DiSîstema Pêçandina Valahîyê, Sîstema Sarkirinê yekîneyeke alîkar a girîng e. Çi di pêvajoyên Buharkirina Germahî, Sprekirina Magnetronê, an CVD de be, hedef, substrat, û pêkhateyên odeyê di bin bombebarana tîrêjên enerjiya bilind de rastî germahiyek dijwar tên. Bêyî rêveberiya germahî ya bi bandor, ne tenê kalîteya fîlmê xirab dibe, lê di heman demê de zirara alavan û qutbûna hilberînê jî dikare çêbibe.
I. Çima Sîstemên Boyaxkirina Vakumê Sarkirinê Pêwîst Dikin?
Di dema pêvajoyên pêçandinê de, çavkaniyên sereke yên germê ev in:
Bombebarana Armancê: Di sputterkirina magnetronê de, bombebarana iyonan a armancê mîqdarek girîng a germê çêdike.
Germkirina Plazmayê: Enerjiya ku di dema derxistina plazmayê de tê berdan dibe sedema germkirina herêmî di hundurê odeyê de.
Germkirina Bingehê: Enerjiya ku di dema danîna fîlmê de vediguheze perçeya kar, dibe sedema berfirehbûna germî an deformasyona rûyê.
Windabûnên Pompe û Hêzê: Pompe û dabînkerên hêzê yên bi hêza bilind barên germê yên zêde çêdikin.
Heke germahî di wextê xwe de neyê derxistin, ev dikare bibe sedema:
Mezinbûna fîlmê poroz, kêmbûna dendika fîlmê.
Deformasyona substratê û windabûna rastbûna pîvanî.
Erozyona neasayî ya hedefê, "şewitîna" hedefê leztir dike.
Xirabûna mohrê di hundurê odeyê de, û aramiya valahiyê dixe xeterê.
II. Prensîba Xebatê ya Sîstemên Sarkirinê
Sîstemên pêçandina valahiyê bi gelemperî sarkirina avê ya çerxa girtî bikar tînin, di heman demê de hin alavên rastbûna bilind sarkirina rûn an jî dafikên krîyojenîk jî entegre dikin. Mekanîzmayên bingehîn ev in:
Guhestin: Germahî bi rêya plakaya pişta hedef, ragira substratê, û cawên sarkirinê tê veguhastin.
Konveksiyon: Sarincokê digere û germê ji pêkhateyên germ derdixe.
Guhertina Germê: Guhertinên germê yên plaqeyî an jî qûleyên sarkirinê barê germî vediguhezînin jîngeha derve, û kontrola germahiyê ya domdar misoger dikin.
III. Rolên Sereke yên Sîstema Sarkirinêm
Parastina Kalîteya Fîlmê
Germahiya sabît pêşî li krîstalîzasyona anormal û drifta optîkî digire, yekrengiya fîlimê û girêdana xurt peyda dike.
Dirêjkirina Jîyana Amûran
Odeyên valahiyê, hedefên magnetronê, û mohr ji zirara germî diparêze.
Misogerkirina Dubarekirina Pêvajoyê
Sarbûna stabîl ji bo yekrengiya di navbera koman de pir girîng e.
Piştgiriya Pêvajoyên Hêza Bilind
Ji bo sputterkirina magnetronê ya qada mezin an jî pêvajoyên CVD yên demdirêj, sarkirin bingeha hilberîna bênavber e.
IV. Pêdiviyên Pêdivî yên Parastinê
Rêveberiya Kalîteya Avê: Ji bo pêşîgirtina li kombûna qalikê û gemarbûna iyonîk, ava deîyonîzekirî (ava DI) bikar bînin.
Çavdêriya Herikîn û Zextê: Li hedef û alavên substratê karîgeriya sarkirinê ya têrker misoger bikin.
Paqijkirina Guherkera Germê: Performansa sarkirinê bi rêgirtina li astengkirina perçeyan biparêzin.
Entegrasyona Kontrola Germahiyê: Ji bo alarmên germahiya zêde û parastina vemirandina otomatîkî bi sîstemên PLC ve girêdayî ye.
Xelasî
Di alavên boyaxkirina valahiyê de, pergala sarkirinê ne aksesûarek periferîk e, lê parastinek bingehîn e ji bo aramiya pêvajoyê, berhemdariya hilberê û temenê alavan. Tenê bi sêwirana sarkirinê ya bihêz û lênêrîna standardkirî pêvajoyên danîna enerjiya bilind dikarin di bin germahiyên kontrolkirî de bixebitin, û bi berdewamî fîlimên zirav ên bi kalîte bilind radest bikin.
— Ev gotar ji hêlaalavên boyaxkirina valahiyêhilberîner Zhenhua Vacuum
Dema şandinê: Îlon-10-2025