بىر ئىچىدەۋاكۇئۇم قاپلاش سىستېمىسى، سوۋۇتۇش سىستېمىسى مۇھىم ياردەمچى ئۈسكۈنە. ئىسسىقلىق پارغا ئايلىنىش، ماگنىترون پۈركۈش ياكى CVD جەريانلىرىدا بولسۇن، نىشان، ئاساسىي قىسىم ۋە كامېرا زاپچاسلىرى يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك نۇر بومباردىمان ئاستىدا قاتتىق قىزىيدۇ. ئۈنۈملۈك ئىسسىقلىق باشقۇرۇش بولمىسا، پىلاستىنكا سۈپىتى تۆۋەنلەپلا قالماي، ئۈسكۈنىلەرنىڭ بۇزۇلۇشى ۋە ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئۈزۈلۈپ قېلىشىمۇ مۇمكىن.
I. نېمە ئۈچۈن ۋاكۇئۇم قاپلاش سىستېمىسى سوۋۇتۇشنى تەلەپ قىلىدۇ؟
قاپلاش جەريانىدا، ئاساسلىق ئىسسىقلىق مەنبەلىرى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
نىشانغا بومباردىمان قىلىش: ماگنىترون پۈركۈش جەريانىدا، نىشانغا ئىئون بومباردىمان قىلىش زور مىقداردا ئىسسىقلىق ھاسىل قىلىدۇ.
پلازما قىزىتىش: پلازما قويۇپ بېرىش جەريانىدا قويۇپ بېرىلگەن ئېنېرگىيە كامېرانىڭ ئىچىدە يەرلىك قىزىتىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
ئاساسىي قاتلامنى قىزىتىش: پىلاستىنكا چاپلاش جەريانىدا ئىشلەنگەن بۇيۇمغا يۆتكەلگەن ئېنېرگىيە ئىسسىقلىق كېڭىيىشى ياكى يۈزەكى شەكلىنىڭ ئۆزگىرىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
پومپا ۋە توك يوقىتىش: يۇقىرى قۇۋۋەتلىك پومپا ۋە توك بىلەن تەمىنلەش ئۈسكۈنىلىرى قوشۇمچە ئىسسىقلىق يۈكىنى پەيدا قىلىدۇ.
ئەگەر ئىسسىقلىق ۋاقتىدا تارقىلىپ كەتمىسە، تۆۋەندىكىدەك ئاقىۋەتلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن:
پەردە ئۆسۈشى تۆشۈكلۈك بولۇپ، پەردە زىچلىقى تۆۋەنلەيدۇ.
ئاساسىي قەۋەتنىڭ دېفورماسىيەسى ۋە ئۆلچەم ئېنىقلىقىنىڭ يوقىلىشى.
نىشاننىڭ نورمالسىز ئېروزىيەسى، نىشاننىڭ «كۆيۈش» سۈرئىتىنى تېزلىتىدۇ.
كامېرنىڭ ئىچىدىكى پېچەتلەش ئىقتىدارىنىڭ بۇزۇلۇشى، ۋاكۇئۇم مۇقىملىقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
II. سوۋۇتۇش سىستېمىسىنىڭ ئىشلەش پىرىنسىپى
ۋاكۇئۇم قاپلاش سىستېمىسى ئادەتتە يېپىق ئايلانما سۇ سوۋۇتۇش ئۇسۇلىنى قوللىنىدۇ، بەزى يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئۈسكۈنىلەر ماي سوۋۇتۇش ياكى توڭلىتىش تۇزاقلىرىنىمۇ ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئاساسلىق مېخانىزملار تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ:
ئۆتكۈزۈشچانلىقى: ئىسسىقلىق نىشان ئارقا تاختى، ئاساسىي قاتلام تۇتقۇچ ۋە سوۋۇتۇش قاپلىرى ئارقىلىق يەتكۈزۈلىدۇ.
كونۋېكسىيە: ئايلىنىۋاتقان سوۋۇتقۇچ قىزىتىلغان زاپچاسلاردىن ئىسسىقلىقنى چىقىرىۋېتىدۇ.
ئىسسىقلىق ئالماشتۇرۇش: تاختا ئىسسىقلىق ئالماشتۇرغۇچ ياكى سوۋۇتۇش مۇنارى ئىسسىقلىق يۈكىنى تاشقى مۇھىتقا ئۆتكۈزۈپ، تېمپېراتۇرىنى ئۈزلۈكسىز كونترول قىلىشقا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
III. سوۋۇتۇش سىستېمىسىنىڭ ئاساسلىق رولىm
فىلىم سۈپىتىنى ساقلاش
مۇقىم تېمپېراتۇرا نورمالسىز كىرىستاللىشىش ۋە ئوپتىكىلىق يۆتكىلىشنىڭ ئالدىنى ئېلىپ، پىلاستىنكىنىڭ بىردەكلىكى ۋە كۈچلۈك يېپىشىشىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۆمرىنى ئۇزارتىش
ۋاكۇئۇم كامېراسى، ماگنىترون نىشانلىرى ۋە پېچەتلەرنى ئىسسىقلىق بۇزۇلۇشىدىن ساقلايدۇ.
جەرياننىڭ تەكرارلىنىشىغا كاپالەتلىك قىلىش
تۈركۈم بويىچە مۇقىم سوۋۇتۇش تۈركۈم بويىچە مۇقىملىق ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
يۇقىرى قۇۋۋەتلىك جەريانلارنى قوللاش
كەڭ دائىرىلىك ماگنىترون پۈركۈش ياكى ئۇزۇن مۇددەتلىك CVD جەريانلىرى ئۈچۈن، سوۋۇتۇش ئۈزۈلمەس ئىشلەپچىقىرىشنىڭ ئاساسى.
IV. ئاسراشنىڭ ئاساسىي ئامىللىرى
سۇ سۈپىتىنى باشقۇرۇش: قازنىڭ يىغىلىشى ۋە ئىئون بۇلغىنىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن ئىئونسىزلاشتۇرۇلغان سۇ (DI سۈيى) ئىشلىتىڭ.
ئېقىن ۋە بېسىمنى كۆزىتىش: نىشانلار ۋە ئاساسىي قاتلام ئۈسكۈنىلىرىنىڭ يېتەرلىك سوۋۇتۇش ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىڭ.
ئىسسىقلىق ئالماشتۇرغۇچنى تازىلاش: زەررىچە توسۇلۇپ قېلىشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئارقىلىق سوۋۇتۇش ئىقتىدارىنى ساقلاڭ.
تېمپېراتۇرا كونترول بىر گەۋدىلىشىشى: PLC سىستېمىسى بىلەن ئۇلىنىپ، تېمپېراتۇرا ئېشىپ كېتىش سىگنالى ۋە ئاپتوماتىك ئۆچۈشتىن ساقلىنىدۇ.
خۇلاسە
ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىدە، سوۋۇتۇش سىستېمىسى قوشۇمچە ئۈسكۈنە ئەمەس، بەلكى جەرياننىڭ مۇقىملىقى، مەھسۇلات مىقدارى ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ ئۇزۇن ئۆمۈر كۆرۈشىنىڭ ئاساسلىق كاپالىتى. پەقەت كۈچلۈك سوۋۇتۇش لايىھىسى ۋە ئۆلچەملەشكەن ئاسراش ئارقىلىقلا يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك چۆكمە جەريانلىرى كونترول قىلىنىدىغان تېمپېراتۇرا ئاستىدا ئىشلىيەلەيدۇ ۋە يۇقىرى سۈپەتلىك نېپىز پەردىلەرنى ئۈزلۈكسىز ھاسىل قىلالايدۇ.
—بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىئىشلەپچىقارغۇچى Zhenhua چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچ
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2025-يىلى 9-ئاينىڭ 10-كۈنى