ويڪيوم ڪوٽنگ سامان ۾ کولنگ سسٽم جو ڪردار

هڪ ۾ويڪيوم ڪوٽنگ سسٽم، کولنگ سسٽم هڪ لازمي معاون يونٽ آهي. ڇا حرارتي بخارات، ميگنيٽرون اسپٽرنگ، يا سي وي ڊي عملن ۾، ٽارگيٽ، سبسٽريٽ، ۽ چيمبر جا حصا تيز توانائي واري بيم بمباري جي تحت شديد گرمي جي تابع آهن. موثر حرارتي انتظام کان سواءِ، نه رڳو فلم جي معيار خراب ٿئي ٿي، پر سامان کي نقصان ۽ پيداوار ۾ رڪاوٽون پڻ ٿي سگهن ٿيون.

I. ويڪيوم ڪوٽنگ سسٽم کي کولنگ جي ضرورت ڇو آهي؟

ڪوٽنگ جي عملن دوران، گرمي جا مکيه ذريعا شامل آهن:

نشانو بمباري: ميگنيٽرون اسپٽرنگ ۾، نشانو تي آئن بمباري وڏي مقدار ۾ گرمي پيدا ڪري ٿي.

پلازما هيٽنگ: پلازما جي خارج ٿيڻ دوران خارج ٿيندڙ توانائي چيمبر اندر مقامي گرمي جو سبب بڻجي ٿي.

سبسٽريٽ هيٽنگ: فلم جي جمع ٿيڻ دوران ورڪ پيس ڏانهن منتقل ٿيندڙ توانائي حرارتي توسيع يا مٿاڇري جي خرابي جو سبب بڻجندي آهي.

پمپ ۽ بجلي جو نقصان: هاءِ پاور پمپ ۽ بجلي جو سامان اضافي گرمي لوڊ پيدا ڪن ٿا.

جيڪڏهن گرمي کي وقت تي ختم نه ڪيو وڃي ته ان جو سبب بڻجي سگهي ٿو:

فلم جي سوراخ واري واڌ، فلم جي کثافت ۾ گهٽتائي.

سبسٽريٽ جي خرابي ۽ طول و عرض جي درستگي جو نقصان.

غير معمولي نشانو ڪٽڻ، نشانو جي "ساڙڻ" کي تيز ڪرڻ.

چيمبر اندر سيل جي خرابي، ويڪيوم جي استحڪام کي متاثر ڪري ٿي.

II. کولنگ سسٽم جو ڪم ڪندڙ اصول

ويڪيوم ڪوٽنگ سسٽم عام طور تي بند لوپ واٽر ڪولنگ استعمال ڪندا آهن، جڏهن ته ڪجهه اعليٰ درستگي وارا سامان آئل ڪولنگ يا ڪرائيوجينڪ ٽريپس کي پڻ ضم ڪندا آهن. بنيادي ميڪانيزم ۾ شامل آهن:

ضابطو: گرمي ٽارگيٽ بيڪنگ پليٽ، سبسٽريٽ هولڊر، ۽ کولنگ جيڪٽ ذريعي منتقل ڪئي ويندي آهي.

ڪنوڪشن: گردش ڪندڙ ڪولنٽ گرم ٿيل حصن مان گرمي ختم ڪري ٿو.

گرمي مٽاسٽا: پليٽ گرمي مٽاسٽاڪار يا کولنگ ٽاور حرارتي لوڊ کي ٻاهرين ماحول ڏانهن منتقل ڪن ٿا، مسلسل گرمي پد ڪنٽرول کي يقيني بڻائين ٿا.

III. کولنگ سسٽم جا اهم ڪردارm

فلم جي معيار کي برقرار رکڻ
مستحڪم گرمي پد غير معمولي ڪرسٽلائيزيشن ۽ آپٽيڪل ڊرفٽ کي روڪي ٿو، فلم جي هڪجهڙائي ۽ مضبوط چپکڻ کي يقيني بڻائي ٿو.

سامان جي زندگي وڌائڻ
ويڪيوم چيمبرن، ميگنيٽرون ٽارگيٽس، ۽ سيلز کي حرارتي نقصان کان بچائيندو آهي.

عمل جي ورجائي کي يقيني بڻائڻ
بيچ کان بيچ مستقل مزاجي لاءِ مستحڪم ٿڌي ضروري آهي.

اعليٰ طاقت واري عملن جي حمايت
وڏي علائقي واري ميگنيٽرون اسپٽرنگ يا ڊگهي عرصي واري سي وي ڊي عملن لاءِ، ٿڌي ڪرڻ بي ترتيب پيداوار جو بنياد آهي.

IV. سار سنڀال جون ضروري شيون

پاڻي جي معيار جو انتظام: اسڪيل جي ٺهڻ ۽ آئنڪ آلودگي کي روڪڻ لاءِ ڊي آئنائيزڊ پاڻي (DI پاڻي) استعمال ڪريو.

وهڪري ۽ دٻاءُ جي نگراني: هدفن ۽ سبسٽريٽ فڪسچر تي مناسب ٿڌي ڪارڪردگي کي يقيني بڻايو وڃي.

گرمي مٽاسٽا ڪندڙ جي صفائي: ذرات جي رڪاوٽ کي روڪيندي ٿڌي ڪارڪردگي کي برقرار رکو.

گرمي پد ڪنٽرول انٽيگريشن: وڌيڪ گرمي پد جي الارم ۽ خودڪار بند ٿيڻ جي حفاظت لاءِ PLC سسٽم سان لنڪ.

ٿڪل

ويڪيوم ڪوٽنگ سامان ۾، کولنگ سسٽم هڪ پردي جي لوازمات نه آهي پر عمل جي استحڪام، پيداوار جي پيداوار، ۽ سامان جي ڊگهي عمر لاءِ هڪ بنيادي حفاظتي نظام آهي. صرف مضبوط کولنگ ڊيزائن ۽ معياري سار سنڀال ذريعي اعلي توانائي جمع ڪرڻ وارا عمل ڪنٽرول ٿيل گرمي پد هيٺ ڪم ڪري سگهن ٿا، مسلسل اعلي معيار جي پتلي فلمون پهچائيندا آهن.

—هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پارانويڪيوم ڪوٽنگ جو سامانٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم