А-дВакуум бүрхүүлийн системХөргөлтийн систем нь зайлшгүй шаардлагатай туслах төхөөрөмж юм. Дулааны ууршилт, соронзон цацалт эсвэл CVD процесст бай, суурь болон камерын бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь өндөр энергийн цацрагийн бөмбөгдөлтийн дор хүчтэй халалтад өртдөг. Үр ашигтай дулааны менежментгүйгээр хальсны чанар муудаад зогсохгүй тоног төхөөрөмжийн эвдрэл, үйлдвэрлэлийн тасалдал гарч болзошгүй.
I. Вакуум бүрхүүлийн систем яагаад хөргөлт шаарддаг вэ?
Бүрхүүл хийх явцад дулааны гол эх үүсвэрүүд нь дараахь зүйлс орно.
Байг бөмбөгдөх: Магнетрон цацалтын үед байг ионоор бөмбөгдөх нь их хэмжээний дулаан үүсгэдэг.
Плазмын халаалт: Плазмын цэнэг алдалтын үед ялгардаг энерги нь камер дотор орон нутгийн халаалт үүсгэдэг.
Субстратын халаалт: Кино наалдах явцад ажлын хэсэгт дамжуулсан энерги нь дулааны тэлэлт эсвэл гадаргуугийн деформацид хүргэдэг.
Насос болон цахилгааны алдагдал: Өндөр хүчин чадалтай насос болон цахилгаан хангамж нь нэмэлт дулааны ачаалал үүсгэдэг.
Хэрэв дулааныг цаг тухайд нь арилгахгүй бол энэ нь дараахь үр дагаварт хүргэж болзошгүй юм.
Сүвэрхэг хальсны өсөлт, хальсны нягтрал буурсан.
Суурийн хэв гажилт ба хэмжээст нарийвчлал алдагдах.
Байны хэвийн бус элэгдэл, байны "шаталтыг" хурдасгах.
Камерын доторх битүүмжлэл муудаж, вакуумын тогтвортой байдлыг алдагдуулдаг.
II. Хөргөлтийн системийн ажиллах зарчим
Вакуум бүрхүүлийн системүүд нь ихэвчлэн битүү гогцоотой усны хөргөлтийг ашигладаг бол зарим өндөр нарийвчлалтай тоног төхөөрөмж нь тос хөргөх эсвэл криоген хавхыг нэгтгэдэг. Үндсэн механизмуудад дараахь зүйлс орно.
Цахилгаан дамжуулах чадвар: Дулаан нь тулгуур хавтан, суурь тогтоогч болон хөргөлтийн бүрхүүлээр дамждаг.
Конвекц: Эргэлдэж буй хөргөлтийн шингэн нь халсан эд ангиас дулааныг зайлуулдаг.
Дулаан солилцоо: Хавтан дулаан солилцуур эсвэл хөргөх цамхаг нь дулааны ачааллыг гадаад орчинд дамжуулж, температурын тасралтгүй хяналтыг хангадаг.
III. Хөргөлтийн системийн гол үүрэгm
Киноны чанарыг хадгалах
Тогтвортой температур нь хэвийн бус талсжилт болон оптик шилжилтээс сэргийлж, хальсны жигд байдал болон хүчтэй наалдацыг баталгаажуулдаг.
Тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгах
Вакуум камер, магнетрон бай болон битүүмжлэлийг дулааны гэмтлээс хамгаална.
Процессын давтагдах байдлыг хангах
Багц хоорондын тогтвортой байдлыг хангахын тулд тогтвортой хөргөлт чухал юм.
Өндөр хүчин чадалтай процессуудыг дэмжих
Том талбайн магнетрон цацалт эсвэл урт хугацааны CVD процессын хувьд хөргөлт нь тасралтгүй үйлдвэрлэлийн үндэс суурь болдог.
IV. Засвар үйлчилгээний зайлшгүй шаардлага
Усны чанарын менежмент: Хэмжээ хуримтлагдах болон ионы бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд ионгүйжүүлсэн ус (DI ус) ашиглана уу.
Урсгал ба даралтын хяналт: Бай болон суурь бэхэлгээнд хангалттай хөргөлтийн үр ашгийг хангах.
Дулаан солилцуурын цэвэрлэгээ: Бөөмийн бөглөрөлтөөс урьдчилан сэргийлж хөргөлтийн гүйцэтгэлийг хадгална.
Температурын хяналтын интеграци: Хэт халалтын дохиолол болон автомат унтрах хамгаалалтын PLC системтэй холбогдоно.
Дүгнэлт
Вакуум бүрхүүлийн тоног төхөөрөмжид хөргөлтийн систем нь захын дагалдах хэрэгсэл биш харин процессын тогтвортой байдал, бүтээгдэхүүний гарц, тоног төхөөрөмжийн урт хугацааны ашиглалтын гол хамгаалалт юм. Зөвхөн бат бөх хөргөлтийн дизайн, стандартчилагдсан засвар үйлчилгээний тусламжтайгаар өндөр энергийн тунадасжуулалтын процессууд нь хяналттай температурт ажиллаж, өндөр чанартай нимгэн хальсыг тогтвортой гаргаж чадна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмжүйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 9-р сарын 10