I totonu o seFaiga Ufiufi Vacuum, o le Fa'amālūlūina o se iunite fesoasoani e taua tele. Pe o le Fa'avevela Fa'avevela, Magnetron Sputtering, po'o le CVD processes, o le target, substrate, ma vaega o le chamber e fa'avevela malosi i lalo o le fa'aosoina o le ave malosi. A aunoa ma le pulega lelei o le vevela, e le gata ina fa'aleagaina le lelei o le ata tifaga, ae e mafai fo'i ona fa'aleagaina masini ma fa'alavelaveina le gaosiga.
I. Aiseā e Manaʻomia ai le Faʻamālūlūina o Faiga Ufiufi Vacuum?
I le taimi o le faagasologa o le ufiufi, o punaoa autu o le vevela e aofia ai:
Fa'apa'ūina o le Sini: I le magnetron sputtering, o le fa'apa'ūina o le sini e le ion e fa'atupuina ai le tele o le vevela.
Fa'avevela o le Plasma: O le malosiaga e fa'asa'olotoina i le taimi o le fa'asa'olotoina o le plasma e tau atu ai i le fa'avevela fa'alotoifale i totonu o le potu.
Fa'avevela o le Ipu: O le malosi e fesiita'i atu i le mea faigaluega i le taimi o le fa'apipi'iina o le ata tifaga e mafua ai le fa'alauteleina o le vevela po'o le fa'aleagaina o le fogaeleele.
Pamu ma le Leiloa o le Malosiaga: O pamu ma sapalai eletise e malolosi le malosiaga e fa'atupuina ai ni avega vevela fa'aopoopo.
Afai e le faʻaitiitia le vevela i le taimi, e mafai ona oʻo atu ai i mea nei:
Tuputupu a'e o le ata tifaga e pu, fa'aitiitia ai le mafiafia o le ata tifaga.
Fa'aleagaina o le tulaga ma le leiloa o le sa'o o le fua.
O le soloia e le masani ai o le sini, fa'avavevaveina ai le "mu" o le sini.
Fa'aleagaina le fa'amaufa'ailoga i totonu o le potu, ma fa'aletonu ai le mautu o le masini e mitiia ai le gaogao.
II. Mataupu Faavae o Galuega o Faiga Fa'amālūlū
E masani ona faʻaaogaina e faiga ufiufi e aunoa ma le vacuum le faʻamālūlūina o le vai e tapunia, ae o nisi masini saʻo e faʻapipiʻi foʻi le faʻamālūlūina o le suāuu poʻo mailei e faʻamaluluina ai le ea (cryogenic traps). O faiga autū e aofia ai:
Feavea'iga: E fa'aliliuina le vevela e ala i le laupapa lagolago o le sini, le mea e uu ai le substrate, ma le ofu fa'amālūlū.
Convection: O le fa'amālūlūina o le vai malulu e aveese ai le vevela mai vaega ua vevela.
Fesuiaiga o le Vevela: O fesuia'iga o le vevela i luga o ipu po'o 'olo fa'amālūlū e fa'aliliuina atu le avega vevela i le siosiomaga i fafo, ma fa'amautinoa ai le pulea pea o le vevela.
III. Matafaioi Autū o le Faiga Fa'amālūlūinam
Tausiga o le Tulaga Lelei o Ata Tifaga
O le vevela mautu e taofia ai le fa'avasegaina fa'apitoa o le tioata ma le fe'avea'i opitika, ma fa'amautinoa ai le tutusa o le ata tifaga ma le pipii malosi.
Fa'alauteleina o le Olaga Atoa o Meafaigaluega
Puipuia potu e fa'amama ai le ea, fa'amoemoega magnetron, ma fa'amaufa'ailoga mai le fa'aleagaina e le vevela.
Ia mautinoa le toe faia o le faagasologa
E taua tele le malūlū mautu mo le tutusa lelei o mea'ai mai lea vaega i lea vaega.
Lagolagoina o Faiga Malosiaga Maualuga
Mo le sputtering o le magnetron e tele se vaega po'o ni fa'agasologa CVD mo se taimi umi, o le fa'amālūlūina o le fa'avae lea mo le gaosiga e le fa'alavelaveina.
IV. Mea Taua mo le Tausiga
Pulega o le Tulaga Lelei o le Vai: Faaaoga le vai ua aveeseina le ion (DI water) e puipuia ai le faaputuputuina o le una ma le faaleagaina o le ionic.
Siakiina o le Tafe ma le Mamafa: Ia mautinoa le lelei o le fa'amālūlūina i nofoaga ma mea fa'apipi'i.
Fa'amamaina o le Fesuia'iga o le Vevela: Fa'atumauina le lelei o le fa'amālūlūina e ala i le puipuia o le poloka o vaega ninii.
Tuufaatasia o le Pulea o le Vevela: Feso'ota'i ma faiga PLC mo fa'ailo i luga o le vevela ma le puipuiga otometi mai le tapeina.
Faaiuga
I masini e ufiufi ai le masini e aunoa ma le ea, o le faiga e faamalulu ai e lē o se mea faaopoopo ae o se puipuiga autū mo le mautu o le faagasologa, le fua o oloa, ma le umi o le ola o masini. E na o le mamanu malosi o le faamaluluina ma le tausiga faatulagaina e mafai ai ona faagaoioia faagasologa o le teuina o le eletise maualuga i lalo o le vevela pulea, ma tuuina atu ai pea ni ata manifinifi maualuga le tulaga lelei.
—O lenei tusiga na lomia emeafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le eakamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum
Taimi na lafoina ai: Setema-10-2025