Ohun elo ibora igbale jẹ igbagbogbo ti ọpọlọpọ awọn paati bọtini, ọkọọkan pẹlu iṣẹ kan pato ti tirẹ, ti o ṣiṣẹ ni ere lati ṣaṣeyọri daradara, fifisilẹ fiimu aṣọ. Ni isalẹ ni apejuwe ti awọn paati akọkọ ati awọn iṣẹ wọn:
Awọn eroja akọkọ
Iyẹwu igbale:
Iṣẹ-ṣiṣe: Pese iwọn-kekere tabi agbegbe igbale ti o ga julọ lati ṣe idiwọ ohun elo ti a bo lati ṣe ifasilẹ pẹlu awọn aiṣedeede ti afẹfẹ lakoko gbigbe tabi sputtering, aridaju mimọ ati didara fiimu naa.
Ilana: Nigbagbogbo ṣe ti agbara-giga, irin alagbara tabi aluminiomu, apẹrẹ inu ṣe akiyesi pinpin ṣiṣan afẹfẹ ati irọrun ti gbigbe sobusitireti.
Eto fifa igbale:
Iṣẹ: Ti a lo lati fa gaasi jade ninu iyẹwu igbale lati ṣaṣeyọri ipele igbale ti o nilo.
Awọn oriṣi: Pẹlu awọn ifasoke ẹrọ (fun apẹẹrẹ rotary vane pumps), awọn ifasoke turbomolecular, awọn ifasoke kaakiri ati awọn ifasoke ion.
Orisun evaporation tabi orisun sputtering:
Išẹ: ooru ati ki o yọ ohun elo ti a bo lati ṣe afẹfẹ tabi pilasima ni igbale.
Awọn oriṣi: pẹlu orisun alapapo resistance, orisun evaporation elekitironi, orisun sputtering magnetron ati orisun evaporation lesa, ati bẹbẹ lọ.
Dimu sobusitireti ati ẹrọ yiyipo:
Iṣẹ: Di sobusitireti mu ati ṣe idaniloju ifisilẹ aṣọ ti ohun elo ti a bo lori dada ti sobusitireti nipasẹ yiyi tabi oscillation.
ÌKỌ́: Ni deede pẹlu awọn dimole adijositabulu ati awọn ọna ẹrọ iyipo/scillating lati gba awọn sobusitireti ti awọn apẹrẹ ati titobi oriṣiriṣi.
Ipese agbara ati eto iṣakoso:
Iṣẹ: Pese agbara si orisun evaporation, orisun sputtering ati awọn ohun elo miiran, ati iṣakoso awọn aye ti ilana ibora gbogbogbo gẹgẹbi iwọn otutu, igbale ati akoko.
Awọn paati: Pẹlu awọn ipese agbara, awọn panẹli iṣakoso, awọn eto iṣakoso kọnputa, ati awọn sensọ ibojuwo.
Eto Ipese Gaasi (fun ohun elo ti a bo sputter):
Išẹ: Npese awọn gaasi inert (fun apẹẹrẹ, argon) tabi awọn gaasi ti n ṣiṣẹ (fun apẹẹrẹ, atẹgun, nitrogen) lati ṣetọju pilasima tabi lati kopa ninu iṣesi kemikali lati ṣe agbejade fiimu tinrin kan pato.
Awọn paati: Pẹlu awọn silinda gaasi, awọn olutona ṣiṣan, ati fifi ọpa gaasi.
Eto Itutu:
Iṣẹ: n tutu orisun evaporation, orisun sputtering ati iyẹwu igbale lati ṣe idiwọ igbona.
Awọn oriṣi: pẹlu awọn eto itutu agba omi ati awọn ọna itutu afẹfẹ, ati bẹbẹ lọ.
Eto ibojuwo ati wiwa:
Iṣẹ: Abojuto akoko gidi ti awọn aye bọtini ni ilana ti a bo, gẹgẹbi sisanra fiimu, oṣuwọn ifisilẹ, igbale ati iwọn otutu, lati rii daju pe didara ibora.
Awọn oriṣi: pẹlu kuotisi kirisita microbalance, atẹle sisanra opiti ati itupalẹ gaasi iyokù, ati bẹbẹ lọ.
Awọn ẹrọ aabo:
Iṣẹ: Ṣe idaniloju aabo awọn oniṣẹ ati ẹrọ lati awọn eewu ti o ṣẹlẹ nipasẹ awọn iwọn otutu giga, awọn foliteji giga tabi awọn agbegbe igbale.
Awọn paati: Pẹlu awọn ẹṣọ, awọn bọtini idaduro pajawiri ati awọn titiipa aabo, ati bẹbẹ lọ.
Ṣe akopọ.
Ohun elo iṣipopada igbale mọ ilana ti fifipamọ awọn fiimu tinrin didara giga nipasẹ iṣẹ amuṣiṣẹpọ ti awọn paati wọnyi. Awọn ẹrọ wọnyi ṣe ipa pataki ni igbaradi ti opitika, itanna, ohun ọṣọ ati awọn fiimu tinrin iṣẹ.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-23-2024