— O se Su'esu'ega Fa'atulagaina mai le Fa'atulagaga o Ata Tifaga i le Puleaina o Fa'agasologa
1. O le ā le Uiga Moni o le “Leiloa o le Lanu pe a Uma ona Ufiufi”?
I lealamanuia ufiufi masini mitiia, o le mou atu o lanu e lē na o se suiga vaaia o lanu. E masani ona aliali mai e pei o:
Fa'asolosolo malie le fa'aleagaina o lanu pe suia i le aluga o taimi
Eseesega o lanu pe a uma le susū, le matua i le vevela, po'o su'ega e a'afia ai le UV
Fa'aliliuga i le lotoifale, lanu efuefu, po'o le leiloa o le pupula u'amea
O le mea moni, o le mou atu o le lanu e lē mafua mai i le lanu lē mautu lava ia, ae ona o le fausaga, meafaitino, poʻo le faʻaletonu e fesoʻotaʻi ma le faagasologa i totonu o le faiga ufiufi.
2. Mafua'aga Autū o le Lē Toe Fa'aleleia o Lanu pe a Uma le Ufiufi i le Vacuum
2.1 Le Lava le Mafiafia o Ata Tifaga e Taʻitaʻia ai le Oxidation poʻo le Ulufale Mai o le Susū
I le taimi o le fa'apuna o le PVD po'o le magnetron sputtering, e le lava le malosiaga o le fa'aputuga po'o le maualalo o le plasma density e mafai ona i'u ai i se fausaga tuputupu a'e koluma ma le maualuga o le porosity.
O ia ata tifaga e faigofie ona:
Okesene ma le fa'asalalauina o le susu i luga o tuaoi o fatu
Okesene po'o le 'ele o le vaega u'amea
Suiga o tulaga fa'alavelave fa'a-opitika
O le mea lea e iu ai ina faaleagaina pe faaseseina ai le lanu.
2.2 Filifiliga Lē Talafeagai o Faiga o Mea Ufiufi
E eseese tele le mautu o le siosiomaga i mea e ufiufi ai:
E faigofie ona fa'aleagaina ata u'amea mama (e pei o le Al, Cr) pe a leai ni vaega puipuia.
O nisi u'amea po'o 'apamemea lanu eseese e maaleale i siosiomaga susū ma vevela
O le fesuia'iga o le fa'asinomaga o le fa'asinomaga i vaega dielectric e mafua ai ona fesuisuia'i lanu
A aunoa ma se vaega uʻamea ua mamanuina lelei + se fausaga o le vaega puipuiga dielectric, e matuā faʻateleina le lamatiaga o le mou atu o le lanu.
2.3 Pulea Lelei o le Mafiafia o Ata Tifaga ma le Lē Mafai ona Fa'alavelaveina
O lanu teuteu ma vali aoga e masani ona mafua mai i aafiaga fa'alavelave fa'apitoa, e matua'i maaleale lava i le mafiafia o le ata tifaga.
Fa'afitauli e pei o:
O le fe'avea'i o le mata'itusi tioata kuata po'o le tulaga le sa'o o le masini fa'alogo
Fesuia'iga o le fua faatatau o le teuina
Fa'ata'amilosaga po'o le puipuiga o le substrate e le tutusa
e mafai ona i'u ai i le fesuia'iga o le mafiafia, ma i'u ai i le fesuia'iga o lanu ma le lē tutusa o le tele o vaega.
2.4 Le lava o le pipii e mafua ai ona laʻititi le tipiina
Afai e le lava le fa'amamāina o le substrate, pe le lava le togafitiga muamua o le plasma ma le fa'agaoioiga fesoasoani a le ion, atonu e vaivai le pipii i le va o le ata tifaga ma le substrate.
I lalo o le taamilosaga o le vevela, fa'alavelave fa'amekanika, po'o le matua o le si'osi'omaga, e ono tupu ai ni māvaevae laiti po'o ni fa'amavaega i se vaega, ma e foliga mai o le mou atu o le lanu pe le tutusa.
2.5 Le Leai o se Fuafuaga Lelei o le Vaega Puipui
I totonu o taavale, moli, poʻo faʻaoga e maualuga le susū, o le leai o:
Vaega puipui dielectric mafiafia e pei o le SiO₂ poʻo le SiNx
Ufiufi pito i luga e tete'e i tamatamailima (AF) po'o le tete'e i le ofuina
e fa'aalia sa'o ai le ata tifaga i osofa'iga a le si'osi'omaga, fa'avavevaveina ai le matua ma le mou atu o le lanu.
3. Fofo Fa'ainisinia e Puipuia ai le Lē Mafatia o Lanu
3.1 Fa'aleleia atili o le Malosiaga o le Fa'aputuga ma le Tele o Ata Tifaga
I le fa'aleleia atili:
Mafiafia o le malosi o le fa'aosoina o le Magnetron
Fa'asologa o le fa'aputuga fesoasoani a le ion (IAD)
Fa'aituau ma le vevela o le substrate
e mafai ona matuā fa'aleleia atili le fa'ama'a'aina o le ata tifaga, ma taofia ai le fa'aogaina o le 'okesene ma le susu i totonu.
3.2 Fa'aleleia atili o le mamanu o le fa'aputuga ufiufi
O le faʻaaogaina o vaega uʻamea e atagia mai ai le ata faʻatasi ai ma fausaga puipuiga dielectric e tele vaega e faʻamautinoa ai le faʻatinoga vaaia ma le mautu o le siʻosiʻomaga i se taimi umi.
3.3 Fa'atinoina o le Mata'ituina ma le Puleaina o le Mamafa Tapuni
O faiga e mata'ituina ai le tioata kuata fa'atasi ai ma algorithms o le pulea fa'a-ta'amilosaga tapuni e fa'amautinoa ai le toe fai soo o le mafiafia ma le tutusa o le fa'asologa mai le tasi vaega i le isi.
3.4 Fa'amalosia o le Fa'agasologa Muamua o le Fa'aogaina o le Surface ma le Inisinia o le Interface
O le fa'amamāina o le plasma ma le fa'agaoioiga o le ion bombardment e fa'aleleia atili ai le malosi o le fusifusia o le va i le va o le ufiufi ma le substrate.
4. Faaiuga
E seasea ona mafua le mou atu o le lanu pe a uma ona valiina i le masini e aunoa ma le masini e sui ai le vali ona o se faaletonu e tasi. O se taunuuga lea o faaletonu i le tulaga o le faiga e aofia ai le filifilia o meafaitino, le mamanuina o le faaputuga vali, ma le puleaina o le faagasologa.
E na'o le auala fa'ainisinia atoatoa e mafai ai ona ausia le mautu o lanu i se taimi umi ma le tutusa o le gaosiga tele.
–O lenei tusiga na lomia emeafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le eakamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum
Taimi na lafoina ai: Tesema-18-2025