വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ കൂളിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളുടെ പങ്ക്

ഒരുവാക്വം കോട്ടിംഗ് സിസ്റ്റം, കൂളിംഗ് സിസ്റ്റം ഒരു അനിവാര്യമായ സഹായ യൂണിറ്റാണ്. തെർമൽ ഇവാപൊറേഷൻ, മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്, അല്ലെങ്കിൽ സിവിഡി പ്രക്രിയകളിൽ, ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ബീം ബോംബാർഡ്മെന്റിൽ ലക്ഷ്യം, സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്, ചേമ്പർ ഘടകങ്ങൾ എന്നിവ തീവ്രമായ ചൂടാക്കലിന് വിധേയമാകുന്നു. കാര്യക്ഷമമായ തെർമൽ മാനേജ്‌മെന്റ് ഇല്ലെങ്കിൽ, ഫിലിം ഗുണനിലവാരം വഷളാകുക മാത്രമല്ല, ഉപകരണങ്ങളുടെ കേടുപാടുകൾ, ഉൽ‌പാദന തടസ്സങ്ങൾ എന്നിവയും സംഭവിക്കാം.

I. വാക്വം കോട്ടിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾക്ക് തണുപ്പിക്കൽ ആവശ്യമായി വരുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ, താപത്തിന്റെ പ്രധാന ഉറവിടങ്ങൾ ഇവയാണ്:

ലക്ഷ്യ ബോംബിംഗ്: മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിൽ, ലക്ഷ്യത്തിലെ അയോൺ ബോംബിംഗ് ഗണ്യമായ അളവിൽ താപം സൃഷ്ടിക്കുന്നു.

പ്ലാസ്മ താപനം: പ്ലാസ്മ ഡിസ്ചാർജ് സമയത്ത് പുറത്തുവിടുന്ന ഊർജ്ജം ചേമ്പറിനുള്ളിൽ പ്രാദേശിക ചൂടാക്കലിലേക്ക് നയിക്കുന്നു.

സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഹീറ്റിംഗ്: ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ സമയത്ത് വർക്ക്പീസിലേക്ക് കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുന്ന ഊർജ്ജം താപ വികാസത്തിനോ ഉപരിതല രൂപഭേദത്തിനോ കാരണമാകുന്നു.

പമ്പും വൈദ്യുതി നഷ്ടവും: ഉയർന്ന വൈദ്യുതിയുള്ള പമ്പുകളും വൈദ്യുതി വിതരണവും അധിക താപ ലോഡുകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നു.

കൃത്യസമയത്ത് താപം ഇല്ലാതാക്കിയില്ലെങ്കിൽ, ഇത് ഇനിപ്പറയുന്നതിലേക്ക് നയിച്ചേക്കാം:

സുഷിരങ്ങളുള്ള ഫിലിം വളർച്ച, ഫിലിം സാന്ദ്രത കുറയുന്നു.

അടിവസ്ത്ര രൂപഭേദം, അളവുകളുടെ കൃത്യത നഷ്ടപ്പെടൽ.

അസാധാരണമായ ലക്ഷ്യ മണ്ണൊലിപ്പ്, ലക്ഷ്യത്തിന്റെ "കത്തൽ" ത്വരിതപ്പെടുത്തുന്നു.

ചേമ്പറിനുള്ളിലെ സീലിന്റെ അപചയം, വാക്വം സ്ഥിരതയെ അപകടത്തിലാക്കുന്നു.

II. കൂളിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങളുടെ പ്രവർത്തന തത്വം

വാക്വം കോട്ടിംഗ് സിസ്റ്റങ്ങൾ സാധാരണയായി ക്ലോസ്ഡ്-ലൂപ്പ് വാട്ടർ കൂളിംഗ് ഉപയോഗിക്കുന്നു, അതേസമയം ചില ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾ ഓയിൽ കൂളിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ ക്രയോജനിക് ട്രാപ്പുകൾ സംയോജിപ്പിക്കുന്നു. അടിസ്ഥാന സംവിധാനങ്ങളിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു:

ചാലകം: ടാർഗെറ്റ് ബാക്കിംഗ് പ്ലേറ്റ്, സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഹോൾഡർ, കൂളിംഗ് ജാക്കറ്റുകൾ എന്നിവയിലൂടെ താപം കൈമാറ്റം ചെയ്യപ്പെടുന്നു.

സംവഹനം: രക്തചംക്രമണ കൂളന്റ് ചൂടാക്കിയ ഘടകങ്ങളിൽ നിന്ന് ചൂട് നീക്കം ചെയ്യുന്നു.

താപ വിനിമയം: പ്ലേറ്റ് ഹീറ്റ് എക്സ്ചേഞ്ചറുകൾ അല്ലെങ്കിൽ കൂളിംഗ് ടവറുകൾ താപ ലോഡ് ബാഹ്യ പരിസ്ഥിതിയിലേക്ക് മാറ്റുന്നു, ഇത് തുടർച്ചയായ താപനില നിയന്ത്രണം ഉറപ്പാക്കുന്നു.

III. കൂളിംഗ് സിസ്റ്റത്തിന്റെ പ്രധാന റോളുകൾm

സിനിമയുടെ ഗുണനിലവാരം നിലനിർത്തൽ
സ്ഥിരമായ താപനില അസാധാരണമായ ക്രിസ്റ്റലൈസേഷനും ഒപ്റ്റിക്കൽ ഡ്രിഫ്റ്റും തടയുന്നു, ഫിലിം യൂണിഫോമിറ്റിയും ശക്തമായ അഡീഷനും ഉറപ്പാക്കുന്നു.

ഉപകരണങ്ങളുടെ ആയുസ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കൽ
വാക്വം ചേമ്പറുകൾ, മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റുകൾ, സീലുകൾ എന്നിവയെ താപ നാശത്തിൽ നിന്ന് സംരക്ഷിക്കുന്നു.

പ്രക്രിയയുടെ ആവർത്തനക്ഷമത ഉറപ്പാക്കുന്നു
ബാച്ച്-ടു-ബാച്ച് സ്ഥിരതയ്ക്ക് സ്ഥിരമായ തണുപ്പിക്കൽ അത്യാവശ്യമാണ്.

ഉയർന്ന പവർ പ്രക്രിയകളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു
വലിയ വിസ്തീർണ്ണമുള്ള മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ ദീർഘകാല സിവിഡി പ്രക്രിയകൾക്ക്, തടസ്സമില്ലാത്ത ഉൽ‌പാദനത്തിനുള്ള അടിത്തറയാണ് തണുപ്പിക്കൽ.

IV. പരിപാലന അവശ്യവസ്തുക്കൾ

ജല ഗുണനിലവാര നിയന്ത്രണം: സ്കെയിൽ അടിഞ്ഞുകൂടുന്നതും അയോണിക് മലിനീകരണവും തടയാൻ ഡീയോണൈസ്ഡ് വെള്ളം (DI വെള്ളം) ഉപയോഗിക്കുക.

പ്രവാഹവും മർദ്ദവും നിരീക്ഷിക്കൽ: ടാർഗെറ്റുകളിലും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഫിക്‌ചറുകളിലും മതിയായ തണുപ്പിക്കൽ കാര്യക്ഷമത ഉറപ്പാക്കുക.

ഹീറ്റ് എക്സ്ചേഞ്ചർ ക്ലീനിംഗ്: കണിക തടസ്സം തടയുന്നതിലൂടെ തണുപ്പിക്കൽ പ്രകടനം നിലനിർത്തുക.

താപനില നിയന്ത്രണ സംയോജനം: അമിത താപനില അലാറങ്ങൾക്കും ഓട്ടോമാറ്റിക് ഷട്ട്ഡൗൺ സംരക്ഷണത്തിനുമായി PLC സിസ്റ്റങ്ങളുമായുള്ള ലിങ്ക്.

തീരുമാനം

വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങളിൽ, കൂളിംഗ് സിസ്റ്റം ഒരു പെരിഫറൽ ആക്സസറിയല്ല, മറിച്ച് പ്രക്രിയ സ്ഥിരത, ഉൽപ്പന്ന വിളവ്, ഉപകരണങ്ങളുടെ ദീർഘായുസ്സ് എന്നിവയ്ക്കുള്ള ഒരു പ്രധാന സംരക്ഷണമാണ്. ശക്തമായ കൂളിംഗ് രൂപകൽപ്പനയിലൂടെയും സ്റ്റാൻഡേർഡ് അറ്റകുറ്റപ്പണികളിലൂടെയും മാത്രമേ ഉയർന്ന ഊർജ്ജ നിക്ഷേപ പ്രക്രിയകൾ നിയന്ത്രിത താപനിലയിൽ പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയൂ, സ്ഥിരമായി ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നൽകുന്നു.

—ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് ഉപകരണങ്ങൾനിർമ്മാതാവ് ഷെൻഹുവ വാക്വം