Ke Kuleana o nā ʻōnaehana hoʻoluʻu i nā lako hana uhi Vacuum

I loko o kahiʻŌnaehana Uhi Vacuum, he ʻāpana kōkua koʻikoʻi ka ʻōnaehana hoʻoluʻu. Inā paha ma ka Thermal Evaporation, Magnetron Sputtering, a i ʻole nā ​​​​kaʻina hana CVD, ua hoʻopilikia ʻia ka pahuhopu, substrate, a me nā ʻāpana keʻena i ka hoʻomehana ikaika ma lalo o ka hoʻouka kaua ʻana o ka beam ikehu kiʻekiʻe. Me ka ʻole o ka hoʻokele wela kūpono, ʻaʻole wale ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni e hōʻino, akā hiki ke hōʻino ʻia nā lako a me nā hoʻopilikia hana.

I. No ke aha e pono ai ka hoʻoluʻu ʻana i nā ʻōnaehana uhi vacuum?

I ka wā o ke kaʻina hana uhi ʻana, ʻo nā kumu nui o ka wela:

Ka Hoʻopā ʻana i ka Pahuhopu: I ka hoʻoheheʻe ʻana o ka magnetron, ʻo ka hoʻopā ʻana o ka ion i ka pahuhopu e hoʻopuka ai i kahi nui o ka wela.

Hoʻomehana Plasma: ʻO ka ikehu i hoʻokuʻu ʻia i ka wā o ka hoʻokuʻu ʻana o ka plasma e alakaʻi ai i ka hoʻomehana kūloko i loko o ke keʻena.

Hoʻomehana ʻana o ka Substrate: ʻO ka ikehu i hoʻoili ʻia i ka workpiece i ka wā o ka waiho ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni e hoʻonui ai i ka thermal a i ʻole ke ʻano o ka ʻili.

Ka Pohō o ka Pamu a me ka Mana: Hoʻopuka nā pamu mana kiʻekiʻe a me nā lako mana i nā ukana wela hou aʻe.

Inā ʻaʻole e hoʻopau ʻia ka lāʻau i ka manawa kūpono, hiki iā ia ke alakaʻi i nā hopena maikaʻi ʻole:

ʻO ka ulu ʻana o ka ʻili porous, ka emi ʻana o ka nui o ka ʻili.

Ka hoʻololi ʻana o ke ʻano o ka substrate a me ka nalowale ʻana o ka pololei o ka dimensional.

Ka ʻino ʻana o ka pahuhopu ma ke ʻano kūpono ʻole, e hoʻolalelale ana i ka "puhi ʻana" o ka pahuhopu.

Hoʻohaʻahaʻa ʻia ka sila i loko o ke keʻena, e hoʻoweliweli ana i ke kūpaʻa o ka vacuum.

II. Kumumanaʻo Hana o nā ʻŌnaehana Hoʻoluʻu

Hoʻohana pinepine nā ʻōnaehana uhi vacuum i ka hoʻoluʻu wai pani ʻia, ʻoiai kekahi mau lako kikoʻī kiʻekiʻe e hoʻohui pū i ka hoʻoluʻu ʻaila a i ʻole nā ​​​​pahele cryogenic. ʻO nā ʻano hana kumu:

Ka Hoʻoili ʻana: Hoʻoili ʻia ka wela ma o ka papa kākoʻo i manaʻo ʻia, ka mea paʻa substrate, a me nā ʻaʻahu hoʻomaʻalili.

Convection: Hoʻopau ka coolant kaʻapuni i ka wela mai nā ʻāpana i hoʻomehana ʻia.

Hoʻololi Wela: Hoʻoili nā mea hoʻololi wela pālahalaha a i ʻole nā ​​​​hale hoʻoluʻu i ka ukana wela i ke kaiapuni waho, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka kaohi mau ʻana o ka mahana.

III. Nā Kuleana Koʻikoʻi o ka ʻŌnaehana Hoʻoluʻum

Ka Mālama ʻana i ka Maikaʻi o ke Kiʻiʻoniʻoni
Pale ka mahana paʻa i ka crystallization maʻamau a me ka drift optical, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka like ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni a me ka hoʻopili ikaika.

Ke hoʻolōʻihi nei i ke ola o nā lako
Mālama i nā keʻena hakahaka, nā pahuhopu magnetron, a me nā sila mai ka pōʻino wela.

Ke hōʻoia nei i ka hana hou ʻana o ke kaʻina hana
He mea nui ka hoʻomaʻalili paʻa no ke kūlike o ka hana ʻana o kēlā me kēia ʻāpana.

Ke kākoʻo ʻana i nā kaʻina hana mana kiʻekiʻe
No ka sputtering magnetron wahi nui a i ʻole nā ​​​​kaʻina hana CVD lōʻihi, ʻo ka hoʻomaʻalili ke kumu no ka hana hana ʻole ʻia.

IV. Nā Pono Mālama

Ka Hoʻokele ʻana i ka Wai: E hoʻohana i ka wai deionized (wai DI) e pale aku i ka hōʻiliʻili ʻana o ka unahi a me ka haumia ionic.

Ka Nānā ʻana i ke Kahe a me ke Kaomi: E hōʻoia i ka pono o ka hoʻomaʻalili ʻana ma nā pahuhopu a me nā mea paʻa o ka substrate.

Ka Hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka Mea Hoʻololi Wela: E mālama i ka hana hoʻoluʻu ma ka pale ʻana i ... nā ʻāpana.

Hoʻohui ʻia ka Mana Mahana: E hoʻopili me nā ʻōnaehana PLC no nā ʻōhū wela ma luna a me ka pale pani aunoa.

Hopena

I loko o nā lako hana uhi hakahaka, ʻaʻole ka ʻōnaehana hoʻoluʻu he mea pono peripheral akā he palekana koʻikoʻi no ke kūpaʻa o ke kaʻina hana, ka hua huahana, a me ke ola lōʻihi o nā lako. Ma o ka hoʻolālā hoʻoluʻu ikaika a me ka mālama maʻamau wale nō hiki i nā kaʻina hana hoʻokahe ikehu kiʻekiʻe ke hana ma lalo o nā mahana i kāohi ʻia, e hāʻawi mau ana i nā ʻili lahilahi kiʻekiʻe.

—Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala enā lako hana uhi vacuummea hana Zhenhua Vacuum