په یوهد ویکیوم کوټینګ سیسټم، د یخولو سیسټم یو لازمي مرستندویه واحد دی. که په حرارتي تبخیر، میګنیټرون سپټرینګ، یا CVD پروسو کې وي، هدف، سبسټریټ، او د چیمبر اجزا د لوړ انرژۍ بیم بمبارۍ لاندې د شدید تودوخې سره مخ کیږي. د موثر حرارتي مدیریت پرته، نه یوازې د فلم کیفیت خرابیږي، بلکې د تجهیزاتو زیان او د تولید خنډونه هم رامینځته کیدی شي.
I. ولې د ویکیوم کوټینګ سیسټمونه یخولو ته اړتیا لري؟
د پوښښ پروسې په جریان کې، د تودوخې اصلي سرچینې عبارت دي له:
د هدف بمباري: په مقناطیسي سپټرینګ کې، د هدف په ایون بمباري کې د پام وړ تودوخه رامینځته کیږي.
د پلازما تودوخه: هغه انرژي چې د پلازما د خارجیدو پرمهال خوشې کیږي د خونې دننه ځایی تودوخې لامل کیږي.
د سبسټریټ تودوخه: هغه انرژي چې د فلم د زیرمه کولو پرمهال ورک پیس ته لیږدول کیږي د تودوخې پراختیا یا د سطحې خرابوالي لامل کیږي.
د پمپ او بریښنا ضایعات: د لوړ بریښنا پمپونه او بریښنا رسولو اضافي تودوخې بارونه تولیدوي.
که چیرې تودوخه په وخت سره له منځه لاړه نشي، نو دا کولی شي د دې لامل شي:
د فلم سوری وده، د فلم کثافت کم شوی.
د سبسټریټ خرابوالی او د ابعادي دقت له لاسه ورکول.
د هدف غیر معمولي تخریب، د هدف "سوځولو" ګړندی کوي.
د خونې دننه د مهر تخریب، د خلا ثبات له خطر سره مخ کوي.
II. د یخولو سیسټمونو د کار اصل
د ویکیوم کوټینګ سیسټمونه معمولا د تړل شوي لوپ اوبو یخولو څخه کار اخلي، پداسې حال کې چې ځینې لوړ دقت لرونکي تجهیزات د تیلو یخولو یا کریوجینک جالونو سره هم یوځای کوي. بنسټیز میکانیزمونه پدې کې شامل دي:
چلښت: تودوخه د هدف د ملاتړ پلیټ، سبسټریټ هولډر، او یخولو جاکټونو له لارې لیږدول کیږي.
کنویکشن: گردش کوونکی کولنټ د ګرمو برخو څخه تودوخه لرې کوي.
د تودوخې تبادله: د پلیټ تودوخې تبادله کونکي یا د یخولو برجونه د تودوخې بار بهرني چاپیریال ته لیږدوي، چې د تودوخې دوامداره کنټرول ډاډمن کوي.
III. د یخولو سیسټم کلیدي رولونهm
د فلم کیفیت ساتل
ثابت تودوخه د غیر معمولي کرسټالیزیشن او نظري ډرافټ مخه نیسي، د فلم یووالي او قوي چپکولو ډاډ ورکوي.
د تجهیزاتو د ژوند موده غځول
د ویکیوم چیمبرونه، مقناطیسي هدفونه، او سیلونه د تودوخې زیان څخه ساتي.
د پروسې د تکرار ډاډ ترلاسه کول
د یو بل سره د یو ځای کېدو لپاره باثباته یخ کول اړین دي.
د لوړ ځواک پروسو ملاتړ کول
د لویې ساحې میګنیټرون سپټرینګ یا د اوږدې مودې CVD پروسو لپاره، یخ کول د بې بنسټه تولید لپاره بنسټ دی.
IV. د ساتنې اړین توکي
د اوبو د کیفیت مدیریت: د پیمانه جوړیدو او ایونیک ککړتیا مخنیوي لپاره د ډیونیز شوي اوبو (DI اوبو) څخه کار واخلئ.
د جریان او فشار څارنه: په هدفونو او سبسټریټ فکسچرونو کې د یخولو مناسب موثریت ډاډمن کړئ.
د تودوخې د تبادلې کونکي پاکول: د ذراتو د بندیدو مخنیوي سره د یخولو فعالیت وساتئ.
د تودوخې کنټرول ادغام: د ډیر تودوخې الارمونو او اتوماتیک بندیدو محافظت لپاره د PLC سیسټمونو سره اړیکه.
پایله
د ویکیوم کوټینګ تجهیزاتو کې، د یخولو سیسټم یو پردیي لوازم نه دی بلکې د پروسې ثبات، د محصول حاصلاتو، او د تجهیزاتو اوږد عمر لپاره یو اصلي محافظت دی. یوازې د قوي یخولو ډیزاین او معیاري ساتنې له لارې کولی شي د لوړ انرژۍ زیرمه کولو پروسې د کنټرول شوي تودوخې لاندې کار وکړي، په دوامداره توګه د لوړ کیفیت پتلي فلمونه وړاندې کړي.
— دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ تجهیزاتجوړونکی ژنهوا ویکیوم
د پوسټ وخت: سپتمبر-۱۰-۲۰۲۵