N'imeSistemụ Mkpuchi Agụụ, Sistemụ Oyi bụ ihe enyemaka dị mkpa. Ma ọ bụ na usoro Oyipụ Mmiri Ọkụ, Magnetron Sputtering, ma ọ bụ CVD, ihe ndị a na-akpọ target, substrate, na chamber na-ekpo ọkụ nke ukwuu n'okpuru bọmbụ ike dị elu. Na-enweghị njikwa okpomọkụ dị irè, ọ bụghị naanị na ịdị mma fim na-emebi emebi, kamakwa mmebi akụrụngwa na nkwụsị mmepụta nwekwara ike ime.
I. Gịnị mere Sistemụ Mkpuchi Uzuzu ji achọ ka e jụọ oyi?
N'oge usoro mkpuchi, isi ihe na-akpata okpomọkụ gụnyere:
Mgbawa A Na-atụ Anya: N'ime magnetron sputtering, bọmbụ ion nke ihe a na-atụ anya ya na-emepụta nnukwu okpomọkụ.
Ịkpọ Plasma ọkụ: Ike a na-ewepụta n'oge a na-ewepụta plasma na-eduga n'ikpo ọkụ n'ime ụlọ ahụ.
Okpomọkụ nke ihe ndị dị n'okpuru ala: Ike e zigara n'ebe a na-arụ ọrụ n'oge a na-etinye ihe nkiri na-akpata mmụba okpomọkụ ma ọ bụ mgbanwe elu.
Mfu nke Pọmpụ na Ike: Pọmpụ na ihe ndị na-enye ike dị elu na-emepụta ibu okpomọkụ ọzọ.
Ọ bụrụ na okpomọkụ anaghị agbaze n'oge, ọ nwere ike ibute:
Mmụba ihe nkiri ahụ na-agbagharị agbagharị, mbelata njupụta ihe nkiri ahụ.
Mbelata nke nhazi na mfu nke nhazi nha.
Mbibi ihe mgbaru ọsọ na-adịghị mma, na-eme ka "ọkụ" nke ihe mgbaru ọsọ ahụ dịkwuo ngwa ngwa.
Mechie mmebi n'ime ụlọ ahụ, na-emebi iguzosi ike nke oghere.
II. Ụkpụrụ Ọrụ nke Sistemụ Oyi
Sistemụ mkpuchi uzuoku na-ejikarị mmiri eme ka ọ dị jụụ, ebe ụfọdụ ngwa ọrụ dị oke mma na-ejikọtakwa ọnyà mmanụ ma ọ bụ ọnyà cryogenic. Usoro ndị bụ isi gụnyere:
Nduzi: A na-ebufe okpomọkụ site na efere azụ ebumnuche, ihe njide ihe, na jaket oyi.
Nchikota: Ihe na-eme ka mmiri dị jụụ na-ewepụ okpomọkụ site na ihe ndị a na-ekpo ọkụ.
Mgbanwe Okpomọkụ: Ihe ndị na-agbanwe okpomọkụ n'efere ma ọ bụ ụlọ elu oyi na-ebufe ibu okpomọkụ gaa na gburugburu ebe obibi, na-ahụ na njikwa okpomọkụ na-aga n'ihu.
Atọ. Ọrụ Dị Mkpa nke Sistemụ Jụụm
Ịnọgide na-enwe Ọdịmma Ihe Nkiri
Okpomọkụ kwụsiri ike na-egbochi kristal na-adịghị mma na ntụgharị anya, na-eme ka ihe nkiri ahụ dịrị n'otu ma na-arapara nke ọma.
Ịgbatịa Ngwa Ndụ
Na-echebe oghere ikuku, ihe mgbaru ọsọ magnetron, na akara site na mmebi okpomọkụ.
Hụ na usoro ahụ nwere ike imeghachi ya
Oyi dị mkpa maka otu ogbe gaa otu ogbe.
Ịkwado Usoro Ike Dị Elu
Maka usoro nnukwu mpaghara ma ọ bụ usoro CVD ogologo oge, oyi bụ ntọala maka mmepụta na-enweghị nkwụsị.
IV. Ihe Ndị Dị Mkpa Maka Mmezi
Njikwa Ogo Mmiri: Jiri mmiri e deionized (mmiri DI) gbochie mmụba nke nha na mmetọ ionic.
Nlekota na Nrụgide Mmiri: Hụ na ọ dị mma maka ime ka oyi dị n'ebe a na-eche nche na ihe ndị e ji ekpuchi ihe dị n'okpuru ala.
Nhicha nke Ihe Mgbanwe Okpomọkụ: Nọgide na-enwe arụmọrụ oyi site na igbochi mkpọchi nke ihe ndị dị n'ime ya.
Njikọta Njikwa Okpomọkụ: Jikọọ na sistemụ PLC maka mkpu oke okpomọkụ na nchedo mmechi akpaka.
Mmechi
N'ime ngwa mkpuchi ihe mkpofu, sistemụ oyi abụghị ihe mgbakwunye dị n'akụkụ kama ọ bụ ihe nchekwa dị mkpa maka iguzosi ike n'ezi ihe, mmepụta ngwaahịa, na ogologo oge akụrụngwa. Naanị site na imewe oyi siri ike na mmezi ọkọlọtọ ka usoro nchekwa ike dị elu nwere ike ịrụ ọrụ n'okpuru okpomọkụ a na-achịkwa, na-enye ihe nkiri dị gịrịgịrị dị elu mgbe niile.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaakụrụngwa mkpuchi agụụonye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Sep-10-2025