Ka hare hoSistimi ea ho Koahela ka Vacuum, Sistimi ea ho Pholisa ke yuniti e thusang ea bohlokoa. Ebang ke ts'ebetsong ea ho fetoha ha mouoane ka mocheso, ho phatloha ha Magnetron, kapa CVD, sepheo, substrate, le likarolo tsa kamore li futhumatsoa haholo tlas'a ho phatloha ha mahlaseli a matla a phahameng. Ntle le taolo e sebetsang ea mocheso, boleng ba filimi ha bo fokotsehe feela, empa tšenyo ea lisebelisoa le litšitiso tsa tlhahiso le tsona li ka etsahala.
I. Ke Hobaneng ha Mekhoa ea ho Koahela ka Vacuum e Hloka ho Pholisoa?
Nakong ea lits'ebetso tsa ho roala, mehloli e meholo ea mocheso e kenyelletsa:
Ho Hlasela ka Sepheo: Ha ho hlasela ka magnetron, ho hlasela ka ion ea sepheo ho hlahisa mocheso o mongata.
Ho Futhumatsa ka Plasma: Matla a ntshwang nakong ya ho ntshwa ha plasma a lebisa ho futhumatseng sebakeng se itseng ka hare ho phaposi.
Ho Futhumatsa ka Substrate: Matla a fetisetsoang mosebetsing nakong ea ho beoa ha filimi a baka katoloso ea mocheso kapa phetoho ea bokaholimo.
Tahlehelo ea Pompo le Matla: Lipompo tse nang le matla a mangata le lisebelisoa tsa motlakase li hlahisa meroalo e eketsehileng ea mocheso.
Haeba mocheso o sa fele ka nako, o ka lebisa ho:
Khōlo ea filimi e nang le masoba, ho fokotseha ha bongata ba filimi.
Ho feto-fetoha ha substrate le tahlehelo ea ho nepahala ha boholo.
Khoholeho e sa tloaelehang ea sepheo, e potlakisang "ho chesa" sepheo.
Ho senyeha ha sekwahelo ka hare ho phaposi, ho beha botsitso ba vacuum kotsing.
II. Molao-motheo oa ho Sebetsa oa Mekhoa ea ho Pholisa
Mekhoa ea ho koahela ka vacuum hangata e sebelisa ho pholisa metsi ka mokhoa o koetsoeng, ha lisebelisoa tse ling tse nepahetseng haholo li boetse li kenyelletsa ho pholisa oli kapa maraba a cryogenic. Mekhoa ea motheo e kenyelletsa:
Ho Tsamaisa: Mocheso o fetisoa ka poleiti e ka morao e shebiloeng, setshwari sa substrate, le lijakete tse pholisang.
Ho potoloha ha motlakase: Sehatsetsi se potolohang se tlosa mocheso likarolong tse futhumetseng.
Phapanyetsano ea Mocheso: Li-plate exchanger tsa mocheso kapa litora tse pholisang li fetisetsa mojaro oa mocheso tikolohong e ka ntle, ho netefatsa taolo e tsoelang pele ea mocheso.
III. Mesebetsi ea Bohlokoa ea Sisteme ea ho Pholisam
Ho Boloka Boleng ba Filimi
Mocheso o tsitsitseng o thibela ho kristale ho sa tloaelehang le ho kheloha ha optical, ho netefatsa hore filimi e ts'oana le ho khomarela ho matla.
Nako eohle ea ho Atolosa Lisebelisoa
E sireletsa likamore tsa vacuum, lipheo tsa magnetron, le litiiso khahlanong le tšenyo ea mocheso.
Ho netefatsa Pheta-pheta ha Ts'ebetso
Ho pholisa ho tsitsitseng ho bohlokoa bakeng sa botsitso ba sehlopha ho ea ho sehlopha.
Ho Tšehetsa Mekhoa e Matla a Phahameng
Bakeng sa ho phunya ha magnetron sebakeng se seholo kapa lits'ebetso tsa CVD tsa nako e telele, ho pholisa ke motheo oa tlhahiso e sa khaotseng.
IV. Lintho tsa bohlokoa tsa tlhokomelo
Tsamaiso ea Boleng ba Metsi: Sebelisa metsi a hloekisitsoeng (metsi a DI) ho thibela ho bokellana ha sekala le tšilafalo ea ionic.
Tlhokomelo ea Phallo le Khatello: Netefatsa katleho e lekaneng ea ho pholisa lipheong le lisebelisoa tsa substrate.
Ho Hloekisa Mochini o Chesang: Boloka ts'ebetso ea ho pholisa ka ho thibela ho thibana ha likaroloana.
Kopanyo ea Taolo ea Mocheso: Khokahano le litsamaiso tsa PLC bakeng sa lialamo tse nang le mocheso o feteletseng le tšireletso ea ho tima ka boiketsetso.
Qetello
Lisebelisoang tsa ho koahela ka vacuum, sistimi ea ho pholisa ha se sesebelisoa se ka thoko empa ke tšireletso ea mantlha bakeng sa botsitso ba ts'ebetso, tlhahiso ea sehlahisoa, le bophelo bo bolelele ba lisebelisoa. Ke ka moralo o matla oa ho pholisa le tlhokomelo e tloaelehileng feela moo lits'ebetso tsa ho boloka matla a mangata li ka sebetsang tlas'a mocheso o laoloang, li fana ka lifilimi tse tšesaane tsa boleng bo holimo ka linako tsohle.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe kelisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Loetse-10-2025