— Nyocha Sistemụ site na Nhazi Ihe Nkiri ruo na Njikwa Usoro
1. Gịnị ka "Ịgba agba mgbe e mechara mkpuchi" pụtara n'ezie?
Naụlọ ọrụ mkpuchi agụụ, agba na-agbawa agba abụghị naanị mgbanwe agba anya. Ọ na-apụtakarị dị ka:
Mbibi agba ma ọ bụ mgbanwe ka oge na-aga
Mgbanwe agba mgbe iru mmiri, ịka nká okpomọkụ, ma ọ bụ ule ikpughe UV gasịrị
Agba dị iche iche n'ógbè ahụ, isi awọ, ma ọ bụ mfu nke ihe na-egbuke egbuke nke ọla
N'ụzọ bụ isi, agba anaghị agba agba nke ọma, kama ọ bụ mmebi nke usoro, ihe, ma ọ bụ usoro dị n'ime sistemụ mkpuchi ahụ.
2. Isi Ihe Na-akpata Agba Na-ebelata Mgbe E Mechara Mkpuchi Uzuzu
2.1 Enweghị njupụta ihe nkiri zuru oke nke na-eduga na oksidation ma ọ bụ mmiri mmiri.
N'oge PVD evaporation ma ọ bụ magnetron sputtering, ike nchekwa zuru oke ma ọ bụ obere njupụta plasma nwere ike ibute usoro uto kọlụm nwere nnukwu porosity.
Ihe nkiri ndị dị otú ahụ na-adịkarị mfe:
Mgbasa ikuku oxygen na mmiri n'akụkụ ókèala ọka
Oxidation ma ọ bụ corrosion nke oyi akwa ígwè
Mgbanwe nke ọnọdụ nnyonye anya
Nke a na-eduga n'ọdịda agba ma ọ bụ mgbanwe agba.
2.2 Nhọrọ na-ezighi ezi nke Sistemụ Ihe Mkpuchi
Ihe mkpuchi dị iche iche na-egosipụta nkwụsi ike gburugburu ebe obibi dị iche iche nke ukwuu:
Ihe nkiri ígwè dị ọcha (dịka ọmụmaatụ, Al, Cr) na-adị mfe ịnweta oxidation na-enweghị akwa nchekwa.
Ụfọdụ ọla ma ọ bụ alloys agba na-enwe mmetụta maka gburugburu ebe mmiri na okpomọkụ.
Ntughari ndepụta ntụgharị uche na akwa dielectric na-ebute mgbanwe agba ozugbo
Na-enweghị usoro nchekwa ígwè nke ọma + dielectric, ihe egwu nke agba na-ebelata nke ukwuu.
2.3 Njikwa ọkpụrụkpụ ihe nkiri na enweghị ntụkwasị obi zuru oke
A na-ejikarị mmetụta nnyonye anya na-emepụta agba mkpuchi mara mma na nke bara uru, nke na-emetụta oke ọkpụrụkpụ ihe nkiri ahụ.
Nsogbu ndị dịka:
Ndagharị nke ihe nlele kristal Quartz ma ọ bụ ọnọdụ sensọ na-ezighi ezi
Mgbanwe ọnụego mwepụta
Mgbanwe ma ọ bụ ihe nchebe nke substrate na-abụghị otu
nwere ike ibute mgbanwe ọkpụrụkpụ, na-ebute mgbanwe agba na enweghị nkwekọ n'etiti otu.
2.4 Enweghị nrachi zuru oke nke na-akpata obere mmebi
Ọ bụrụ na nhicha ihe e ji kpuchie ihe ahụ ezughi oke, ma ọ bụ na plasma tupu ọgwụgwọ na ion enyere aka ezughị oke, njikọta dị n'etiti ihe nkiri ahụ na ihe e ji kpuchie ihe ahụ nwere ike ịdị njọ.
N'okpuru usoro okpomọkụ, nrụgide igwe, ma ọ bụ ịka nká gburugburu ebe obibi, obere mgbawa ma ọ bụ delamination mpaghara nwere ike ime, na-apụta n'ụzọ macroscopic dị ka agba na-ebelata ma ọ bụ enweghị nhata.
2.5 Enweghị Nhazi Akwa Nchedo Dị Irè
N'ime ime ụgbọala, ọkụ, ma ọ bụ ngwa mmiri dị elu, enweghị:
Akwa nchekwa dielectric dị oke egwu dịka SiO₂ ma ọ bụ SiNx
Ihe mkpuchi elu nke na-anaghị egbochi mkpisi aka (AF) ma ọ bụ nke na-anaghị emerụ ahụ
na-ekpughe ihe nkiri ahụ ozugbo na mwakpo gburugburu ebe obibi, na-eme ka ịka nká na agba na-ebelata ngwa ngwa.
3. Ngwọta Injinịa iji gbochie agba ịcha ọcha
3.1 Ime ka ike nke ihe nkiri na njupụta ya dịkwuo mma
Site na imeziwanye:
Ike njupụta nke magnetron
Paramita nke ion-assisted deposition (IAD)
Mgbanwe na okpomọkụ nke ihe ndị na-adịghị mma
Enwere ike ime ka njupụta ihe nkiri dịkwuo mma nke ukwuu, na-egbochi oxidation na mmiri ịbanye n'ime nke ọma.
3.2 Nhazi Mkpuchi Kachasị Mma
Ịnabata akwa ihe na-egosipụta ígwè yana usoro nchekwa dielectric dị iche iche na-eme ka arụmọrụ anya na iguzosi ike n'ezi ihe gburugburu ebe obibi dịgide ogologo oge.
3.3 Itinye Nlekota na Njikwa Okpukpo Emechiri Emechi
Sistemụ nlekota kristal Quartz jikọtara ya na algọridim njikwa mkpọchi mechiri emechi na-eme ka ọ dị oke ọkpụrụkpụ ma nwee ike imeghachi ya n'otu oge.
3.4 Mmezi Mmezi Elu na Nhazi Njikọta nke Na-eme Ka Elu Sikwuo Ike
Nhicha plasma na ime ka ion bombardment rụọ ọrụ na-eme ka ike njikọ dị n'etiti mkpuchi ahụ na substrate dịkwuo mma.
4. Mmechi
Agba na-agbawa agba mgbe mkpuchi vacuum gasịrị anaghị abụkarị otu njehie paramita. Ọ bụ nsonaazụ nke ọdịda ọkwa sistemụ gụnyere nhọrọ ihe, nhazi mkpokọta mkpuchi, na njikwa usoro.
Naanị site na usoro injinia zuru oke ka a ga-esi nweta nkwụsi ike agba ogologo oge na nguzozi mmepụta nke ọtụtụ ihe.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaakụrụngwa mkpuchi agụụonye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Disemba-18-2025