Sei Kupera Kwemavara Kuchiitika Mushure meKuputira Vacuum?

— Ongororo Yakarongeka Kubva Pakuumbwa Kwemafirimu Kuenda Pakudzora Maitiro

1. Zvinorevei chaizvo kuti "Kupera kweRuvara Mushure mekupeta"?

Muindasitiri yekudzivirira kuputira, kupera kwemavara hakusi kungochinja kwemavara chete. Kunowanzoonekwa seizvi:

Kudzikira kwemavara zvishoma nezvishoma kana kuchinja nekufamba kwenguva

Kuchinja kwemavara mushure mekunyorova, kukwegura kwekupisa, kana bvunzo dzeUV

Kuchinja kweruvara rwenzvimbo, kuchena kwebvudzi, kana kurasikirwa nekupenya kwesimbi

Chaizvoizvo, kupera kwemavara hakukonzerwi neruvara rusina kugadzikana pacharwo, asi nekukundikana kwemaumbirwo, zvinhu, kana maitiro mukati mehurongwa hwekumonera.

2. Zvikonzero Zvikuru Zvinoita Kuti Ruvara Rupere Mushure meKuputira Vacuum
2.1 Kusakwana kweFirimu Kunokonzera Kuora kana Kupinda kweHunyoro

Munguva yekubuda kwePVD kana magnetron sputtering, simba rekuisa zvinhu zvisina kukwana kana kuti plasma density shoma zvinogona kukonzera kukura kwe columnar structure ine porosity yakakwira.

Mafirimu akadaro anowanzo shandiswa:

Kupararira kweokisijeni nehunyoro pamiganhu yezviyo

Kuora kana kuoreswa kwesimbi

Kuchinja kwemamiriro ekukanganiswa kwemaziso

Izvi zvinozopedzisira zvaita kuti ruvara ruve rwakaora kana kuti ruve rwakakanganisika.

2.2 Kusarudzwa Kusina Kunaka Kwemasisitimu Ezvinhu Zvekuputira

Zvinhu zvakasiyana-siyana zvekuputira zvinoratidza kugadzikana kwezvakatipoteredza kwakasiyana zvakanyanya:

Mafirimu esimbi yakachena (semuenzaniso, Al, Cr) anogona kuoxidation zvakanyanya pasina dziviriro.

Dzimwe simbi dzine mavara kana alloys dzinonzwa mamiriro ekunze ane hunyoro uye kupisa

Kudonha kweindekisi yeRefractive muzvikamu zve dielectric kunokonzera zvakananga kusiyana kwemavara

Pasina chimiro chesimbi chakagadzirwa zvakanaka + chimiro chekudzivirira che dielectric, njodzi yekudzima kwemavara inowedzera zvakanyanya.

2.3 Kusakwana Kwekudzora Ukobvu hweMafirimu uye Kusagadzikana kweKupindira

Mavara ekushongedza uye anoshanda anowanzo gadzirwa nemhedzisiro yekupindira kwemaziso, iyo inonyanya kukanganiswa nekukora kwefirimu.

Matambudziko akadai se:

Quartz crystal monitor inodonha kana nzvimbo isina kunaka ye sensor

Kuchinja-chinja kwehuwandu hwemari inoiswa mubhangi

Kutenderera kana kudzivirira substrate zvisina kufanana

zvinogona kukonzera kuchinja kweukobvu, zvichikonzera kusiyana kwemavara uye kusawirirana kwebatch.

2.4 Kusabatana Kwakakwana Kunokonzera Kuparadzana Kudiki

Kana kucheneswa kwesubstrate kusina kukwana, kana kuti kurapwa kweplasma uye kushandiswa kwemaion zvisina kukwana, kubatana pakati pefirimu nesubstrate kunogona kunge kusina kusimba.

Kana zvinhu zvichifamba panguva yekupisa, kushushikana kwemuchina, kana kukwegura kwezvakatipoteredza, kuputika kudiki kana kucheka kwemavara munzvimbo imwe chete kunogona kuitika, zvichiita sekunge ruvara rwapera kana kusaenzana.

2.5 Kushaikwa kweMagadzirirwo Anoshanda eLayer Rinodzivirira

Munzvimbo dzemotokari, mune mwenje, kana mune hunyoro hwakawanda, hapana:

Zvidziviriro zve dielectric zvakawanda zvakaita seSiO₂ kana SiNx

Mapendi epamusoro anodzivirira kupfekwa kweminwe (AF) kana kuti asingapfeki

inoburitsa firimu racho pachena kuti harina kurwiswa nezvakatipoteredza, zvichiita kuti rikurumidze kukwegura uye ruvara ruve rwakasviba.

3. Mhinduro dzeUinjiniya dzekudzivirira Kupera kweRuvara
3.1 Kuvandudza Simba reKuisa uye Kuwanda kweMafirimu

Nekugadzirisa:

Kuwanda kwesimba reMagnetron sputtering

Maparamita eIon-assisted deposition (IAD)

Kusarura kwe substrate uye tembiricha

Kuwanda kwemafirimu kunogona kuvandudzwa zvakanyanya, zvichideredza oxidation uye kupinda kwehunyoro.

3.2 Kugadzirisa Dhizaini Yekuputira Matanda

Kushandisa simbi inopenya yakasanganiswa ne multilayer dielectric protection structures kunoita kuti zvionekwe zvakanaka uye kuti nharaunda igare yakagadzikana kwenguva refu.

3.3 Kuisa Kutarisa neKudzora Ukobvu hweLoop Yakavharwa

Masisitimu ekutarisa makristaro eQuartz pamwe chete nemaalgorithms ekudzora akavharika anoita kuti pave nekukobvu kwakakwirira uye kuti pave nekuenderana kwehuwandu hwezvinhu.

3.4 Kusimbisa Kugadziriswa Kwepamusoro uye Unyanzvi hweKubatanidza

Kuchenesa plasma uye kushanda kwemaion bombardment kunowedzera simba rekubatana pakati pejira ne substrate.

4. Mhedziso

Kupera kweruvara mushure mekuputira vacuum hakuwanzokonzereswi nekukanganisa kweparameter imwe chete. Izvi zvinokonzerwa nekukundikana kwesystem-level kunosanganisira kusarudzwa kwezvinhu, dhizaini ye coating stack, uye kudzora maitiro.
Kuburikidza nenzira yeinjiniya yakakwana chete ndipo panogona kuwanikwa kugadzikana kwenguva refu kwemavara uye kugadzikana kwekugadzirwa kwemavara akawanda.

–Chinyorwa ichi chakabudiswa namidziyo yekunamira ye vacuummugadziri Zhenhua Vacuum