— Кино бүтцээс процессын хяналт хүртэлх системчилсэн шинжилгээ
1. "Бүрээсний дараа өнгө бүдгэрэх" гэдэг нь үнэндээ юу гэсэн үг вэ?
Дотор ньвакуум бүрэх үйлдвэрлэлӨнгө бүдгэрэх нь зүгээр л харагдах өнгөний өөрчлөлт биш юм. Энэ нь ихэвчлэн дараах байдлаар илэрдэг.
Цаг хугацаа өнгөрөх тусам өнгөний аажмаар доройтол эсвэл шилжилт
Чийгшил, дулааны хөгшрөлт эсвэл хэт ягаан туяаны туршилтын дараа өнгөний хазайлт
Орон нутгийн өнгө өөрчлөгдөх, сааралдах эсвэл металл гялалзах чадвараа алдах
Үндсэндээ өнгө бүдгэрэх нь тогтворгүй өнгө өөрөөсөө бус, харин бүрэх системийн бүтцийн, материалын эсвэл процессын алдаанаас үүдэлтэй байдаг.
2. Вакуум бүрээсний дараа өнгө бүдгэрэх гол шалтгаанууд
2.1 Хальсны нягтрал хангалтгүй байгаа нь исэлдэлт эсвэл чийг нэвчихэд хүргэдэг
PVD ууршилт эсвэл магнетрон цацалтын үед тунадасны энерги хангалтгүй эсвэл плазмын нягтрал бага байх нь өндөр сүвэрхэг чанар бүхий багана хэлбэрийн өсөлтийн бүтэц үүсгэж болно.
Ийм кинонууд дараахь зүйлд өртөмтгий байдаг.
Үр тарианы хил дагуу хүчилтөрөгч ба чийгийн тархалт
Металл давхаргын исэлдэлт эсвэл зэврэлт
Оптик интерференцийн нөхцөл байдлын өөрчлөлт
Энэ нь эцэстээ өнгөний доройтол эсвэл гажуудалд хүргэдэг.
2.2 Бүрхүүл материалын системийг буруу сонгох
Янз бүрийн бүрэх материалууд нь хүрээлэн буй орчны тогтвортой байдлын хувьд мэдэгдэхүйц ялгаатай байдаг:
Цэвэр металл хальснууд (жишээ нь, Al, Cr) нь хамгаалалтын давхаргагүйгээр исэлдэлтэд маш мэдрэмтгий байдаг.
Зарим өнгөт металл эсвэл хайлш нь чийглэг болон дулааны орчинд мэдрэмтгий байдаг
Диэлектрик давхарга дахь хугарлын илтгэгчийн хэлбэлзэл нь өнгөний өөрчлөлтийг шууд үүсгэдэг
Зөв зохион бүтээсэн металл давхарга + диэлектрик хамгаалалтын давхаргын бүтэцгүй бол өнгө бүдгэрэх эрсдэл мэдэгдэхүйц нэмэгддэг.
2.3 Кино зузааны хяналт хангалтгүй ба хөндлөнгийн оролцооны тогтворгүй байдал
Чимэглэлийн болон функциональ бүрхүүлийн өнгийг ихэвчлэн оптик интерференцийн эффектүүд үүсгэдэг бөгөөд энэ нь хальсны зузаанд маш мэдрэмтгий байдаг.
Дараах асуудлууд:
Кварцын болор дэлгэцийн шилжилт эсвэл мэдрэгчийн буруу байрлал
Тунадасны хурдны хэлбэлзэл
Жигд бус субстратын эргэлт эсвэл хамгаалалт
зузааны хазайлт үүсгэж, өнгөний хэлбэлзэл болон багцын тогтворгүй байдалд хүргэж болзошгүй.
2.4 Бичил давхаргажилтыг үүсгэдэг хангалтгүй наалдац
Хэрэв субстратын цэвэрлэгээ хангалтгүй, эсвэл плазмын урьдчилсан боловсруулалт болон ионы тусламжтайгаар идэвхжүүлэлт хангалтгүй бол хальс болон субстратын хоорондох наалдац сул байж болно.
Дулааны мөчлөг, механик стресс эсвэл хүрээлэн буй орчны хөгшрөлтийн үед бичил хагарал эсвэл хэсэгчилсэн хальслалт үүсч болох бөгөөд энэ нь макроскопийн хувьд өнгө бүдгэрэх эсвэл жигд бус болох хэлбэрээр илэрдэг.
2.5 Үр дүнтэй хамгаалалтын давхаргын дизайн дутмаг
Автомашины салон, гэрэлтүүлэг эсвэл өндөр чийгшилтэй орчинд дараахь зүйлс байхгүй байх:
SiO₂ эсвэл SiNx зэрэг нягт диэлектрик хамгаалалтын давхаргууд
Хурууны хээнээс хамгаалах (AF) эсвэл элэгдэлд тэсвэртэй дээд бүрхүүл
хальсыг хүрээлэн буй орчны нөлөөлөлд шууд өртүүлж, хөгшрөлт болон өнгө бүдгэрэлтийг хурдасгадаг.
3. Өнгө бүдгэрэхээс урьдчилан сэргийлэх инженерийн шийдлүүд
3.1 Тунадасны энерги болон хальсны нягтралыг нэмэгдүүлэх
Оновчлолоор:
Магнетрон цацалтын чадлын нягтрал
Ионы тусламжтайгаар тунадасжуулах (IAD) параметрүүд
Субстратын хэвийлт ба температур
Кино нягтралыг мэдэгдэхүйц сайжруулж, исэлдэлт болон чийгийн нэвчилтийг үр дүнтэй дарангуйлж болно.
3.2 Бүрхүүлийн давхаргын дизайныг оновчтой болгох
Металл тусгал давхаргыг олон давхаргат диэлектрик хамгаалалтын бүтэцтэй хослуулан ашиглах нь харааны гүйцэтгэл болон урт хугацааны байгаль орчны тогтвортой байдлыг хангадаг.
3.3 Хаалттай гогцооны зузааны хяналт ба хяналтыг хэрэгжүүлэх
Кварцын болор хяналтын системүүд нь хаалттай гогцооны хяналтын алгоритмуудтай хосолсон нь өндөр зузаантай давтагдах чадвар болон багц хоорондын тогтвортой байдлыг хангадаг.
3.4 Гадаргуугийн урьдчилсан боловсруулалт болон интерфэйсийн инженерчлэлийг бэхжүүлэх
Плазмын цэвэрлэгээ болон ионы бөмбөгдөлтийг идэвхжүүлэх нь бүрхүүл ба суурь материалын хоорондох гадаргуугийн холболтын бат бөх чанарыг нэмэгдүүлдэг.
4. Дүгнэлт
Вакуум бүрэх дараа өнгө бүдгэрэх нь ганц параметрийн алдаанаас ховор тохиолддог. Энэ нь материалын сонголт, бүрэх стекийн дизайн, процессын хяналттай холбоотой системийн түвшний алдааны үр дүн юм.
Зөвхөн цогц инженерчлэлийн арга барилаар л урт хугацааны өнгөний тогтвортой байдал болон массын үйлдвэрлэлийн тогтвортой байдлыг хангаж чадна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмжүйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 12-р сарын 18