А ішіндеВакуумдық жабын жүйесіСалқындату жүйесі - бұл алмастырылмайтын қосалқы блок. Термиялық булану, магнетронды шашырату немесе CVD процестерінде нысана, негіз және камера компоненттері жоғары энергиялы сәулелік бомбалау кезінде қатты қыздыруға ұшырайды. Тиімді термиялық басқарусыз пленка сапасы нашарлап қана қоймай, жабдықтың зақымдануы және өндірістің үзілуі де орын алуы мүмкін.
I. Неліктен вакуумдық жабын жүйелері салқындатуды қажет етеді?
Қаптау процестері кезінде жылудың негізгі көздеріне мыналар жатады:
Нысананы бомбалау: Магнетронды шашырату кезінде нысананы иондық бомбалау айтарлықтай мөлшерде жылу шығарады.
Плазмалық қыздыру: Плазмалық разряд кезінде бөлінетін энергия камераның ішінде жергілікті қыздыруға әкеледі.
Негізді қыздыру: Пленканы тұндыру кезінде дайындамаға берілетін энергия жылулық кеңеюге немесе бетінің деформациясына әкеледі.
Сорғы және қуат шығындары: Жоғары қуатты сорғылар мен қуат көздері қосымша жылу жүктемелерін тудырады.
Егер жылу уақытында бөлінбесе, бұл келесі салдарға әкелуі мүмкін:
Кеуекті қабықшаның өсуі, қабықша тығыздығының төмендеуі.
Субстраттың деформациясы және өлшемдік дәлдіктің жоғалуы.
Нысананың қалыптан тыс эрозиясы, нысананың «жануын» жеделдетеді.
Камераның ішіндегі тығыздағыштың бұзылуы, вакуумның тұрақтылығына нұқсан келтіреді.
II. Салқындату жүйелерінің жұмыс принципі
Вакуумдық жабын жүйелері әдетте тұйықталған сумен салқындатуды пайдаланады, ал кейбір жоғары дәлдіктегі жабдықтар маймен салқындатуды немесе криогендік тұзақтарды да біріктіреді. Негізгі механизмдерге мыналар жатады:
Өткізгіштік: Жылу нысана тіреуіш пластинасы, субстрат ұстағышы және салқындатқыш қабықшалар арқылы беріледі.
Конвекция: Айналымдағы салқындатқыш қыздырылған компоненттерден жылуды кетіреді.
Жылу алмасу: Пластиналық жылу алмастырғыштар немесе салқындату мұнаралары жылу жүктемесін сыртқы ортаға береді, бұл температураны үздіксіз бақылауды қамтамасыз етеді.
III. Салқындату жүйесінің негізгі рөлдеріm
Фильм сапасын сақтау
Тұрақты температура кристалданудың және оптикалық дрейфтің қалыптан тыс болуына жол бермейді, пленканың біркелкілігін және берік адгезияны қамтамасыз етеді.
Жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту
Вакуумдық камераларды, магнетронды нысандарды және тығыздағыштарды термиялық зақымданудан қорғайды.
Процестің қайталануын қамтамасыз ету
Тұрақты салқындату әр сериядан екінші серияға біркелкілік үшін өте маңызды.
Жоғары қуатты процестерді қолдау
Үлкен аумақты магнетронды тозаңдату немесе ұзақ мерзімді CVD процестері үшін салқындату үздіксіз өндірістің негізі болып табылады.
IV. Техникалық қызмет көрсетудің негізгі ережелері
Су сапасын басқару: Қақ жиналуын және иондық ластануды болдырмау үшін деиондандырылған суды (ДИ су) пайдаланыңыз.
Ағын мен қысымды бақылау: Нысаналар мен негіз бекіткіштерінде салқындатудың жеткілікті тиімділігін қамтамасыз етіңіз.
Жылу алмастырғышты тазалау: бөлшектердің бітелуіне жол бермеу арқылы салқындату өнімділігін сақтаңыз.
Температураны бақылау интеграциясы: Температураның жоғарылауы туралы дабылдар мен автоматты түрде өшіруден қорғау үшін PLC жүйелерімен байланыс.
Қорытынды
Вакуумдық жабын жабдықтарында салқындату жүйесі перифериялық қосымша құрал емес, процестің тұрақтылығының, өнімнің өнімділігінің және жабдықтың ұзақ қызмет ету мерзімінің негізгі кепілі болып табылады. Тек сенімді салқындату дизайны және стандартталған техникалық қызмет көрсету арқылы ғана жоғары энергиялы тұндыру процестері бақыланатын температурада жұмыс істей алады, бұл үнемі жоғары сапалы жұқа қабықшаларды қамтамасыз етеді.
— Бұл мақаланы жариялағанвакуумдық жабын жабдықтарыөндіруші Zhenhua шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 10 қыркүйек