Սառեցման համակարգերի դերը վակուումային ծածկույթների սարքավորումներում

ՄիՎակուումային ծածկույթի համակարգ, սառեցման համակարգը անփոխարինելի օժանդակ միավոր է: Անկախ նրանից, թե ջերմային գոլորշիացման, մագնետրոնային փոշիացման, թե CVD գործընթացների դեպքում, թիրախը, հիմքը և խցիկի բաղադրիչները ենթարկվում են ինտենսիվ տաքացման բարձր էներգիայի ճառագայթային ռմբակոծության տակ: Առանց արդյունավետ ջերմային կառավարման ոչ միայն թաղանթի որակը վատանում է, այլև կարող են առաջանալ սարքավորումների վնասներ և արտադրության ընդհատումներ:

I. Ինչո՞ւ են վակուումային ծածկույթների համակարգերը պահանջում սառեցում:

Ծածկույթի գործընթացների ընթացքում ջերմության հիմնական աղբյուրներն են՝

Թիրախի ռմբակոծություն. Մագնետրոնային փոշիացման դեպքում թիրախի իոնային ռմբակոծությունը առաջացնում է զգալի քանակությամբ ջերմություն։

Պլազմային տաքացում. Պլազմային լիցքաթափման ընթացքում անջատված էներգիան հանգեցնում է խցիկի ներսում տեղայնացված տաքացման:

Հիմքի տաքացում. Թաղանթի նստեցման ընթացքում աշխատանքային մասին փոխանցվող էներգիան առաջացնում է ջերմային ընդլայնում կամ մակերեսային դեֆորմացիա։

Պոմպի և հզորության կորուստներ. Բարձր հզորության պոմպերը և սնուցման աղբյուրները առաջացնում են լրացուցիչ ջերմային բեռներ:

Եթե ​​ջերմությունը ժամանակին չի հեռացվում, դա կարող է հանգեցնել հետևյալի.

Ծակոտկեն թաղանթի աճ, թաղանթի խտության նվազում։

Հիմքի դեֆորմացիա և չափերի ճշգրտության կորուստ։

Թիրախի աննորմալ էրոզիա, որը արագացնում է թիրախի «այրումը»։

Խցիկի ներսում կնքման քայքայում, ինչը խաթարում է վակուումային կայունությունը։

II. Սառեցման համակարգերի աշխատանքի սկզբունքը

Վակուումային ծածկույթների համակարգերը սովորաբար օգտագործում են փակ ցիկլով ջրային սառեցում, մինչդեռ որոշ բարձր ճշգրտության սարքավորումներ ներառում են նաև յուղային սառեցում կամ կրիոգեն թակարդներ: Հիմնական մեխանիզմները ներառում են.

Հաղորդականություն. Ջերմությունը փոխանցվում է թիրախային հենարանային թիթեղի, հիմքի պահիչի և սառեցման պատյանների միջով։

Կոնվեկցիա. շրջանառվող սառեցնող հեղուկը հեռացնում է ջերմությունը տաքացված բաղադրիչներից:

Ջերմափոխանակում. Թիթեղային ջերմափոխանակիչները կամ սառեցման աշտարակները ջերմային բեռը փոխանցում են արտաքին միջավայր՝ ապահովելով ջերմաստիճանի անընդհատ կարգավորումը։

III. Սառեցման համակարգի հիմնական դերերըm

Ֆիլմի որակի պահպանում
Կայուն ջերմաստիճանը կանխում է աննորմալ բյուրեղացումը և օպտիկական շեղումը՝ ապահովելով թաղանթի միատարրությունը և ամուր կպչունությունը։

Սարքավորումների կյանքի երկարացում
Պաշտպանում է վակուումային խցիկները, մագնետրոնային թիրախները և կնիքները ջերմային վնասումից։

Գործընթացի կրկնելիության ապահովում
Կայուն սառեցումը կարևոր է խմբաքանակից խմբաքանակ համաչափության համար։

Բարձր հզորության գործընթացների աջակցություն
Մեծ մակերեսով մագնետրոնային փոշիացման կամ երկարատև CVD պրոցեսների համար սառեցումը անխափան արտադրության հիմքն է։

IV. Պահպանման անհրաժեշտ պարագաներ

Ջրի որակի կառավարում. Օգտագործեք ապաիոնացված ջուր (DI ջուր)՝ կշեռքի կուտակումը և իոնային աղտոտումը կանխելու համար:

Հոսքի և ճնշման մոնիթորինգ. Ապահովեք բավարար սառեցման արդյունավետություն թիրախներում և հիմքի հարմարանքներում:

Ջերմափոխանակիչի մաքրում. Պահպանեք սառեցման արդյունավետությունը՝ կանխելով մասնիկների խցանումը։

Ջերմաստիճանի կառավարման ինտեգրում. Կապ PLC համակարգերի հետ՝ ջերմաստիճանի գերբարձրացման ահազանգերի և ավտոմատ անջատման պաշտպանության համար։

Եզրակացություն

Վակուումային ծածկույթների սարքավորումներում սառեցման համակարգը ոչ թե ծայրամասային լրասարք է, այլ գործընթացի կայունության, արտադրանքի արտադրողականության և սարքավորումների երկարակեցության հիմնական երաշխիք: Միայն հուսալի սառեցման նախագծման և ստանդարտացված սպասարկման միջոցով կարող են բարձր էներգիայի նստեցման գործընթացները գործել վերահսկվող ջերմաստիճանների ներքո՝ հետևողականորեն ապահովելով բարձրորակ բարակ թաղանթներ:

— Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների սարքավորումներարտադրող Zhenhua Vacuum