— Tlhahlobo e Hlophisitsoeng ho tloha Sebopeho sa Lifilimi ho ea Taolong ea Ts'ebetso
1. "Ho Fela ha 'Mala ka Mor'a ho Koahela" ho Bolela'ng Hantle-ntle?
Ka hare hoindasteri ea ho roala ka lephaka, ho fela ha mmala ha se phetoho ya pono feela. Hangata ho iponahatsa ka tsela e latelang:
Ho senyeha kapa ho fetoha ha mmala butle-butle ha nako e ntse e ea
Ho kheloha ha 'mala ka mor'a mongobo, botsofali ba mocheso, kapa liteko tsa ho pepesehela UV
Ho fifala ha 'mala sebakeng seo, ho ba putsoa, kapa ho lahleheloa ke khanya ea tšepe
Ha e le hantle, ho fela ha 'mala ha ho bakoe ke 'mala o sa tsitsang ka booona, empa ho bakoa ke ho hloleha ha sebopeho, thepa, kapa ts'ebetso ka har'a sistimi ea ho roala.
2. Mabaka a Bohlokoa a ho Fela ha 'Mala Kamora ho Koaheloa ke Vacuum
2.1 Botebo bo sa Lekaneng ba Filimi bo Lebisang ho Oxidation kapa ho Kena ha Mongobo
Nakong ea ho fetoha ha mouoane ha PVD kapa ho phatloha ha magnetron, matla a sa lekaneng a ho boloka kapa ho ba le bongata bo tlase ba plasma ho ka fella ka sebopeho sa kholo ea columnar se nang le masoba a mangata.
Lifilimi tse joalo li atisa ho ba le:
Ho hasana ha oksijene le mongobo meeling ea lijo-thollo
Ho oksida kapa ho bola ha lera la tšepe
Phetoho ea maemo a tšitiso ea mahlo
Qetellong sena se lebisa ho senyeha kapa ho sotheha ha 'mala.
2.2 Khetho e sa Lokang ea Mekhoa ea Lintho tsa ho Koahela
Lisebelisoa tse fapaneng tsa ho roala li bontša botsitso ba tikoloho bo fapaneng haholo:
Lifilimi tsa tšepe e hloekileng (mohlala, Al, Cr) li kotsing e kholo ea oxidation ntle le likarolo tse sireletsang.
Tšepe kapa metsoako e meng e mebala e na le kutloelo-bohloko tikolohong e mongobo le e futhumetseng
Ho kheloha ha index ea refractive ka har'a mekhahlelo ea dielectric ka kotloloho ho baka phapang ea 'mala
Ntle le lera la tšepe le entsoeng hantle + sebopeho sa lera la tšireletso ea dielectric, kotsi ea ho fela ha 'mala e eketseha haholo.
2.3 Taolo e sa Lekaneng ea Botenya ba Filimi le ho se Tsitse ha Tšitiso
Mebala e khabisang le e sebetsang ea ho roala hangata e hlahisoa ke litlamorao tsa tšitiso ea optical, tse amang haholo botenya ba filimi.
Mathata a kang:
Ho kheloha ha mohlokomeli oa kristale oa Quartz kapa sebaka se sa lokelang sa sensor
Ho feto-fetoha ha sekhahla sa ho beha thepa
Ho potoloha kapa ho sireletsa substrate e sa lekanang
ho ka fella ka ho kheloha ha botenya, e leng se lebisang ho feto-fetoha ha mebala le ho se tsitse ha sehlopha.
2.4 Ho Khomarela ho sa Lekaneng ho Bakang ho Fokotseha ha Metsotso e Menyenyane
Haeba ho hlwekisa substrate ho sa lekana, kapa kalafo ya pele ho plasma le ho kenngwa tshebetsong ha ion ho sa lekana, ho kgomarelana pakeng tsa filimi le substrate ho ka fokola.
Tlas'a potoloho ea mocheso, khatello ea mechine, kapa botsofali ba tikoloho, mapetso a manyane kapa karohano ea libaka e ka etsahala, e bonahalang ka bongata e le ho fifala ha 'mala kapa ho se lekane.
2.5 Ho Hloka Moralo o Sebetsang oa Lera le Sireletsang
Ka hare ho likoloi, mabone, kapa lits'ebetsong tse nang le mongobo o mongata, ho hloka:
Mealo e teteaneng ea tšireletso ea dielectric joalo ka SiO₂ kapa SiNx
Liaparo tse ka holimo tse thibelang ho hatisoa ha menoana (AF) kapa tse sa tsofaleng
e pepesetsa filimi tlhaselong ea tikoloho ka kotloloho, e potlakisa botsofali le ho fela ha 'mala.
3. Litharollo tsa Boenjiniere ho Thibela ho Fela ha 'Mala
3.1 Ho Ntlafatsa Matla a ho Hlahisa le Botebo ba Filimi
Ka ho ntlafatsa:
Sekhahla sa matla a ho qhala ha Magnetron
Liparamente tsa ho boloka ion ka thuso ea Ion (IAD)
Leeme la substrate le mocheso
Ho tiea ha filimi ho ka ntlafala haholo, ha thibela oxidation le ho kena ha mongobo ka katleho.
3.2 Ho Ntlafatsa Moralo oa Sekoahelo sa ho Koahela
Ho amohela mealo e bonahatsang ea tšepe e kopantsoeng le meaho ea tšireletso ea dielectric e nang le mealo e mengata ho netefatsa ts'ebetso ea pono le botsitso ba tikoloho ba nako e telele.
3.3 Ho kenya tshebetsong Tlhokomelo le Taolo ya Botenya ba Closed-Loop
Mekhoa ea ho beha leihlo kristale ea Quartz hammoho le li-algorithms tsa taolo ea loop e koetsoeng li netefatsa hore ho na le ho pheta-pheta ha botenya bo phahameng le ho tsitsa ha sehlopha ho ea ho sehlopha.
3.4 Matlafatso ea Tlhokomelo ea Bokaholimo le Boenjiniere ba Sebopeho
Ho hlwekisa plasma le ho kenngwa tshebetsong ha di-ion bombardment ho ntlafatsa matla a ho kopanya di-interfacial pakeng tsa lesela le substrate.
4. Qetello
Ho fifala ha mmala ka mora ho penta ka vacuum ha ho bakoe ke phoso e le nngwe ya paramethara. Ke phello ya ho hloleha ha boemo ba sistimi ho kenyeletsang kgetho ya thepa, moralo wa ho penta ka bongata, le taolo ya tshebetso.
Ke ka mokhoa oa boenjiniere bo akaretsang feela moo botsitso ba 'mala ba nako e telele le botsitso ba tlhahiso ea bongata bo ka finyelloang.
–Sengoloa sena se phatlalalitsoe kelisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Tshitwe-18-2025