— He Tātari Pūnaha mai i te Hanganga Kiriata ki te Whakahaere Tukanga
1. He aha te tikanga o te "Ngaro Tae i Muri i te Paninga"?
I roto i teahumahi paninga korehau, ehara te memeha tae i te panoni tae ā-kanohi noa iho. Ko te tikanga ka puta mai i ēnei:
Te hekenga āta, te neke haere rānei o te tae i roto i te wā
Te rerekētanga o te tae i muri i te haumākū, te koroheketanga wera, ngā whakamātautau pānga UV rānei
Te rerekētanga o te tae o te rohe, te hina, te ngaronga rānei o te kanapa whakarewa
Ko te tikanga, ehara i te mea nā te tae koretake tonu te memeha o te tae, engari nā ngā hapa hanganga, rauemi, tukanga rānei i roto i te pūnaha paninga.
2. Ngā Take Matua o te Ngaro o te Tae i Muri i te Paninga Korehau
2.1 Te iti o te mātotoru o te kiriata, ka hua ake te waikura, te urunga rānei o te makuku
I te wā e mimiti ana te PVD, e pupuhi ana rānei te magnetron, mēnā kāore i te rawaka te kaha whakatakotoranga, i te iti rānei o te kiato plasma, ka hua ake he hanganga tipu poutū me te porosity teitei.
Ko ēnei kiriata ka pāngia e:
Te horapa o te hāora me te makuku i ngā rohe o te witi
Te waikura, te waikura rānei o te paparanga whakarewa
Te whakarerekētanga o ngā āhuatanga pokanoa whatu
I te mutunga, ka arahi tēnei ki te hekenga o te tae, ki te whakapohehe rānei.
2.2 Te Kōwhiringa Hē o ngā Pūnaha Rauemi Paninga
He rerekē te pumau o ngā rauemi paninga ki te taiao:
He tino ngāwari ngā kiriata whakarewa parakore (hei tauira, Al, Cr) ki te waikura mēnā kāore he paparanga tiaki.
He tairongo ētahi konganuku, ētahi koranu rānei ki ngā taiao makuku me te wera
Ko te rerekētanga o te taupū whakaata i roto i ngā paparanga dielectric ka puta tika te rerekētanga o te tae
Ki te kore he paparanga whakarewa me te hanganga tiaki hiko kua hoahoatia tika, ka nui ake te mōrearea o te memeha o te tae.
2.3 Te Whakahaere Matotoru Kiriata Kāore i te Rawaka me te Taupatupatu o te Whakararuraru
Ko ngā tae paninga whakapaipai me ngā tae paninga mahi ka puta mai i ngā pānga pokanoa whatu, he tino tairongo ki te matotoru o te kiriata.
Ngā take pēnei i:
Te nekenekehanga o te mata o te karaihe kuata, te tūnga hē rānei o te pūoko
Ngā piki me ngā heke o te reiti tāpui
Te hurihanga papa kore-ōrite, te parenga rānei
ka rerekē pea te matotoru, ka rerekē ai te tae me te kore e ōrite te puranga.
2.4 Te korenga o te piri ka hua ake te wehenga iti
Mena kāore i te rawaka te horoinga o te papa, kāore rānei i te rawaka te maimoatanga o mua i te plasma me te whakahohenga āwhina-katote, ka ngoikore pea te piri i waenga i te kiriata me te papa.
I raro i te huringa wera, te ahotea ā-ringa, te koroheketanga rānei o te taiao, ka puta pea ngā kapiti moroiti, ngā wehewehenga ā-rohe rānei, e puta mai ana he memeha tae, he kore taurite rānei i te tirohanga whānui.
2.5 Te Kore o te Hoahoa Papa Tiaki Whai Hua
I roto i ngā mahi whakapaipai o roto o te motuka, rama, me ngā mahi makuku nui rānei, ko te ngaro o ēnei:
Ngā paparanga tiaki hiko-kore matotoru pērā i te SiO₂, te SiNx rānei
Ngā paninga o runga ātete-matimati (AF) me te ātete-mau
ka tū tika te kiriata ki ngā whakaekenga a te taiao, ka tere ake te koroheketanga me te memeha o te tae.
3. Ngā Otinga Hangarau hei Ārai i te Ngaro o te Tae
3.1 Te Whakapai Ake i te Pūngao Whakatakotoranga me te Kiato Kiriata
Mā te arotau:
Te mātotoru o te mana pupuhi o te Magnetron
Ngā tawhā tāpaetanga āwhina-ā-katote (IAD)
Te pānga o te papa me te pāmahana
ka taea te whakapai ake i te whakakīkī o te kiriata, ka pehi pai i te waikura me te urunga mai o te makuku.
3.2 Te Arotau i te Hoahoa o te Papa Paninga
Mā te whakamahi i ngā paparanga whakaata whakarewa me ngā hanganga tiaki hiko maha-apa ka whakarite i te mahi tirohanga me te pumau taiao mō te wā roa.
3.3 Te Whakatinana i te Aroturuki me te Whakahaere Matotoru Porowhita-Kati
Mā te whakakotahitanga o ngā pūnaha aroturuki karaihe kuata me ngā rauropi whakahaere porowhita-katia ka whakarite kia tino rite te matotoru me te ōritetanga o te puranga-ki-te-puranga.
3.4 Te Whakapakari i te Maimoatanga Mata me te Hangarau Atanga
Mā te horoi parāma me te whakahohenga o te pupuhi katote ka whakarei ake i te kaha here ā-kanohi i waenga i te paninga me te papa.
4. Whakamutunga
Kāore i te maha ngā wā ka memeha te tae i muri i te paninga korehau e puta mai i te hapa tawhā kotahi. He hua tēnei o ngā hapa taumata-pūnaha e pā ana ki te kōwhiringa rauemi, te hoahoa puranga paninga, me te whakahaere tukanga.
Mā te huarahi hangarau whānui anake ka taea te whakatutuki i te pumau tae mō te wā roa me te ōritetanga o te hanga papatipu.
–Nātaputapu paninga korehaukaihanga Zhenhua Vacuum
Wā tuku: Hakihea-18-2025