Nan yonSistèm kouch vakyòm, Sistèm Refwadisman an se yon inite oksilyè endispansab. Kit se nan pwosesis Evaporasyon Tèmik, Magnetron Sputtering, oswa CVD, konpozan sib la, substrat la, ak chanm lan sibi yon chofaj entans anba bonbadman gwo bout bwa enèji. San yon jesyon tèmik efikas, non sèlman kalite fim nan deteryore, men ekipman yo ka domaje epi pwodiksyon an ka entèrip tou.
I. Poukisa sistèm kouch vakyòm yo bezwen refwadisman?
Pandan pwosesis kouch yo, prensipal sous chalè yo enkli:
Bonbadman Sib: Nan pulverizasyon mayetron, bonbadman iyon sou sib la jenere yon kantite siyifikatif chalè.
Chofaj Plasma: Enèji ki libere pandan egzeyat plasma a mennen nan yon chofaj lokalize andedan chanm lan.
Chofaj Substra: Enèji ki transfere nan pyès la pandan depo fim nan lakòz ekspansyon tèmik oswa defòmasyon sifas.
Pèt Ponp ak Puisans: Ponp ak ekipman pouvwa ki gen gwo puisans jenere chaj chalè adisyonèl.
Si chalè a pa disparèt alè, sa ka lakòz:
Kwasans fim pore, dansite fim redwi.
Defòmasyon substrati ak pèt presizyon dimansyonèl.
Ewozyon sib anòmal, ki akselere "boule" sib la.
Degradasyon sele andedan chanm lan, sa ki konpwomèt estabilite vakyòm nan.
II. Prensip Fonksyònman Sistèm Refwadisman yo
Sistèm kouch vakyòm yo tipikman itilize refwadisman dlo an bouk fèmen, alòske gen kèk ekipman gwo presizyon ki entegre tou refwadisman lwil oliv oswa pyèj kriyojenik. Mekanis fondamantal yo enkli:
Kondiksyon: Chalè transfere atravè plak sipò sib la, detantè substrat la, ak jakèt refwadisman yo.
Konveksyon: Likid refwadisman k ap sikile a retire chalè nan konpozan chofe yo.
Echanj Chalè: Echanjeur chalè plak oswa gwo fò won refwadisman transfere chaj tèmik nan anviwònman ekstèn lan, pou asire kontwòl tanperati kontinyèl.
III. Wòl kle sistèm refwadisman anm
Kenbe Kalite Fim nan
Tanperati ki estab anpeche kristalizasyon anòmal ak flote optik, sa ki asire inifòmite fim nan ak yon adezyon solid.
Pwolonje lavi ekipman yo
Pwoteje chanm vakyòm yo, sib mayetron yo, ak sele yo kont domaj tèmik.
Asire Repetabilite Pwosesis la
Yon refwadisman ki estab esansyèl pou yon konsistans de pakèt a pakèt.
Sipòte Pwosesis ki gen Gwo Pwisans
Pou pwosesis pulverizasyon mayetron sou gwo sifas oswa pwosesis CVD ki dire lontan, refwadisman se fondasyon pou yon pwodiksyon san enteripsyon.
IV. Esansyèl Antretyen
Jesyon Kalite Dlo: Sèvi ak dlo deyonize (dlo DI) pou anpeche akimilasyon kalkè ak kontaminasyon iyonik.
Siveyans koule ak presyon: Asire bon efikasite refwadisman nan sib yo ak enstalasyon substrats yo.
Netwayaj Echanjeur Chalè: Kenbe pèfòmans refwadisman an lè w anpeche blokaj patikil.
Entegrasyon Kontwòl Tanperati: Konekte ak sistèm PLC pou alam twòp tanperati ak pwoteksyon otomatik pou are.
Konklizyon
Nan ekipman kouch vakyòm, sistèm refwadisman an pa yon akseswa periferik men yon pwoteksyon esansyèl pou estabilite pwosesis la, rannman pwodwi a, ak lonjevite ekipman an. Se sèlman atravè yon konsepsyon refwadisman solid ak yon antretyen estanda ki ka pwosesis depozisyon ki gen anpil enèji fonksyone anba tanperati kontwole, pou bay fim mens ki gen bon kalite san rete.
—Atik sa a te pibliye paekipman pou kouvri ak vakyòmmanifakti Zhenhua Vacuum
Dat piblikasyon: 10 septanm 2025