas cuam tshuam nrog kev xaiv cov khoom siv, kev tsim cov txheej txheem, thiab kev tswj cov txheej txheem.
Tsuas yog los ntawm kev siv txoj kev tsim kho kom zoo xwb thiaj li yuav ua tau kom xim ruaj khov mus ntev thiab ua tau ntau yam khoom sib xws.
– Tsab xov xwm no tau luam tawm los ntawmcov khoom siv nqus tsev txheejChaw tsim khoom Zhenhua Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-18-2025