வெற்றிட பூச்சு உபகரணங்களில் குளிரூட்டும் அமைப்புகளின் பங்கு

ஒருவெற்றிட பூச்சு அமைப்புகுளிரூட்டும் அமைப்பு ஒரு இன்றியமையாத துணை அலகு ஆகும். வெப்ப ஆவியாக்கம், மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் அல்லது CVD செயல்முறைகள் என எதுவாக இருந்தாலும், இலக்கு, அடிமூலக்கூறு மற்றும் அறைக் கூறுகள் உயர் ஆற்றல் கற்றைத் தாக்குதலின் கீழ் தீவிர வெப்பத்திற்கு உள்ளாகின்றன. திறமையான வெப்ப மேலாண்மை இல்லாமல், படலத்தின் தரம் குறைவது மட்டுமல்லாமல், உபகரணச் சேதம் மற்றும் உற்பத்தித் தடங்கல்களும் ஏற்படலாம்.

I. வெற்றிடப் பூச்சு அமைப்புகளுக்கு ஏன் குளிர்விப்பு தேவைப்படுகிறது?

பூச்சு செயல்முறைகளின் போது, ​​வெப்பத்தின் முக்கிய மூலங்கள் பின்வருமாறு:

இலக்குத் தாக்குதல்: மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கில், இலக்கின் மீதான அயனித் தாக்குதல் கணிசமான அளவு வெப்பத்தை உருவாக்குகிறது.

பிளாஸ்மா வெப்பமாக்கல்: பிளாஸ்மா வெளியேற்றத்தின் போது வெளியிடப்படும் ஆற்றல், அறைக்குள் குறிப்பிட்ட இடத்தில் வெப்பத்தை ஏற்படுத்துகிறது.

அடி மூலக்கூறு வெப்பமாதல்: படலம் படியவைக்கப்படும்போது வேலைப் பொருளுக்கு மாற்றப்படும் ஆற்றல், வெப்ப விரிவாக்கம் அல்லது மேற்பரப்பு உருக்குலைவை ஏற்படுத்துகிறது.

பம்ப் மற்றும் மின் இழப்புகள்: அதிக சக்தி வாய்ந்த பம்புகள் மற்றும் மின்வழங்கிகள் கூடுதல் வெப்பச் சுமையை உருவாக்குகின்றன.

வெப்பம் உரிய நேரத்தில் வெளியேற்றப்படாவிட்டால், அது பின்வருவனவற்றுக்கு வழிவகுக்கும்:

நுண்துளை படல வளர்ச்சி, குறைந்த படல அடர்த்தி.

அடித்தளத்தின் உருக்குலைவு மற்றும் பரிமாணத் துல்லிய இழப்பு.

இலக்கின் அசாதாரண அரிப்பு, இலக்கு "எரிவதை" துரிதப்படுத்துகிறது.

அறைக்குள் உள்ள சீல் சிதைவடைவதால், வெற்றிடத்தின் நிலைத்தன்மை பாதிக்கப்படுகிறது.

II. குளிரூட்டும் அமைப்புகளின் செயல்பாட்டுக் கொள்கை

வெற்றிடப் பூச்சு அமைப்புகள் பொதுவாக மூடிய-சுற்று நீர் குளிரூட்டலைப் பயன்படுத்துகின்றன, அதே சமயம் சில உயர்-துல்லியமான உபகரணங்கள் எண்ணெய் குளிரூட்டல் அல்லது கிரையோஜெனிக் பொறிகளையும் ஒருங்கிணைக்கின்றன. அடிப்படை இயக்கமுறைகள் பின்வருமாறு:

வெப்பக் கடத்தல்: இலக்கு ஆதரவுத் தட்டு, அடித்தளத் தாங்கி மற்றும் குளிர்விக்கும் உறைகள் வழியாக வெப்பம் கடத்தப்படுகிறது.

வெப்பச்சலனம்: சுழலும் குளிரூட்டியானது, சூடான பாகங்களிலிருந்து வெப்பத்தை நீக்குகிறது.

வெப்பப் பரிமாற்றம்: தகடு வெப்பப் பரிமாற்றிகள் அல்லது குளிரூட்டும் கோபுரங்கள், தொடர்ச்சியான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை உறுதிசெய்யும் வகையில், வெப்பச் சுமையை வெளிப்புறச் சூழலுக்கு மாற்றுகின்றன.

III. குளிரூட்டும் அமைப்பின் முக்கியப் பங்குகள்m

திரைப்படத் தரத்தைப் பராமரித்தல்
நிலையான வெப்பநிலை, அசாதாரண படிகமாதல் மற்றும் ஒளியியல் விலகலைத் தடுத்து, படலத்தின் சீரான தன்மையையும் வலுவான ஒட்டுதலையும் உறுதி செய்கிறது.

உபகரணங்களின் ஆயுட்காலத்தை நீட்டித்தல்
வெற்றிட அறைகள், மேக்னட்ரான் இலக்குகள் மற்றும் முத்திரைகளை வெப்பச் சேதத்திலிருந்து பாதுகாக்கிறது.

செயல்முறை மீண்டும் மீண்டும் செய்யப்படுவதை உறுதி செய்தல்
ஒவ்வொரு தொகுப்பிலும் சீரான தன்மையைப் பேணுவதற்கு நிலையான குளிரூட்டல் இன்றியமையாதது.

உயர் சக்தி செயல்முறைகளை ஆதரித்தல்
பெரிய பரப்பளவு கொண்ட மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் அல்லது நீண்ட நேரம் நடைபெறும் CVD செயல்முறைகளுக்கு, தடையற்ற உற்பத்திக்குக் குளிரூட்டலே அடிப்படையாகும்.

IV. பராமரிப்பு அத்தியாவசியங்கள்

நீர் தர மேலாண்மை: காரப் படிவு மற்றும் அயனிக் கலப்படம் ஆகியவற்றைத் தடுக்க, அயனியகற்றப்பட்ட நீரைப் (DI water) பயன்படுத்துங்கள்.

பாய்வு மற்றும் அழுத்தக் கண்காணிப்பு: இலக்குகள் மற்றும் அடிதளப் பொருத்துதல்களில் போதுமான குளிரூட்டும் திறனை உறுதிசெய்யவும்.

வெப்பப் பரிமாற்றி சுத்தம் செய்தல்: துகள்கள் அடைபடுவதைத் தடுப்பதன் மூலம் குளிரூட்டும் செயல்திறனைப் பராமரிக்கவும்.

வெப்பநிலைக் கட்டுப்பாட்டு ஒருங்கிணைப்பு: அதிக வெப்பநிலை எச்சரிக்கைகள் மற்றும் தானியங்கி நிறுத்தப் பாதுகாப்பிற்காக PLC அமைப்புகளுடன் இணைக்கவும்.

முடிவு

வெற்றிடப் பூச்சு உபகரணங்களில், குளிரூட்டும் அமைப்பு என்பது ஒரு புற உபகரணம் அல்ல, மாறாக செயல்முறை நிலைத்தன்மை, உற்பத்தி விளைச்சல் மற்றும் உபகரணத்தின் நீண்ட ஆயுளுக்கான ஒரு முக்கியப் பாதுகாப்பாகும். வலுவான குளிரூட்டும் வடிவமைப்பு மற்றும் தரப்படுத்தப்பட்ட பராமரிப்பின் மூலம் மட்டுமே, உயர் ஆற்றல் படிவுச் செயல்முறைகள் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட வெப்பநிலையில் இயங்கி, தொடர்ச்சியாக உயர்தர மெல்லிய படலங்களை வழங்க முடியும்.

—இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு உபகரணங்கள்உற்பத்தியாளர் ஜென்ஹுவா வேக்யூம்