GudahaNidaamka Dahaarka Faakuumka, Nidaamka Qaboojinta waa cutub kaabayaal ah oo aan lagama maarmaan ahayn. Hadday tahay uumi-baxa kuleylka, Magneton Sputtering, ama hababka CVD, qaybaha bartilmaameedka, substrate-ka, iyo qolka waxaa la mariyaa kuleyl xooggan iyadoo la adeegsanayo duqeynta alwaaxa tamarta sare leh. Iyadoo aan la helin maaraynta kulaylka hufan, tayada filimku ma sii xumaanayso oo keliya, laakiin sidoo kale dhaawaca qalabka iyo carqaladaynta wax soo saarka ayaa sidoo kale dhici karta.
I. Maxay Nidaamyada Dahaarka Faakuumka ugu Baahan Yihiin Qaboojin?
Inta lagu jiro hababka dahaarka, ilaha ugu muhiimsan ee kulaylka waxaa ka mid ah:
Bamgareynta Bartilmaameedka: Marka la isku dhufto magnetron-ka, bamgareynta ion-ka ee bartilmaameedka waxay dhalisaa kuleyl aad u badan.
Kuleylka Balaasmaha: Tamarta la sii daayo inta lagu jiro dheecaanka balaasmaha waxay horseedaa kuleyl gudaha qolka ah.
Kuleylka Substrate-ka: Tamarta loo wareejiyo shaqada inta lagu jiro kaydinta filimka waxay sababtaa fiditaanka kulaylka ama isbeddelka dusha sare.
Bamka & Lumista Korontada: Bamka korontada sare leh iyo sahayda korontada ayaa dhaliya culays kuleyl oo dheeraad ah.
Haddii kulaylka aan la baabi'in waqtigii loogu talagalay, waxay keeni kartaa:
Kobaca filimka daloolsan, cufnaanta filimka oo yaraatay.
Isbeddelka dhulka hoostiisa iyo luminta saxnaanta cabbirka.
Nabaad-guurka aan caadiga ahayn ee bartilmaameedka, oo dedejinaya "gubashada" bartilmaameedka.
Ku xidh burburka gudaha qolka, taasoo wax u dhimaysa xasilloonida faakuumka.
II. Mabda'a Shaqada ee Nidaamyada Qaboojinta
Nidaamyada dahaarka faakuumka ayaa badanaa isticmaala qaboojinta biyaha ee wareegsan, halka qaar ka mid ah qalabka saxda ah ay sidoo kale isku daraan qaboojinta saliidda ama dabinada cryogenic. Hababka aasaasiga ah waxaa ka mid ah:
Gudbinta: Kulaylka waxaa loo gudbiyaa saxanka gadaale ee bartilmaameedka ah, hayaha substrate-ka, iyo jaakadaha qaboojinta.
Gudbinta: Qaboojiyaha wareegaya ayaa ka saaraya kulaylka qaybaha kulul.
Isweydaarsiga Kulaylka: Beddelayaasha kulaylka saxanka ama munaaradaha qaboojinta ayaa culayska kulaylka u gudbiya deegaanka dibadda, iyagoo hubinaya xakamaynta heerkulka oo joogto ah.
III. Doorarka Muhiimka ah ee Nidaamka Qaboojintam
Joogteynta Tayada Filimka
Heerkulka deggan wuxuu ka hortagaa crystallization aan caadi ahayn iyo qulqulka indhaha, taasoo hubinaysa isku mid ahaanshaha filimka iyo isku dhejinta xooggan.
Kordhinta Cimriga Qalabka
Waxay ka ilaalisaa qolalka faakiyuumka, bartilmaameedyada magnetron, iyo shaabadaha waxyeelada kulaylka.
Hubinta Soo Celinta Habka
Qaboojinta deggan ayaa lagama maarmaan u ah isku dheelitirnaanta dufcad ilaa dufcad.
Taageeridda Geeddi-socodka Awoodda Sare
Wixii ku saabsan faafinta magnetron-ka ee dhul ballaaran ama hababka CVD ee muddada dheer, qaboojintu waa aasaaska wax soo saarka aan kala go 'lahayn.
IV. Waxyaabaha Muhiimka ah ee Dayactirka
Maareynta Tayada Biyaha: Isticmaal biyaha la baabi'iyay (biyo DI) si looga hortago ururinta miisaanka iyo wasakhowga ionic.
La socodka Socodka iyo Cadaadiska: Hubi in si ku filan loo qaboojiyo meelaha bartilmaameedka ah iyo qalabka dhulka hoostiisa ah.
Nadiifinta Beddelaha Kulaylka: Hagaajinta waxqabadka qaboojinta adigoo ka hortagaya xannibaadda walxaha.
Is-dhexgalka Xakamaynta Heerkulka: Ku xidh nidaamyada PLC si aad u hesho digniino heerkul sare leh iyo ilaalin otomaatig ah oo xidhitaan ah.
Gunaanad
Qalabka dahaarka faakuumka, nidaamka qaboojinta maaha qalab durugsan laakiin waa ilaalin asaasi ah oo loogu talagalay xasilloonida habka, wax soo saarka badeecada, iyo cimriga qalabka. Kaliya iyada oo loo marayo naqshad qaboojin adag iyo dayactir heer sare ah ayaa hababka kaydinta tamarta sare ay ku shaqeyn karaan heerkulka la xakameeyey, iyagoo si joogto ah u keenaya filimaan khafiif ah oo tayo sare leh.
—Maqaalkan waxaa daabacayqalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Sebtembar-10-2025