— ရုပ်ရှင်ဖွဲ့စည်းပုံမှ လုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှုအထိ စနစ်တကျ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း
၁။ “အလွှာအုပ်ပြီးနောက် အရောင်မှိန်ခြင်း” ဆိုတာ တကယ်ဘာကိုဆိုလိုတာလဲ။
ထဲမှာဖုန်စုပ်အလွှာပြုလုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းအရောင်မှိန်သွားခြင်းသည် မြင်သာသောအရောင်ပြောင်းလဲမှုတစ်ခုတည်းမဟုတ်ပါ။ ၎င်းသည် ပုံမှန်အားဖြင့် အောက်ပါအတိုင်းပေါ်လာလေ့ရှိသည်-
တဖြည်းဖြည်း အရောင်ကျခြင်း သို့မဟုတ် အချိန်ကြာလာသည်နှင့်အမျှ အရောင်ပြောင်းလဲခြင်း
စိုထိုင်းဆ၊ အပူကြောင့် အိုမင်းရင့်ရော်ခြင်း သို့မဟုတ် ခရမ်းလွန်ရောင်ခြည်ထိတွေ့မှု စမ်းသပ်မှုပြီးနောက် အရောင်ကွဲလွဲမှု
ဒေသတွင်း အရောင်ပြောင်းခြင်း၊ မီးခိုးရောင်ပြောင်းခြင်း သို့မဟုတ် သတ္တုတောက်ပမှု ဆုံးရှုံးခြင်း
အခြေခံအားဖြင့် အရောင်မှိန်ခြင်းသည် အရောင်မတည်ငြိမ်မှုကြောင့် မဟုတ်ဘဲ အပေါ်ယံလွှာစနစ်အတွင်းရှိ ဖွဲ့စည်းပုံ၊ ပစ္စည်း သို့မဟုတ် လုပ်ငန်းစဉ်ဆိုင်ရာ ချို့ယွင်းမှုများကြောင့် ဖြစ်သည်။
၂။ ဖုန်စုပ်အလွှာပြုလုပ်ပြီးနောက် အရောင်မှိန်သွားခြင်း၏ အဓိကအကြောင်းရင်းများ
၂.၁ အောက်ဆီဒေးရှင်း သို့မဟုတ် အစိုဓာတ်ဝင်ရောက်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေသည့် ဖလင်သိပ်သည်းဆ မလုံလောက်ခြင်း
PVD အငွေ့ပျံခြင်း သို့မဟုတ် မဂ္ဂနက်ထရွန် စပတာရင်း ပြုလုပ်စဉ်အတွင်း အနည်ထိုင်စွမ်းအင် မလုံလောက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပလာစမာသိပ်သည်းဆ နည်းပါးခြင်းသည် porosity မြင့်မားသော columnar growth structure ကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။
ထိုကဲ့သို့သော ရုပ်ရှင်များသည် အောက်ပါတို့ကို ကြုံတွေ့ရလေ့ရှိသည်-
အစေ့နယ်နိမိတ်တစ်လျှောက် အောက်ဆီဂျင်နှင့် အစိုဓာတ်ပျံ့နှံ့မှု
သတ္တုအလွှာ၏ အောက်ဆီဒေးရှင်း သို့မဟုတ် သံချေးတက်ခြင်း
အလင်းဆိုင်ရာ အနှောင့်အယှက် အခြေအနေများ ပြောင်းလဲခြင်း
ဤသည်မှာ နောက်ဆုံးတွင် အရောင်ယိုယွင်းခြင်း သို့မဟုတ် ပုံပျက်ခြင်းသို့ ဦးတည်စေသည်။
၂.၂ အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းစနစ်များ မသင့်လျော်စွာ ရွေးချယ်ခြင်း
မတူညီသော အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းများသည် သိသိသာသာကွဲပြားသော ပတ်ဝန်းကျင်တည်ငြိမ်မှုကို ပြသသည်-
သန့်စင်သော သတ္တုဖလင်များ (ဥပမာ Al၊ Cr) သည် အကာအကွယ်အလွှာများမပါဘဲ အောက်ဆီဒေးရှင်းဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားပါသည်။
အရောင်ရှိသော သတ္တု သို့မဟုတ် သတ္တုစပ်အချို့သည် စိုထိုင်းဆနှင့် အပူပတ်ဝန်းကျင်များကို ထိခိုက်လွယ်သည်
dielectric အလွှာများတွင် refractive index drift သည် အရောင်ပြောင်းလဲမှုကို တိုက်ရိုက်ဖြစ်စေသည်
ကောင်းမွန်စွာ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော သတ္တုအလွှာ + dielectric အကာအကွယ်အလွှာဖွဲ့စည်းပုံ မရှိပါက အရောင်မှိန်ခြင်းအန္တရာယ် သိသိသာသာ မြင့်တက်လာပါသည်။
၂.၃ ဖလင်အထူထိန်းချုပ်မှု မလုံလောက်ခြင်းနှင့် အနှောင့်အယှက်မတည်မငြိမ်ဖြစ်ခြင်း
အလှဆင်ထားသော နှင့် လုပ်ဆောင်ချက်ဆိုင်ရာ အပေါ်ယံအရောင်များကို ဖလင်အထူအပေါ် အလွန်အမင်း ထိခိုက်လွယ်သော optical interference effect များကြောင့် မကြာခဏ ဖြစ်ပေါ်လာလေ့ရှိသည်။
အောက်ပါကဲ့သို့သော ပြဿနာများ
Quartz crystal monitor ရွေ့လျားမှု သို့မဟုတ် sensor နေရာချထားမှု မမှန်ကန်ခြင်း
ကြွေကျနှုန်း အတက်အကျများ
တစ်ပြေးညီမဟုတ်သော အောက်ခံလည်ပတ်မှု သို့မဟုတ် အကာအကွယ်ပေးခြင်း
အထူအပါး ကွဲလွဲမှုကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်ပြီး အရောင်ကွဲပြားမှုနှင့် အသုတ်လိုက် မညီမညာဖြစ်မှုများကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။
၂.၄ မိုက်ခရို-အလွှာကွာကျခြင်းကို ဖြစ်စေသော ကပ်ငြိမှု မလုံလောက်ခြင်း
အောက်ခံအလွှာ သန့်ရှင်းရေး မလုံလောက်ပါက သို့မဟုတ် ပလာစမာ ကြိုတင်ပြုပြင်ခြင်းနှင့် အိုင်းယွန်းအကူအညီဖြင့် အသက်ဝင်စေခြင်းတို့ မလုံလောက်ပါက ဖလင်နှင့် အောက်ခံအလွှာကြား ကပ်ငြိမှု အားနည်းနိုင်ပါသည်။
အပူလည်ပတ်မှု၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဖိစီးမှု သို့မဟုတ် ပတ်ဝန်းကျင်ဆိုင်ရာအိုမင်းရင့်ရော်မှုအောက်တွင် အဏုကြည့်မှန်ပြောင်းဖြင့်ကြည့်လျှင် အက်ကွဲကြောင်းငယ်များ သို့မဟုတ် ဒေသတွင်းပြိုကွဲမှုများ ဖြစ်ပေါ်နိုင်ပြီး အရောင်မှိန်ခြင်း သို့မဟုတ် မညီမညာဖြစ်ခြင်းအဖြစ် မက်ခရိုစကုပ်ဖြင့် ပေါ်လာနိုင်သည်။
၂.၅ ထိရောက်သော အကာအကွယ်အလွှာ ဒီဇိုင်း မရှိခြင်း
မော်တော်ကားအတွင်းပိုင်း၊ မီးအလင်းရောင် သို့မဟုတ် စိုထိုင်းဆမြင့်မားသော အသုံးချမှုများတွင်၊ မရှိခြင်း-
SiO₂ သို့မဟုတ် SiNx ကဲ့သို့သော သိပ်သည်းသော dielectric အကာအကွယ်အလွှာများ
လက်ဗွေရာဒဏ်ခံနိုင်သော (AF) သို့မဟုတ် ပွန်းပဲ့မှုဒဏ်ခံနိုင်သော အပေါ်ယံအလွှာများ
ဖလင်ကို ပတ်ဝန်းကျင်၏ တိုက်ခိုက်မှုနှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့စေပြီး၊ အိုမင်းရင့်ရော်မှုနှင့် အရောင်မှိန်ခြင်းကို အရှိန်မြှင့်ပေးသည်။
၃။ အရောင်မှိန်ခြင်းမှ ကာကွယ်ရန် အင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ ဖြေရှင်းချက်များ
၃.၁ ထုတ်ယူစွမ်းအင်နှင့် ဖလင်သိပ်သည်းဆကို မြှင့်တင်ခြင်း
အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းဖြင့်-
မဂ္ဂနက်ထရွန် စပတ္တာ ပါဝါသိပ်သည်းဆ
အိုင်းယွန်းအကူအညီဖြင့် စုပုံခြင်း (IAD) ကန့်သတ်ချက်များ
အောက်ခံအလွှာဘက်လိုက်မှုနှင့် အပူချိန်
ဖလင်သိပ်သည်းဆကို သိသိသာသာ တိုးတက်ကောင်းမွန်စေပြီး အောက်ဆီဒေးရှင်းနှင့် အစိုဓာတ်ဝင်ရောက်မှုကို ထိရောက်စွာ နှိမ်နင်းပေးနိုင်ပါသည်။
၃.၂ Coating Stack ဒီဇိုင်းကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်း
အလွှာပေါင်းစုံ dielectric အကာအကွယ်ဖွဲ့စည်းပုံများနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသော သတ္တုရောင်ပြန်အလွှာများကို အသုံးပြုခြင်းသည် အမြင်အာရုံစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ရေရှည်ပတ်ဝန်းကျင်တည်ငြိမ်မှု နှစ်မျိုးလုံးကို သေချာစေသည်။
၃.၃ Closed-Loop Thickness Monitoring နှင့် Control ကို အကောင်အထည်ဖော်ခြင်း
ပိတ်ထားသော ကွင်းဆက်ထိန်းချုပ်မှု အယ်လဂိုရီသမ်များနှင့် ပေါင်းစပ်ထားသော ကွာ့ဇ်ပုံဆောင်ခဲ စောင့်ကြည့်ရေးစနစ်များသည် မြင့်မားသော အထူထပ်ထပ်ခါတလဲလဲ ထုတ်လုပ်နိုင်မှုနှင့် အသုတ်လိုက် တသမတ်တည်းဖြစ်မှုကို သေချာစေသည်။
၃.၄ မျက်နှာပြင်ကြိုတင်ပြုပြင်ခြင်းနှင့် အင်တာဖေ့စ်အင်ဂျင်နီယာကို အားကောင်းစေခြင်း
ပလာစမာ သန့်စင်ခြင်းနှင့် အိုင်းယွန်း ဗုံးကြဲခြင်း အသက်ဝင်ခြင်းသည် အပေါ်ယံလွှာနှင့် အောက်ခံလွှာကြားရှိ အပြန်အလှန် ချိတ်ဆက်နိုင်စွမ်းကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။
၄။ နိဂုံးချုပ်
ဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပြုလုပ်ပြီးနောက် အရောင်မှိန်ခြင်းသည် တစ်ခုတည်းသော parameter error ကြောင့် ရှားရှားပါးပါးသာ ဖြစ်ပွားလေ့ရှိသည်။ ၎င်းသည် ပစ္စည်းရွေးချယ်မှု၊ အပေါ်ယံလွှာဒီဇိုင်းနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှုတို့ပါဝင်သည့် စနစ်အဆင့် ချို့ယွင်းမှုများ၏ ရလဒ်ဖြစ်သည်။
ဘက်စုံအင်ဂျင်နီယာချဉ်းကပ်မှုမှတစ်ဆင့်သာ ရေရှည်အရောင်တည်ငြိမ်မှုနှင့် အစုလိုက်အပြုံလိုက်ထုတ်လုပ်မှု တသမတ်တည်းရှိမှုကို ရရှိနိုင်မည်ဖြစ်သည်။
- ဤဆောင်းပါးကို ထုတ်ဝေသူဖုန်စုပ်အပေါ်ယံလွှာပစ္စည်းကိရိယာများထုတ်လုပ်သူ Zhenhua ဖုန်စုပ်စက်
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၅ ခုနှစ်၊ ဒီဇင်ဘာလ ၁၈ ရက်