ДарСистемаи пӯшонидани чангкашак, Системаи хунуккунӣ як воҳиди ёрирасони ҳатмӣ мебошад. Новобаста аз он ки дар равандҳои бухоршавии гармӣ, пошидани магнетронӣ ё CVD, ҷузъҳои ҳадаф, субстрат ва камера таҳти бомбаборони шуоъҳои баландэнергетикӣ гармии шадид мегиранд. Бе идоракунии самараноки гармӣ, на танҳо сифати плёнка паст мешавад, балки вайрон шудани таҷҳизот ва қатъи истеҳсолот низ метавонад ба амал ояд.
I. Чаро системаҳои рӯйпӯшкунии вакуумӣ ба хунуккунӣ ниёз доранд?
Ҳангоми коркарди рӯйпӯш, манбаъҳои асосии гармӣ инҳоянд:
Бомбгузорӣ ба ҳадаф: Ҳангоми пошидани магнетронӣ, бомбаборони ионӣ ба ҳадаф миқдори зиёди гармиро ба вуҷуд меорад.
Гармидиҳии плазмавӣ: Энергияе, ки ҳангоми холӣ шудани плазма ҷудо мешавад, боиси гармкунии маҳаллии дохили камера мегардад.
Гармкунии субстрат: Энергияе, ки ҳангоми гузоштани плёнка ба қисмати корӣ интиқол дода мешавад, боиси васеъшавии гармӣ ё деформатсияи сатҳ мегардад.
Талафи насос ва нерӯ: Насосҳо ва таъминоти нерӯ бо нерӯи баланд бори иловагии гармиро ба вуҷуд меоранд.
Агар гармӣ сари вақт пароканда нашавад, он метавонад ба чунин оқибатҳо оварда расонад:
Афзоиши сӯрохии плёнка, кам шудани зичии плёнка.
Деформатсияи субстрат ва аз даст додани дақиқии андоза.
Эрозияи ғайримуқаррарии ҳадаф, ки "сӯхтан"-и ҳадафро суръат мебахшад.
Вайроншавии мӯҳр дар дохили камера, ки устувории вакуумро зери хатар мегузорад.
II. Принсипи кори системаҳои хунуккунӣ
Системаҳои пӯшиши вакуумӣ одатан хунуккунии обии пӯшидаро истифода мебаранд, дар ҳоле ки баъзе таҷҳизоти дақиқи баланд инчунин хунуккунии равғанӣ ё домҳои криогениро дар бар мегиранд. Механизмҳои асосӣ инҳоянд:
Интиқол: Гармӣ тавассути плитаи пуштибонии мақсаднок, дорандаи субстрат ва куртаҳои хунуккунӣ интиқол дода мешавад.
Конвексия: Моддаи хунуккунандаи даврзананда гармиро аз ҷузъҳои гармшуда хориҷ мекунад.
Мубодилаи гармӣ: Мубодилаи гармии плитавӣ ё бурҷҳои хунуккунӣ бори гармиро ба муҳити беруна интиқол медиҳанд ва назорати доимии ҳароратро таъмин мекунанд.
III. Нақшҳои асосии системаи хунуккунӣm
Нигоҳ доштани сифати филм
Ҳарорати устувор аз кристаллизатсияи ғайримуқаррарӣ ва лағжиши оптикӣ пешгирӣ мекунад ва якрангии плёнка ва часпиши мустаҳкамро таъмин мекунад.
Дароз кардани мӯҳлати хизмати таҷҳизот
Камераҳои вакуумӣ, ҳадафҳои магнетронӣ ва мӯҳрҳоро аз осеби гармӣ муҳофизат мекунад.
Таъмини такроршавандагии раванд
Барои мувофиқати якхелаи партия ба партия хунуккунии устувор муҳим аст.
Дастгирии равандҳои пуриқтидор
Барои пошидани магнетронии масоҳати калон ё равандҳои CVD-и дарозмуддат, хунуккунӣ асоси истеҳсоли бефосила мебошад.
IV. Асосҳои нигоҳдорӣ
Идоракунии сифати об: Барои пешгирӣ аз ҷамъшавии пулакчаҳо ва олудашавии ионӣ аз оби деионизатсияшуда (оби DI) истифода баред.
Мониторинги ҷараён ва фишор: Самаранокии кофии хунуккуниро дар ҳадафҳо ва таҷҳизоти зеризаминӣ таъмин кунед.
Тозакунии мубодилаи гармӣ: Нигоҳ доштани самаранокии хунуккунӣ тавассути пешгирии басташавии зарраҳо.
Ҳамгироии назорати ҳарорат: Пайвастшавӣ бо системаҳои PLC барои ҳушдорҳои аз ҳад зиёд ҳарорат ва муҳофизати худкори хомӯшкунӣ.
Хулоса
Дар таҷҳизоти рӯйпӯшкунии вакуумӣ, системаи хунуккунӣ лавозимоти иловагӣ нест, балки кафолати асосии устувории раванд, ҳосилнокии маҳсулот ва дарозумрии таҷҳизот мебошад. Танҳо тавассути тарҳи мустаҳками хунуккунӣ ва нигоҳдории стандартишуда равандҳои боркунии энергияи баланд метавонанд дар ҳарорати назоратшаванда кор кунанд ва пайваста плёнкаҳои тунуки баландсифатро таъмин намоянд.
— Ин мақола аз ҷониби нашр шудаасттаҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣистеҳсолкунанда чангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 10 сентябри соли 2025