Pupọ awọn eroja kẹmika le jẹ vaporized nipa pipọ wọn pọ pẹlu awọn ẹgbẹ kẹmika, fun apẹẹrẹ Si fesi pẹlu H lati da SiH4, ati Al daapọ pẹlu CH3 lati ṣẹda Al(CH3). Ninu ilana CVD ti o gbona, awọn gaasi ti o wa loke gba iye kan ti agbara igbona bi wọn ti n kọja nipasẹ sobusitireti kikan ati ṣe awọn ẹgbẹ ifaseyin, bii CH3 ati AL (CH3) 2, bbl Lẹhinna wọn darapọ pẹlu ara wọn lati ṣẹda awọn ẹgbẹ ifaseyin, eyiti a fi sii sori sobusitireti naa. Lẹhinna, wọn darapọ pẹlu ara wọn ati ti wa ni ipamọ bi awọn fiimu tinrin. Ninu ọran ti PECVD, ikọlu ti awọn elekitironi, awọn patikulu agbara ati awọn ohun elo gaasi-ipele ninu pilasima pese agbara imuṣiṣẹ ti o nilo lati dagba awọn ẹgbẹ kemikali ifaseyin wọnyi.
Awọn anfani ti PECVD jẹ pataki ni awọn aaye wọnyi:
(1) Iwọn otutu ilana kekere ti a fiwera si ifasilẹ orule kemikali ti aṣa, eyiti o jẹ pataki nitori imuṣiṣẹ pilasima ti awọn patikulu ifaseyin dipo imuṣiṣẹ alapapo alapapo;
(2) Kanna bi mora CVD, ti o dara ewé-ni ayika plating ti fiimu Layer;
(3) Awọn akopọ ti Layer fiimu le jẹ iṣakoso lainidii si iwọn nla, ti o jẹ ki o rọrun lati gba awọn fiimu multilayer;
(4) Aapọn fiimu le jẹ iṣakoso nipasẹ imọ-ẹrọ idapọmọra giga / kekere.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 18-2024