Ifilọlẹ ion tan ina taara jẹ iru ifisilẹ iranlọwọ ion tan ina. Ipilẹ ion tan ina taara jẹ idasile ion tan ina ti ko ni iyatọ pupọ. Ilana yii ni a kọkọ lo lati ṣe agbejade awọn fiimu carbon ti o dabi diamond ni ọdun 1971, da lori ipilẹ pe apakan akọkọ ti cathode ati anode ti orisun ion jẹ erogba.
Gaasi ti o ni oye ni a mu sinu iyẹwu itusilẹ, ati aaye oofa itagbangba ti wa ni afikun lati fa itusilẹ pilasima labẹ awọn ipo titẹ kekere, ti o da lori ipa sputtering ti awọn ions lori awọn amọna lati gbe awọn ions erogba jade. Awọn ions erogba ati awọn ions ipon ninu pilasima ni a fa sinu iyẹwu ifisilẹ ni akoko kanna, ati pe wọn yara lati jẹ itasi sori sobusitireti nitori titẹ ojuṣaaju odi lori sobusitireti.
Awọn abajade idanwo fihan pe awọn ions erogba pẹlu agbara ti 50 ~ 100eV niyaraotutu, ni Si, NaCI, KCI, Ni ati awọn miiran sobsitireti lori igbaradi ti sihin Diamond-bi erogba film, resistivity bi ga bi 10Q-cm, refractive atọka ti nipa 2, insoluble ni inorganic ati Organic acids, ni kan gan ga líle.
——Àpilẹ̀kọ yìí ni a gbé jáde láti ọwọ́igbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-31-2023