ویکیوم کوٹنگ کے آلات میں کولنگ سسٹم کا کردار

ایک میںویکیوم کوٹنگ سسٹم، کولنگ سسٹم ایک ناگزیر معاون یونٹ ہے۔ چاہے تھرمل ایواپوریشن، میگنیٹران سپٹرنگ، یا سی وی ڈی کے عمل میں، ہدف، سبسٹریٹ، اور چیمبر کے اجزاء کو ہائی انرجی بیم بمباری کے تحت شدید گرمی کا نشانہ بنایا جاتا ہے۔ موثر تھرمل مینجمنٹ کے بغیر، نہ صرف فلم کا معیار خراب ہوتا ہے، بلکہ آلات کو نقصان اور پیداوار میں رکاوٹیں بھی واقع ہو سکتی ہیں۔

I. ویکیوم کوٹنگ سسٹم کو کولنگ کی ضرورت کیوں ہے؟

کوٹنگ کے عمل کے دوران، گرمی کے اہم ذرائع میں شامل ہیں:

ٹارگٹ بمباری: میگنیٹران سپٹرنگ میں، ہدف پر آئن بمباری خاصی مقدار میں حرارت پیدا کرتی ہے۔

پلازما ہیٹنگ: پلازما ڈسچارج کے دوران خارج ہونے والی توانائی چیمبر کے اندر مقامی حرارت کی طرف لے جاتی ہے۔

سبسٹریٹ ہیٹنگ: فلم جمع کرنے کے دوران ورک پیس میں منتقل ہونے والی توانائی تھرمل توسیع یا سطح کی خرابی کا سبب بنتی ہے۔

پمپ اور بجلی کے نقصانات: ہائی پاور پمپ اور بجلی کی فراہمی اضافی گرمی کا بوجھ پیدا کرتی ہے۔

اگر گرمی کو وقت پر ختم نہیں کیا جاتا ہے، تو یہ اس کا باعث بن سکتا ہے:

غیر محفوظ فلم کی نمو، فلم کی کثافت میں کمی۔

سبسٹریٹ کی اخترتی اور جہتی درستگی کا نقصان۔

غیر معمولی ہدف کا کٹاؤ، ہدف کے "جلنے" کو تیز کرتا ہے۔

چیمبر کے اندر سیل انحطاط، ویکیوم کے استحکام سے سمجھوتہ کرنا۔

II کولنگ سسٹم کے کام کرنے کا اصول

ویکیوم کوٹنگ سسٹم عام طور پر بند لوپ واٹر کولنگ کا استعمال کرتے ہیں، جبکہ کچھ اعلیٰ درستگی والے آلات تیل کو ٹھنڈا کرنے یا کرائیوجینک ٹریپس کو بھی مربوط کرتے ہیں۔ بنیادی میکانزم میں شامل ہیں:

کنڈکشن: حرارت کو ٹارگٹ بیکنگ پلیٹ، سبسٹریٹ ہولڈر اور کولنگ جیکٹس کے ذریعے منتقل کیا جاتا ہے۔

کنویکشن: سرکولیٹنگ کولنٹ گرم اجزاء سے گرمی کو ہٹاتا ہے۔

ہیٹ ایکسچینج: پلیٹ ہیٹ ایکسچینجرز یا کولنگ ٹاورز تھرمل بوجھ کو بیرونی ماحول میں منتقل کرتے ہیں، درجہ حرارت کے مسلسل کنٹرول کو یقینی بناتے ہیں۔

III کولنگ سسٹم کے کلیدی کردارm

فلم کے معیار کو برقرار رکھنا
مستحکم درجہ حرارت غیر معمولی کرسٹلائزیشن اور آپٹیکل بڑھے کو روکتا ہے، فلم کی یکسانیت اور مضبوط آسنجن کو یقینی بناتا ہے۔

سامان کی زندگی بھر میں توسیع
ویکیوم چیمبرز، میگنیٹرون اہداف اور سیل کو تھرمل نقصان سے بچاتا ہے۔

عمل کی تکرار کو یقینی بنانا
بیچ ٹو بیچ مستقل مزاجی کے لیے مستحکم کولنگ ضروری ہے۔

اعلی طاقت کے عمل کی حمایت
بڑے رقبے والے میگنیٹران سپٹرنگ یا طویل مدتی CVD عمل کے لیے، کولنگ بلاتعطل پیداوار کی بنیاد ہے۔

چہارم دیکھ بھال کے لوازمات

پانی کی کوالٹی مینجمنٹ: ڈی آئیونائزڈ واٹر (DI واٹر) استعمال کریں تاکہ بڑے پیمانے پر جمع ہونے اور آئنک آلودگی کو روکا جا سکے۔

بہاؤ اور دباؤ کی نگرانی: اہداف اور سبسٹریٹ فکسچر پر ٹھنڈک کی مناسب کارکردگی کو یقینی بنائیں۔

ہیٹ ایکسچینجر کی صفائی: ذرات کی رکاوٹ کو روک کر کولنگ کی کارکردگی کو برقرار رکھیں۔

درجہ حرارت کنٹرول انٹیگریشن: زیادہ درجہ حرارت کے الارم اور خودکار شٹ ڈاؤن تحفظ کے لیے PLC سسٹم کے ساتھ لنک کریں۔

نتیجہ

ویکیوم کوٹنگ کے سازوسامان میں، کولنگ سسٹم پردیی آلات نہیں ہے بلکہ عمل کے استحکام، مصنوعات کی پیداوار، اور سامان کی لمبی عمر کے لیے ایک بنیادی تحفظ ہے۔ صرف مضبوط کولنگ ڈیزائن اور معیاری دیکھ بھال کے ذریعے ہی اعلی توانائی کے ذخیرہ کرنے کے عمل کو کنٹرول شدہ درجہ حرارت کے تحت کام کیا جا سکتا ہے، مستقل طور پر اعلیٰ معیار کی پتلی فلموں کی فراہمی۔

-یہ مضمون شائع کیا گیا تھا۔ویکیوم کوٹنگ کا سامانصنعت کار Zhenhua ویکیوم