Maxay Midabka Baabi'intu u Dhacdaa Ka Dib Dahaarka Faakuumka?

— Falanqayn Nidaamsan laga bilaabo Qaab-dhismeedka Filimada ilaa Xakamaynta Habka

1. Maxay Dhab ahaantii ka dhigan tahay "Midabka oo libdha ka dib marka la dahaadho"?

Gudahawarshadaha daahan faakuumka, midab libdhiddu ma aha oo kaliya isbeddel midab muuqaal ah. Waxay caadi ahaan u muuqataa sidan:

Midabka oo si tartiib tartiib ah u burbura ama isbeddela waqti ka dib

Kala duwanaanshaha midabka ka dib qoyaanka, gabowga kulaylka, ama tijaabooyinka soo-gaadhista UV

Midab-beddel maxalli ah, cawlan, ama luminta dhalaalka birta

Asal ahaan, midab libdha ma keeno midabka aan degganayn laftiisa, laakiin waxaa sababa cillado qaab-dhismeed, agab, ama hab-raac la xiriira oo ku jira nidaamka dahaadhka.

2. Sababaha Muhiimka ah ee Midabka oo Baaba'a Ka Dib Dahaarka Faakuumka
2.1 Cufnaanta Filimada oo aan ku filnayn oo horseedda oksaydh ama Qoyaan soo galaya

Inta lagu jiro uumi-baxa PVD ama faafinta magnetron-ka, tamar kaydin oo aan ku filnayn ama cufnaanta balaasmaha oo hooseysa waxay keeni kartaa qaab-dhismeed korriin tiir leh oo leh dalool sare.

Filimada noocan oo kale ah waxay u nugul yihiin:

Ogsijiin iyo qoyaan faafin ah oo ku teedsan xuduudaha hadhuudhka

Oksaydh ama daxal lakabka birta ah

Isbeddelka xaaladaha faragelinta indhaha

Tani ugu dambeyntii waxay keentaa hoos u dhac ama qallooc midab.

2.2 Xulasho aan habboonayn oo ah Nidaamyada Qalabka Dahaadhka

Qalabka dahaarka ee kala duwan waxay muujiyaan xasillooni deegaan oo aad u kala duwan:

Filimada birta saafiga ah (tusaale ahaan, Al, Cr) aad bay ugu nugul yihiin oksaydhaynta iyada oo aan lahayn lakab ilaalin ah

Biraha ama alwaaxyada midabka leh qaarkood waxay u nugul yihiin jawiga qoyan iyo kan kulaylka.

Tilmaanta Refractive ee lakabka dielectric si toos ah ayaa sababa kala duwanaansho midab

Haddii aan lahayn lakab bir ah oo si habboon loo nashqadeeyay + qaab-dhismeedka lakabka ilaalinta dielectric, khatarta ah in midabku libdho ayaa si weyn u kordheysa.

2.3 Xakamaynta dhumucda filimka oo aan ku filnayn iyo xasillooni darrada faragelinta

Midabada dahaarka qurxinta iyo kuwa shaqeynaya waxaa badanaa ka dhasha saameynta faragelinta indhaha, kuwaas oo aad ugu nugul dhumucda filimka.

Arrimaha sida:

Kala-baxa kormeeraha kiristaalka Quartz ama booska dareemayaasha oo aan habboonayn

Isbeddellada heerka dhigaalka

Wareegga ama gaashaanka substrate-ka aan isku mid ahayn

waxay keeni kartaa leexasho dhumucdeed, taasoo keenta kala duwanaansho midab iyo iswaafaq la'aan dufcadeed.

2.4 Ku dheg la'aan ku filan oo keenta kala-goyn yar

Haddii nadiifinta substrate-ka aysan ku filnayn, ama daaweynta hore ee plasma iyo kicinta ion-ka ee ku filan aysan ku filnayn, isku-xidhka u dhexeeya filimka iyo substrate-ka ayaa laga yaabaa inuu daciif noqdo.

Wareegga kulaylka, cadaadiska farsamada, ama gabowga deegaanka, waxaa dhici kara dildilaacyo yaryar ama dildilaac deegaan, taasoo u muuqata mid macroscopic ahaan ah libdh midab ama aan sinnayn.

2.5 La'aanta Naqshadeynta Lakabka Ilaalinta ee Waxtarka leh

Gudaha baabuurta, nalalka, ama codsiyada qoyaanka badan, maqnaanshaha:

Lakabyo ilaalin dielectric ah oo cufan sida SiO₂ ama SiNx

Dahaarka sare ee ka hortagga faraha (AF) ama kuwa u adkaysta xirashada

waxay filimka si toos ah ugu soo bandhigaysaa weerarka deegaanka, taasoo dedejinaysa gabowga iyo libdhista midabka.

3. Xalalka Injineernimada si looga hortago libdhista midabka
3.1 Kobcinta Tamarta Kaydinta iyo Cufnaanta Filimada

Iyadoo la hagaajinayo:

Cufnaanta awoodda xoqidda magnetron

Xuduudaha dhigaalka Ion-ka ee caawiya (IAD)

Eexda substrate-ka iyo heerkulka

Cufnaanta filimka si weyn ayaa loo hagaajin karaa, iyadoo si wax ku ool ah loo xakameynayo oksaydhka iyo qulqulka qoyaanka.

3.2 Hagaajinta Naqshadaynta Dahaarka ee Tuubooyinka

Qaadashada lakabyada milicsiga birta ah oo ay weheliso qaab-dhismeedka ilaalinta dielectric-ka ee lakabka badan leh waxay hubinaysaa waxqabadka muuqaalka iyo xasilloonida deegaanka ee muddada dheer.

3.3 Hirgelinta Kormeerka iyo Xakamaynta Dhumucda Xidhan ee Wareegga

Nidaamyada kormeerka kiristaalka Quartz oo ay weheliso algorithms-ka xakamaynta wareegga xiran waxay hubiyaan in la soo celin karo dhumucda sare iyo isku dheelitirnaanta dufcad-ilaa-dufcad.

3.4 Xoojinta Daaweynta Dusha Sare iyo Injineernimada Is-dhexgalka

Nadiifinta Balaasmaha iyo kicinta bamgareynta ion waxay xoojisaa xoogga isku xidhka wejiga ee u dhexeeya dahaarka iyo substrate-ka.

4. Gunaanad

Midabka oo libdha kadib dahaarka faakuumka waxaa dhif ah inuu sababo khalad halbeeg ah. Waa natiijada cilladaha heerka nidaamka oo ku lug leh xulashada agabka, naqshadeynta dahaarka, iyo xakamaynta habka.
Kaliya iyada oo loo marayo hab injineernimo oo dhammaystiran ayaa lagu gaari karaa xasilloonida midabka muddada dheer iyo isku dheelitirnaanta wax soo saarka tirada badan.

–Maqaalkan waxaa daabacayqalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum