די ראָלע פון ​​קאָאָלינג סיסטעמען אין וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט

אין אוואַקוום קאָוטינג סיסטעם, די קיל-סיסטעם איז אן אומפארמיידלעכע הילפס-איינהייט. צי אין טערמישע פארדאמפונג, מאַגנעטראָן ספּאַטערינג, אדער CVD פּראָצעסן, די ציל, סאַבסטראַט, און קאַמער קאָמפּאָנענטן זענען אונטערטעניק צו אינטענסיווע היץ אונטער הויך-ענערגיע שטראַל באָמבאַרדירונג. אָן עפעקטיוו טערמיש פאַרוואַלטונג, ניט בלויז פאַרערגערט זיך פילם קוואַליטעט, אָבער עקוויפּמענט שעדיקן און פּראָדוקציע ינטעראַפּשאַנז קענען אויך פּאַסירן.

I. פארוואס דארפן וואקיום קאוטינג סיסטעמען קילן?

בעת די קאָוטינג פּראָצעסן, די הויפּט קוועלער פון היץ אַרייַננעמען:

ציל באָמבאַרדירונג: אין מאַגנעטראָן ספּאַטערינג, יאָן באָמבאַרדירונג פון די ציל דזשענערייץ אַ באַטייטיק סומע פון ​​היץ.

פּלאַזמע הייצונג: ענערגיע וואָס ווערט באַפרייט בעת פּלאַזמע אָפּזאָגן פירט צו לאָקאַליזירטע הייצונג אין דער קאַמער.

סאַבסטראַט הייצונג: ענערגיע טראַנספערד צו די ווערקפּיס בעשאַס פילם דעפּאַזישאַן ז טערמישע יקספּאַנשאַן אָדער ייבערפלאַך דעפאָרמאַציע.

פּאָמפּע און מאַכט פארלוסטן: הויך-מאַכט פּאָמפּעס און מאַכט סאַפּלייז דזשענערירן נאָך היץ לאָודז.

אויב היץ ווערט נישט פארשווינדן אין צייט, קען עס פירן צו:

פּאָרעז פילם וווּקס, רידוסט פילם געדיכטקייט.

סאַבסטראַט דעפאָרמאַציע און אָנווער פון דימענסיאָנעלער פּינקטלעכקייט.

אומנאָרמאַלע ציל עראָזיע, אַקסעלערייטינג "ברענען" פון די ציל.

פאַרזיגלונג דעגראַדאַציע אינעווייניק פון קאַמער, קאָמפּראָמיטירנדיק וואַקוום סטאַביליטעט.

II. ארבעטס-פרינציפן פון קיל-סיסטעמען

וואַקוום קאָוטינג סיסטעמען נוצן טיפּיש פארמאכט-לופּ וואַסער קילונג, בשעת עטלעכע הויך-פּרעציציע ויסריכט אויך ינטאַגרייץ ייל קילונג אָדער קריאָגעניק טראַפּס. די פונדאַמענטאַל מעקאַניזאַמז אַרייַננעמען:

קאָנדוקציע: היץ ווערט טראַנספערד דורך די ציל באַקינג פּלאַטע, סאַבסטראַט האָלדער, און קיל דזשאַקעטן.

קאָנוועקשאַן: צירקולירנדיקע קילמאַטעריאַל אַראָפּנעמט היץ פון באַהייצטע קאָמפּאָנענטן.

היץ אויסטויש: פּלאַטע היץ אויסטוישערס אדער קיל טורעמס אַריבערפירן טערמישע מאַסע צו דער פונדרויסנדיקער סביבה, וואָס ענשורז קעסיידערדיק טעמפּעראַטור קאָנטראָל.

III. שליסל ראָלעס פון די קיל סיסטעםm

אויפהאלטן פילם קוואַליטעט
סטאַבילע טעמפּעראַטור פאַרהיט אַבנאָרמאַל קריסטאַליזאַציע און אָפּטיש דריפט, וואָס ינשורז פילם יונאַפאָרמאַטי און שטאַרק אַדכיזשאַן.

פארלענגערן די לעבן פון עקוויפּמענט
באַשיצט וואַקוום קאַמערן, מאַגנעטראָן טאַרגאַץ, און סילינגז פון טערמישע שעדיקן.

זיכער מאַכן פּראָצעס ריפּיטאַביליטי
סטאַבילע קילן איז וויכטיק פֿאַר קאָנסיסטענסי פון באַטש צו באַטש.

שטיצן הויך-מאַכט פּראָצעסן
פֿאַר גרויס-שטח מאַגנעטראָן ספּאַטערינג אָדער לאַנג-דויער CVD פּראָצעסן, איז קאָאָלינג די יסוד פֿאַר אומגעשטערטע פּראָדוקציע.

IV. אויפהאלטונג וויכטיגקייטן

וואַסער קוואַליטעט פאַרוואַלטונג: ניצט דעיאָניזירט וואַסער (DI וואַסער) צו פאַרמייַדן קאַלק אויפבוי און יאָניש קאַנטאַמאַניישאַן.

פלוס און דרוק מאָניטאָרינג: ענשור גענוג קאָאָלינג עפעקטיווקייַט ביי טאַרגאַץ און סאַבסטראַט פיקסטשערז.

היץ וועקסלער רייניקונג: אויפהאלטן קילונג פאָרשטעלונג דורך פאַרהיטן פּאַרטיקל בלאַקידזש.

טעמפּעראַטור קאָנטראָל אינטעגראַציע: פֿאַרבינדונג מיט PLC סיסטעמען פֿאַר איבער-טעמפּעראַטור אַלאַרמס און אויטאָמאַטיש שאַטדאַון שוץ.

מסקנא

אין וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענט, איז די קיל סיסטעם נישט קיין פּעריפערישע אַקסעסאָרי נאָר אַ קערן זיכערהייט פֿאַר פּראָצעס פעסטקייט, פּראָדוקט טראָגן, און עקוויפּמענט לאַנגלעבעדיקייט. נאָר דורך אַ שטאַרקן קיל פּלאַן און סטאַנדאַרדיזירט וישאַלט קענען הויך-ענערגיע דעפּאָזיציע פּראָצעסן אַרבעטן אונטער קאָנטראָלירטע טעמפּעראַטורן, קאָנסיסטענטלי צושטעלן הויך-קוואַליטעט דין פילמען.

—דער אַרטיקל איז פאַרעפֿנטלעכט געוואָרן דורךוואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענטפאַבריקאַנט זשענהואַ וואַקוום