MuneSisitimu Yekuputira Vacuum, Sisitimu Yekutonhodza chinhu chinobatsira chisingakoshi. Ingave muThermal Evaporation, Magnetron Sputtering, kana CVD processes, chinangwa, substrate, uye zvikamu zvekamuri zvinopiswa zvakanyanya pasi pekupiswa kwemhepo ine simba rakawanda. Pasina kutarisirwa kwekupisa kwakanaka, kunaka kwefirimu hakungogumiri pakudzikira, asi kukuvara kwemidziyo uye kukanganiswa kwekugadzirwa kunogona kuitikawo.
I. Sei Masisitimu Ekuvhara Vacuum Achida Kutonhodzwa?
Munguva yekuputira, zvinhu zvikuru zvinopa kupisa zvinosanganisira:
Kubhomba Kwakanangana: Mukubhomba kwemagnetron, kubhomba kwemaion kwechinangwa kunounza kupisa kwakawanda.
Kupisa kwePlasma: Simba rinoburitswa panguva yekubuda kweplasma rinotungamira mukudziya kwemukati mekamuri.
Kupisa kweSubstrate: Simba rinoendeswa kubasa panguva yekuiswa kwefirimu rinokonzera kuwedzera kwekupisa kana kushanduka kwenzvimbo.
Kurasikirwa nePombi & Simba: Pombi dzine simba guru uye zvinhu zvinopa simba zvinopa simba rekuwedzera.
Kana kupisa kukasapera nekufamba kwenguva, zvinogona kukonzera:
Kukura kwemafirimu ane maburi, kuderera kwehuwandu hwemafirimu.
Kushanduka kwechikamu chepasi uye kurasikirwa nekunyatsojeka kwehukuru hwechinhu.
Kukukurwa kwechinhu chisina kujairika, zvichikonzera "kupisa" chinhu chacho nekukurumidza.
Kuvhara kukanganiswa kwemukamuri, zvichikanganisa kugadzikana kwevacuum.
II. Nheyo yekushanda kweSisitimu dzekutonhodza
Masisitimu ekuputira vacuum anowanzo shandisa kutonhodza kwemvura kwakavharika, nepo mimwe michina yakanyatsogadzirwa inobatanidzawo kutonhodza kwemafuta kana cryogenic traps. Nzira huru dzinosanganisira:
Kufambisa: Kupisa kunopfuudzwa kuburikidza neplate yekumashure inonangwa, chibatiso che substrate, uye majaketi ekutonhodza.
Kutenderera: Chinhu chinotonhodza chinobvisa kupisa kubva muzvinhu zvinopisa.
Kuchinjana Kwekupisa: Maplate heat exchangers kana ma cooling towers anotamisa mutoro wekupisa kunzvimbo yekunze, zvichiita kuti tembiricha irambe ichidzorwa.
III. Mabasa Akakosha eSistimu Yekutonhodzam
Kuchengetedza Hunhu hweMafirimu
Kupisa kwakagadzikana kunodzivirira crystallization isina kujairika uye optical drift, zvichiita kuti firimu rive rakafanana uye rinamatire zvakasimba.
Kuwedzera Nguva Yese Yekushandisa Midziyo
Inodzivirira makamuri evacuum, zvinangwa zvemagnetron, uye zvisimbiso kubva mukukuvadzwa nekupisa.
Kuve nechokwadi chekuti maitiro anodzokororwa
Kutonhodza kwakasimba kwakakosha kuti zvinhu zvirambe zvakagadzikana.
Kutsigira Maitiro Ane Simba Guru
Kune magnetron sputtering munzvimbo yakakura kana maitiro eCVD kwenguva refu, kutonhora ndiyo hwaro hwekugadzirwa kusingadzoreki.
IV. Zvinhu Zvinokosha Pakugadzirisa
Kutarisira Hunhu Hwemvura: Shandisa mvura isina ion (DI water) kudzivirira kuunganidzwa kwemakero uye kusvibiswa kweionic.
Kutarisa Kuyerera & Kumanikidzwa: Iva nechokwadi chekuti kutonhora kwakaringana kunoshanda zvakanaka pazvinangwa uye pamidziyo ye substrate.
Kuchenesa Heat Exchanger: Chengetedza kushanda kwekutonhodza nekudzivirira kuvharika kwezvimedu.
Kubatanidzwa kweKudzora Kupisa: Batanidza nePLC systems dzemaalarm anodziya zvakanyanya uye dziviriro yekuzvidzima otomatiki.
Mhedziso
Mumidziyo yekuputira vacuum, sisitimu yekutonhodza haisi chinhu chinobatsira kunze asi inodzivirira kuti zvinhu zvigare zvakanaka, kubereka kwezvigadzirwa, uye kugara kwenguva refu kwemidziyo. Kuburikidza nekugadzira kwakasimba kwekutonhodza uye kugadzirisa kwakajairika chete, nzira dzekuisa simba rakawanda dzinogona kushanda pasi pekupisa kwakadzorwa, dzichipa mafirimu matete emhando yepamusoro nguva dzose.
—Nyaya iyi yakaburitswa namidziyo yekunamira ye vacuummugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Gunyana-10-2025